Streller, U. (1997). Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett (1. Aufl.). Wissenschaft und Technik Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Streller, Udo. Mikrostrukturierung Von Silizium Mittels Lichtinduziertem Trockenätzen Im Vakuumultraviolett. 1. Aufl. Berlin: Wissenschaft und Technik Verl, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Streller, Udo. Mikrostrukturierung Von Silizium Mittels Lichtinduziertem Trockenätzen Im Vakuumultraviolett. 1. Aufl. Wissenschaft und Technik Verl, 1997.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.