Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Wissenschaft und Technik Verl.
1997
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | II, 146 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3896854216 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000zc 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV023640373 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010420000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 010323s1997 d||| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3896854216 |9 3-89685-421-6 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75721266 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV023640373 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-523 |a DE-634 |a DE-188 | ||
| 084 | |a ZM 7660 |0 (DE-625)157138: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Streller, Udo |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett |c von Udo Streller |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Berlin |b Wissenschaft und Technik Verl. |c 1997 | |
| 300 | |a II, 146 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Zugl.: Berlin, Freie Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Lichtinduzierter Effekt |0 (DE-588)4343954-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Vakuumultraviolett |0 (DE-588)4187337-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Trockenätzen |0 (DE-588)4222074-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Synchrotronstrahlung |0 (DE-588)4184235-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Trockenätzen |0 (DE-588)4222074-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Lichtinduzierter Effekt |0 (DE-588)4343954-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Synchrotronstrahlung |0 (DE-588)4184235-2 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Vakuumultraviolett |0 (DE-588)4187337-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-188 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017236723 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804138751737200640 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Streller, Udo |
| author_facet | Streller, Udo |
| author_role | aut |
| author_sort | Streller, Udo |
| author_variant | u s us |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV023640373 |
| classification_rvk | ZM 7660 |
| ctrlnum | (OCoLC)75721266 (DE-599)BVBBV023640373 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01615nam a2200433zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV023640373</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010420000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">010323s1997 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3896854216</subfield><subfield code="9">3-89685-421-6</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75721266</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV023640373</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-523</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7660</subfield><subfield code="0">(DE-625)157138:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Streller, Udo</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett</subfield><subfield code="c">von Udo Streller</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">Wissenschaft und Technik Verl.</subfield><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 146 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Freie Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lichtinduzierter Effekt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4343954-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Vakuumultraviolett</subfield><subfield code="0">(DE-588)4187337-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Trockenätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4222074-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184235-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Trockenätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4222074-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Lichtinduzierter Effekt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4343954-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184235-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Vakuumultraviolett</subfield><subfield code="0">(DE-588)4187337-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017236723</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV023640373 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T21:33:10Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3896854216 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017236723 |
| oclc_num | 75721266 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-523 DE-634 DE-188 |
| owner_facet | DE-523 DE-634 DE-188 |
| physical | II, 146 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| publisher | Wissenschaft und Technik Verl. |
| record_format | marc |
| spelling | Streller, Udo Verfasser aut Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett von Udo Streller 1. Aufl. Berlin Wissenschaft und Technik Verl. 1997 II, 146 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zugl.: Berlin, Freie Univ., Diss., 1997 Lichtinduzierter Effekt (DE-588)4343954-8 gnd rswk-swf Vakuumultraviolett (DE-588)4187337-3 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Trockenätzen (DE-588)4222074-9 gnd rswk-swf Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Trockenätzen (DE-588)4222074-9 s Lichtinduzierter Effekt (DE-588)4343954-8 s Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 s Vakuumultraviolett (DE-588)4187337-3 s DE-188 |
| spellingShingle | Streller, Udo Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett Lichtinduzierter Effekt (DE-588)4343954-8 gnd Vakuumultraviolett (DE-588)4187337-3 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Trockenätzen (DE-588)4222074-9 gnd Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4343954-8 (DE-588)4187337-3 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4222074-9 (DE-588)4184235-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett |
| title_auth | Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett |
| title_exact_search | Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett |
| title_full | Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett von Udo Streller |
| title_fullStr | Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett von Udo Streller |
| title_full_unstemmed | Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett von Udo Streller |
| title_short | Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett |
| title_sort | mikrostrukturierung von silizium mittels lichtinduziertem trockenatzen im vakuumultraviolett |
| topic | Lichtinduzierter Effekt (DE-588)4343954-8 gnd Vakuumultraviolett (DE-588)4187337-3 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Trockenätzen (DE-588)4222074-9 gnd Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd |
| topic_facet | Lichtinduzierter Effekt Vakuumultraviolett Silicium Trockenätzen Synchrotronstrahlung Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT strellerudo mikrostrukturierungvonsiliziummittelslichtinduziertemtrockenatzenimvakuumultraviolett |