Handbuch Vakuumtechnik: Grundlagen und Anwendungen ; mit zahlreichen Beispielen und Tabellen
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München ; Wien
Hanser
1991
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | XXIII, 558 S. Ill., graph. Darst. 25 cm |
| ISBN: | 3446158596 |
Internformat
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IX
INHALTSVERZEICHNIS
ZUM GELEIT. V
VORWORT. VII
BENUTZTE SYMBOLE . XIX
T EIL A GRUNDLAGEN . 1
/
PHYSIK DES VAKUUMS (HARTMANN, H, K.). 3
1 GASFOERMIGER ZUSTAND DER MATERIE. 3
2 GASGEMISCHE, TOTALDRUCK, PARTIALDRUCK. 8
3 VERDAMPFUNG, KONDENSATION.10
4 OBERFLAECHENBELAEGE AUF FESTKOERPERN, SORPTION.14
5 DIE VORSTELLUNGEN DER KINETISCHEN GASTHEORIE.17
6 GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNG, MITTLERE FREIE WEGLAENGE
UND FLAECHENSTOSSRATE DER MOLEKELN IM ,,RUHENDEN GAS".19
7 DIFFUSION.22
8 WAERMEUEBERTRAGUNG IM GASRAUM.24
9 INNERE REIBUNG UND VISKOSITAET VON GASEN.26
10 ELEKTRIZITAETSLEITUNG IN VERDUENNTEN GASEN.28
II VAKUUMMESSUNG
(HARTMANN, H. K.).30
11 DRUCKEINHEITEN UND VAKUUMBERCICHE.30
12 BAUARTEN UND FUNKTIONSPRINZIPIEN DER VAKUUMMETER.32
12.1 MECHANISCHE VAKUUMMETER.33
12.1.1 BOURDON-ODER ROEHRENFEDERVAKUUMMETER.33
12.1.2 MEMBRANVAKUUMMETER.34
12.1.3 REIBUNGSVAKUUMMETER.36
12.1.4 KOMPRESSIONS-VAKUUMMETER NACH MCLEOD . 36
12.2 WAERMELEITUNGSVAKUUMMETER.37
12.3 IONISATIONSVAKUUMMETER .39
13 KALIBRIEREN VON VAKUUMMETERN.44
13.1 PRIMAERE NORMALE.44
13.2 GASREIBUNGS-VAKUUMMETER MIT ROTIERENDER KUGEL.48
14 PARTIALDRUCKMESSUNG.50
14.1 IONENERZEUGUNG.50
14.2 IONENTRENNUNG.51
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/910792518
X
INHALTSVERZEICHNIS
14.3 LONENNACHWEIS.53
14.4 BETRIEBSBCRCICHC UND GASEINLASS .55
14.5 BEISPIEL EINER RESTGASANALYSE.55
III FOERDERUNG DER GASE
(HARTMANN.
H. K. SOWIE
FORTH.
H. J.).58
15 DIE WIRKUNGSWEISEN VON VERSCHIEDENEN VAKUUMPUMPEN
. 58
16 BAUARTEN UND BETRIEBSVERHALTEN DER VAKUUMPUMPEN
UND EVAKUIERUNGSHILFEN.62
16.1 VERDRAENGERPUMPEN.62
16.1.1 VERDRAENGERPUMPEN MIT FLUESSIGEM DICHTMEDIUM . . . 62
16.1.2 TROCKENLAUFENDE VERDRAENGER-VAKUUMPUMPEN . 65
16.2 KINETISCHE VAKUUMPUMPEN.70
16.2.1 STRAHL- UND DIFFUSIONSPUMPEN.70
16.2.2 MOLEKULARPUMPEN.76
16.3 GASBINDENDE PUMPEN UND EVAKUIERUNGSHILFEN.82
16.3.1 ADSORPTIONSPUMPEN.82
16.3.2 GETTERPUMPEN.84
16.3.3 KONDENSATOREN .88
16.3.4 KUEHLFALLEN UND DAMPFSPERREN.89
16.3.5 KRYOPUMPEN
(FORTH,
H.J.
HARTMANN.
H. K.) . 92
17 SAUGVERMOEGEN. PV-DUREHFLUSS. SAUGLEISTUNG, BETRIEBSDRUCK
UND ENDDRUCK; KENNGROESSEN VON VAKUUMPUMPEN.100
18 LEITWERTE, EFFEKTIVES SAUGVERMOEGEN UND STROEMUNGSARTEN . 103
19 DOSIEREN UND MESSEN KLEINER GASMENGEN UND -STROEME.109
IV WERKSTOFFE UND BAUELEMENTE
(KOPETSCHK. H.).114
20 EIGENSCHAFTEN UND NICHT LOESBARE VERBINDUNGEN VON WERKSTOFFEN . 114
20.1 VAKUUNIDICHTC. NICHT LOESBARE VERBINDUNGEN AN METALL.
GLAS UND KERAMIK.119
20.2 HART- UND WEICHLOETEN VON METALLEN.120
20.3 VERSCHMELZEN VON GLAESERN.121
20.4 VERLOETEN VON METALL MIT KERAMIK.122
20.5 GEBRAUCH VON KLEBLACKEN UND GIESSHARZEN.124
21 BAUTEILE DER VAKUUNILCITUNGCN UND-KAMMERN.125
V VERFUHREN DER EVAKUIERUNG
.140
22 VORREINIGUNG
(LAMPRIXHT,
R.).140
23 INBETRIEBSETZUNG
(HARTMANN. H. K.) 142
_ INHALTSVERZEICHNIS XI
24 AUSPUMPZEITEN
(HARTMANN,
H. K.).145
25 LECKSUCHE
(HUBER,
W. K.).151
25.1 ALLGEMEINE KRITERIEN.151
25.2 LECKSUCHMETHODEN.152
25.3 LECKSUCHGERAETE .154
26 ENTGASUNG
(LAMPRECHT,
R.).158
27 STILLSETZUNG
(HARTMANN,
H. K.).160
28 INSTANDHALTUNG
(HARTMANN,
H. K.).161
VI AUFBAU UND BETRIEB VON VAKUUMUNLAGEN
(HARTMANN, H.
K.).
164
29 UNTERLAGEN FUER ENTWURF UND KONSTRUKTION VON VAKUUMANLAGEN . 164
30 WERKSTOFFE FUER VAKUUMKAMMERN.166
31 RAEUMLICHE ANORDNUNG DER TEILE EINER VAKUUMANLAGE.168
32 VAKUUMKAMMERN.170
33 KOMBINATIONEN VON VAKUUMPUMPEN.172
33.1 ALLGEMEINES.172
33.2 BEISPIELE FUER REIHENSCHALTUNG VON VAKUUMPUMPEN . . . .176
33.2.1 OELGEDICHTETE ROTATIONSVERDRAENGERPUMPEN.176
33.2.2 TURBOMOLEKULARPUMPEN.178
33.2.3 OEI-DIFFUSIONSPUMPE MIT VORPUMPE.178
33.2.4 WAELZKOLBENVAKUUMPUMPEN.179
33.2.5 KONDENSATOREN .184
33.3 BEISPIELE FUER PARALLELSCHALTUNG VON VAKUUMPUMPEN . . . .186
34 GEBRAUCH DER VAKUUMMETER.188
35 SICHERHEITS-, REGEL- UND STEUEREINRICHTUNGEN, AUTOMATISIERUNG . 191
36 AUFSTELLEN VON ZEITPLAENEN VAKUUMTECHNISCHER VERFAHREN.193
37 KOSTENFRAGEN.195
VII ULTRAHOEHVAKUUNI
(LAMPRECHT.
R.).196
38 EINSATZ UND VORAUSSETZUNGEN.196
39 WERKSTOFFEIGENSCHAFTEN .198
40 ZUSAMMENBAU UND BETRIEB VON UHV-ANLAGEN.201
41 EINIGE BESONDERHEITEN VON KOMPONENTEN FUER DIE UHV-TECHNIK . 203
42 UHV-PUMPSYSTEME.205
43 RECHENBEISPIEL ZUR AUSPUMPZEIT EINER UHV-ANLAGE.209
44 DRUCKMESSUNG, RESTGASZUSAMMENSETZUNG, AUSBLICK.211
XII INHALTSVERZEICHNIS
TEIL
B ANWENDUNGEN.213
VIII
VAKUUMTECHNIK IN DER KLASSISCHEN ELEKTROTECHNIK.215
45 BEISPIELE AUS DER TECHNIK DER ELEKTRONENROEHREN.215
45.1 EINLEITUNG
(JAECUE:R. G., 45.1 BIS 45.7) 215
45.2 SPEZIELLE TECHNIKEN.216
45.2.1 TRENNUNG DER ROEHRE VOM PUMPSTAND.216
45.2.2 PRUEFUNG DER VAKUUMDIEHTIGKEIT .218
45.3 EMPLAENGERROEHREN .219
45.3.1 AUFBAU.219
45.3.2 PUMPKARUSSELL.219
45.3.3 BRENNEN .222
45.3.4 FOLGEN VON VAKUUMFEHLERN.222
45.4 HOCHLEISTUNGSKLYSTRONS. DAUERSTRICHMAGNETRONS.
SENDEROEHREN.222
45.4.1 AUFBAU UND ANWENDUNG.222
45.4.2 BEMERKUNGEN ZU DEN WERKSTOFFEN
UND REINIGUNGSPROZESSEN.227
45.4.3 PUMP- UND AUSHEIZVORGANG.229
45.4.4 FOLGEN VON VAKUUMFEHLERN.230
45.5 FERNSEHBILDROEHREN, OSZILLOSKOPROEHREN.230
45.5.1 AUFBAUTECHNIK VON FERNSEHBILDROEHREN .230
45.5.2 PUMPEN UND FORMIEREN VON FERNSCHBILDROEHREN . . . 232
45.5.3 OSZILLOSKOPROEHREN.232
45.6 KAMERAROEHREN.233
45.6.1 AUFBAUTECHNIK.233
45.6.2 PUMP- UND FORMIERVORGANG.235
45.6.3 FOLGEN VON VAKUUMFEHLERN.235
45.7 BILDVERSTAERKERROEHREN.235
45.7.1 AUFBAU UND ANWENDUNGEN.235
45.7.2 PUMP- UND FORMIERPROZESS .237
45.7.3 VAKUUMTCEHNISCHE PROBLEME.238
45.8 HERSTELLUNG EINER ROENTGENROEHRE MIT DREHANODE
(RI IM R. K.).238
46 ELEKTRISCHE LICHT- UND STRAHLUNGSQUELLEN
(LANGK, H.).241
46.1 GLUEHLAMPEN.241
46.2 LEUCHTSTOFFLAMPEN.243
46.3 HOEHDRUCKENTLADUNGSLAMPCN .244
47 DER VAKUUMLEISTUNGSSCHALTER
(ADAM, H.) .246
47.1 VAKUUM ALS ISOLATOR UND LOESCHMEDIUM.246
47.2 GRUNDSAETZLICHER AUFBAU DES VAKUUMLEISTUNGSSCHALTERS
(SCHALTROEHRE) .247
INHALTSVERZEICHNIS XIII
47.3 DER SCHALTER MIT GESCHLOSSENEM KONTAKT.248
47.4 DIE STROMUNTERBRECHUNG.248
47.5 DAS KONTAKTMATERIAL.249
48 TROCKNUNGS- UND IMPRAEGNIERANLAGEN FUER STARKSTROMKABEL
(MKKOTA, F.).250
49 IMPRAEGNIERUNG ELEKTRISCHER HOCHSPANNUNGSGERAETE (MAIS, G.) . . 256
IX VAKUUMTECHNIK DES STOFFTRANSPORTES
.260
50 VAKUUMTECHNIK IN DER CHEMIE
(JORISCH, W.).260
50.1 EINLEITUNG.260
50.2 GRUNDLAGEN DER VAKUUMVERFAHREN IN DER CHEMIE.262
50.3 VAKUUMPUMPEN IM CHEMIEEINSATZ.263
50.3.1 FLUESSIGKEITSRING-VAKUUMPUMPEN IM CHEMIEEINSATZ . 263
50.3.2 OELGEDICHTETE DREH- UND SPERRSCHIEBERPUMPEN
FUER DEN CHEMIEEINSATZ.264
50.3.3 WAELZKOLBEN-VAKUUMPUMPEN FUER DEN CHEMIEEINSATZ . 266
50.3.4 PUMPENKOMBINATIONEN IM CHEMIEEINSATZ.267
50.3.5 DAMPFSTRAHL-VAKUUMPUMPEN FUER DIE CHEMIE . . . 267
50.4 EINIGE SPEZIELLE BEISPIELE FUER VAKUUMANWENDUNGEN
IN DER CHEMIE.268
50.4.1 VAKUUMTROCKNUNG.268
50.4.2 VAKUUMVERDAMPFUNG.271
50.4.3 VAKUUMREKTIFIKATION.272
51 TROCKNUNG UND ENTGASUNG
(FREI, M.).274
51.1 ALLGEMEINES.274
51.2 TROCKNUNGSVORGAENGE IN KAPILLARPOROESEN
UND NICHTPORIGEN GUETERN.274
51.3 TROCKNUNGSVERFAHREN.275
51.4 MIKROWELLENERWAERMUNG.276
51.5 VAKUUMTROCKNUNG UND MIKROWELLENERWAERMUNG .278
52 GEFRIERTROCKNUNG
(SCHAEFER. M.).280
53 VAKUUMMETALLURGIE.286
53.1 VAKUUMMETALLURGIE IM FLUESSIGEN ZUSTAND
(CHOUDHURY, A.) 286
53.1.1 VAKUUMBEHANDLUNG DES FLUESSIGEN STAHLES.287
53.1.2 TEILMENGENENTGASUNG.287
53.1.3 PFANNENSTANDENTGASUNG.289
53.1.4 VAKUUMINDUKTIONSSCHMCLZEN .290
53.1.5 PRODUKTION VON NE-METALLEN
IM VAKUUMINDUKTIONSOFEN.291
XIV INHALTSVERZEICHNIS
53.1.6 UMSCHMELZPROZESSE .292
53.1.7 UMSCHMELZEN IM VAKUUMLICHTBOGENOFEN.292
53.1.8 ELEKTRONENSTRAHLSCHMELZEN UND-GIESSEN.293
53.1.9 PRAEZISIONSGUSS.294
53.1.10 PULVERMETALLURGIE.294
53.2 VAKUUMMETALLURGISCHE VERFAHREN FUER FESTKOERPER
(HOFMANN.
G.) 295
53.2.1 ENTGASEN.295
53.2.2 BLANKGLUEHEN.299
53.2.3 WAERMEBEHANDLUNG.299
53.2.4 LOETEN .302
53.2.5 DIFFUSIONSSCHWEISSEN.303
53.2.6 SINTERN.304
53.2.7 CHEMISCHE REAKTIONEN.307
54 SCHWEISSEN MIT ELEKTRONENSTRAHLEN
(DIHTRKTI, W.).312
X VAKUUMTECHNIK IN FORSCHUNG UND ENTWICKLUNG.317
55 VAKUUMTECHNIK IN DER RAUMFAHRT
(SCHUETZ. H.).317
55.1 WELTRAUMBEDINGUNGEN UND RAUMFAHRT.317
55.2 ANLAGEN ZUR SIMULATION DER MISSIONSBEDINGUNGEN.318
55.3 VAKUUMTECHNIK BEI DEN RAUMFAHRZEUGEN.323
55.4 NUTZUNG DES WELTRAUMES FUER VAKUUM-ANWENDUNGEN 325
56 VAKUUMPHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN VON MOLEKULARSTRAHL-
EXPCRIMENTEN (SKIDI I . W. V. ZFRRSI N. H. D.).328
56.1 ZUSAMMENSTELLUNG DER VOLUMENSTROEME
BEI EFFUSIONS- ODER NIEDERDRUCK-MEHRKANALQUELLEN
(INTERNATIONALE EINHEITEN).331
56.2 ZUSAMMENSTELLUNG DER VOLUMENSTROEME BEI DUESEN
ODER HOCHDRUCK-MEHRKANALQUELLEN.332
57 KERNPHYSIKALISCHE GROSSANLAGEN.333
57.1 TEILCHENBESCHLEUNIGER UND SPEICHERRINGE
(HARTMANN, H.K.).333
57.1.1 ALLGEMEINE ASPEKTE .333
57.1.2 ENERGIEASPEKTE.335
57.1.3 RESLGASCINFLUSS.339
57.1.4 DESORPTIONSMECHANISMEN UND SYNCHROTRONSTRAHLUNG . 339
57.1.5 PERSPEKTIVEN.342
57.2 DESY-BESCHLCUNIGER UND VAKUUMTECHNIK
(HARTMANN, H.K.).343
57.2.1 DIE SYNCHROTRONS .344
57.2.2 DIE SPEICHERRINGC .350
INHALTSVERZEICHNIS XV
57.3 DIE BESCHLEUNIGER DES CERN (GROEBNER. O.).364
57.3.1 RINGBESCHLEUNIGER FUER PROTONEN.364
57.3.2 WECHSELWIRKUNG ZWISCHEN TEILCHENSTRAHL UND RESTGAS 367
57.3.3 DER LEP SPEICHERRING .368
58 VAKUUMPROBLEME DER THERMISCHEN KERNFUSION
(HEMMERICH. J.) . 374
58.1 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN.374
58.2 VAKUUMPROBLEME BEI JET.376
58.2.1 VAKUUMANLAGEN AM JET-TORUS.377
58.2.2 VAKUUMANLAGEN AN DER JET-NEUTRALINJEKTION . 378
58.2.3 VORBEREITUNGEN FUER DEN BETRIEB VON JET
MIT D-T-PLASMEN.379
58.3 VAKUUMANLAGEN FUER EINEN ZUKUENFTIGEN FUSIONSREAKTOR . . . 380
ERZEUGUNG UND ANWENDUNG DUENNER SCHICHTEN
.382
59 METHODEN DER SCHICHTERZEUGUNG .382
59.1 EINFUEHRUNG
(PULKER. H. K.).382
59.2 PHYSIKALISCHE DAMPFABSCHEIDUNG - PVD
(PULKER. H. K.).384
59.3 CHEMISCHE DAMPFABSCHEIDUNG-CVD (HARTIG. K.) . 393
59.3.1 ALLGEMEINES.393
59.3.2 PE-CVD: PLASMAGESTUETZTE CHEMISCHE
DAMPFABSCHEIDUNG.394
59.3.3 PLASMAERZEUGUNG UND GLEICHMAESSIGE SCHICHT
. 397
59.4 AUTOMATISIERUNG VON BESCHICHTUNGSANLAGEN
(REINHOLD, D. M.).399
59.4.1 EINLEITUNG.399
59.4.2 HANDLING.399
59.4.3 VERFAHRENSABLAUF.400
59.4.4 ANLAGENSTEUERUNG.400
59.4.5 AUTOMATISIERUNG.401
59.4.6 SOFTWARE.401
60 METALLISCHE SCHICHTEN
(KIENEL. G.).403
60.1 METALLISIEREN VON KUNSTSTOFFORMTEILEN.403
60.2 BESCHICHTEN VON PAPIER UND KUNSTSTOFFOLIEN.405
61 PVD-VERSCHLEISSSCHUTZSCHICHTEN.410
61.1 HARTSTOFFSCHICHTEN FUER WERKZEUGE UND BAUTEILE
(BUHL. R.) . 410
61.2 ANWENDUNG DEKORATIVER VERSCHLCISSSCHUTZSCHICHTCN
(BERGMANN. E.).412
61.2.1 EINFUEHRUNG.412
61.2.2 TRIBOLOGISCHE SYSTEME .412
61.2.3 BESCHICHTUNGSSYSTEME. STAND UND TRENDS.414
XVI INHALTSVERZEICHNIS
62 SCHICHTEN MIT OPTISCHER WIRKUNG.415
62.1 OPTISCHE SCHICHTSYSTEME (PUT.
KFR. H. K.).415
62.2 REAKTIVE UND IONENUNTERSTUETZTE REAKTIVE HERSTELLUNG
VON OXID-, NITRID- UND OXINITRID-SCHICHTEN
FUER OPTISCHE ANWENDUNGEN (PUI.KER. H. K.).420
62.3 BESCHICHTEN GROSSER GLASFLAECHEN MIT SONNENSCHUTZ
ODER WAERMEDAEMMSCHICHTEN IKIL
M L. G.).423
62.4 LEITLUEHIGE TRANSPARENTE SCHICHTEN (HARTIG. K.).427
62.4.1 ANWENDUNG.427
62.4.2 SCHICHTTYPEN .427
62.4.3 ELEKTRISCHE UND OPTISCHE EIGENSCHAFTEN.428
62.4.4 HERSTELLUNG VON TRANSPARENTEN LEITFAEHIGEN SCHICHTEN . 430
63 DALENSPEICHERSYSTEME.431
63.1 MAGNETISCHE SPEICHER (WIR/. P.).431
63.2 OPTISCHE UND MAGNETOOPTISCHE SPEICHERUNG
(SKI IIOH R. 11 !.436
63.2.1 EINLEITUNG.436
63.2.2 PRINZIP DER OPTISCHEN SPEICHER.436
63.2.3 NUR LESBARE OPTISCHE SPEICHER.437
63.2.4 EINMAL BESCHREIBBARE OPTISCHE SPEICHER.438
63.2.5 MEHRMALS BESCHREIBBARE OPTISCHE SPEICHER.439
63.2.6 ZUSAMMENFASSUNG.441
63.3 DIE COMPACT DISC (STRASSI R. G.) 442
64 HALBLEITERTECHNOLOGIE.446
64.1 VAKUUMTECHNIK BEI ZUECHTUNGSPROZESSEN VON EINKRISTALLEN
AUS DER SCHMELZE (DRECHSEL. D.).446
64.2 IONENIMPLANTATION (KORBER. E. J.).450
64.3 EPITAXIE (MOU . E.) 453
64.4 HERSTELLUNG VON LEITERBAHNEN UND REDUKTION
VON BAHNWIDERSTAENDEN IN HOECHSTINTEGRIERTEN
BAUELEMENTEN (KASSINO, R., RANGEI.OW. I.) .458
64.4.1 ALUMINIUM ALS LEITERBAHN- UND KONIAKTMATERIAL . . 459
64.4.2 POLYEIDC.462
64.4.3 SALICIDE.463
64.4.4 VERBINDUNGEN ZWISCHEN DEN BAUELEMENTEN.465
64.5 GROSSFLAECHIGE PLASMAUNTCRSTUETZTE ABSCHEIDUNG
AUS DER GASPHASE AMORPHES SILIZIUM UND ANDERE
DUENNFILM-ANWENDUNGEN (REUSCHI ING. R.) .466
64.5.1 EINFUEHRUNG.466
64.5.2 DUENNFILM-SOLARZELLEN.471
64.5.3 DUENNSCHICHTTECHNOLOGIE ZUR BILDERZEUGUNG.472
INHALTSVERZEICHNIS XVII
64.6 TROCKENAETZEN ZUR STRUKTURIERUNG VON MIKROSCHALTKREISEN
(HUSSLA, I.).474
64.6.1 GRUNDLAGEN.474
64.6.2 STRUKTURERZEUGUNG VON MIKROSCHALTKREISEN.478
64.6.3 EINZELSCHEIBEN-DREIKAMMER-PLASMAAETZANLAGE
FUER ALUMINIUM-LEITERBAHNEN.479
64.7 SICHERHEIT UND ENTSORGUNG (TENWICK, N, U. HUSSLA. I.) . . 481
64.7.1 GEFAHREN BEIM BETRIEB.481
64.7.2 REPARATUR-RISIKEN.483
64.7.3 SCHUTZ DER UMWELT.484
XII OBERFLAECHENANALYSE
.487
65 ANALYSE VON OBERFLAECHEN UND DUENNEN SCHICHTEN.487
65.1 ALLGEMEINES
(SCHALCII, D./SCHARMANN, A.).487
65.2 ELEKTRONENSPEKTROMETRIE (SCHALCH, D./SCHARMANN, A.) . . 492
65.2.1 AUGER-ELEKTRONENSPEKTROMETRIE (AES) .492
65.2.2 PHOTOELEKTRONENSPEKTROMETRIE (PES).494
65.2.3 ELEKTRONEN-ENERGIEVERLUSTSPEKTROMETRIE
(ELS, AUCH EELS).496
65.3 MASSENSPEKTROMETRIE (WECHSUNG, R.).496
65.3.1 SEKUNDAER-IONEN-MASSEN-SPEKTROMETRIE (SIMS) . . . 496
65.3.2 SEKUNDAER-NEUTRALTEILCHEN-MASSEN-
SPEKTROMETRIE (SNMS).499
65.3.3 LASER-MIKROSONDEN-MASSEN-ANALYSE (LAMMA) . . 502
65.4 BESTIMMUNG VON OBERFLAECHENSTRUKTUREN
(SCHALCH, D./SCHARMANN, A.).504
65.4.1 BEUGUNG LANGSAMER ELEKTRONEN (LEED).504
65.4.2 RASTER-TUNNELMIKROSKOP.505
65.4.3 ELEKTRONENMIKROSKOPIE.506
ANHANG.509
TABELLEN UND TAFELN (DRUCKEINHEITEN, PHYS. KONSTANTEN.
STOFF- UND ELEMENTEIGENSCHAFTEN, NORMEN. SYMBOLE. PUMPENUEBERSICHT) . .
511
AUTORENVERZCICHNIS.524
LITERATURVERZEICHNIS.526
STICHWORTVERZEICHNIS.541 |
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