Gesetzmäßigkeiten beim Lasergenerieren als Basis für die Prozesssteuerung und -regelung:
Gespeichert in:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
München
Utz
2008
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Schlagworte: | |
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Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2007 |
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adam_text | GESCANNT DURCH INHALTSVERZEICHNIS KURZFASSUNG 4 INHALTSVERZEICHNIS 7
SYMBOL VERZEICHNIS 11 EXTENDED ABSTRACT 13 1 EINLEITUNG 19 2 STAND DER
TECHNIK 22 2.1 DER PROZESS DES LASERGENERIERENS 22 22 ANWENDUNGSGEBIETE
23 2.3 VERWANDTE LASERVERFAHREN 24 2.4 ALTERNATIVE AUFTRAGENDE VERFAHREN
25 2.5 STEUERUNG DES PROZESSES 26 2.6 REGELUNG UND KONTROLLE DES
PROZESSES 27 3 PROBLEMFELDER BEIM LASERGENERIEREN 30 3.1 TEMPERATURFELD
30 3.1.1 WAERMESTAU 30 3.1.2 EINFLUSS DER PROBENTEMPERATUR 33 3.2
REPRODUZIERBARKEIT UND FEHLERFORTPFLANZUNG 36 3.3 WELLENEFFEKT 36 3.4
VERHALTEN BEI SPURIIBERKREUZUNGEN 37 3.5 NACHSTELLUNG DER Z-POSITION 39
4 METHODISCHER ANSATZ 41 4.1 AUSGANGSSITUATION UND PROBLEMSTELLUNG 41 42
LOESUNGSANSATZ 41 4.2.1 PHYSIKALISCHES MODELL 41 4.2.2 HEURISTISCHES
MODELL 43 4.23 BESONDERHEITEN BEIDER MODELLVORSTELLUNGEN 44 4.2.3.1
WISSENSCHAFTLICHKEIT 45 4.23.2 NOMENKLATUR 45 4.3 EINSCHRAENKUNGEN 46 5
QUALITAETSGROESSEN 47 5.1 INFORMATIONEN UEBER DIE QUALITAET. . 47 5.2
SPURGEOMETRIE 48 BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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INHALTSVERZEICHNIS 9 8.5.2.2 EINFARBEN-PYROMETER 92 8.5.2.3
ZWEIFARBEN-PYROMETER 93 8.53 REAKTION VON PYROMETER UND PHOTODIODE AUF
UNTERSCHIEDLICHE PROZESS- PARAMETER 94 8.5.4 MESSUNG DER SPURHOEHE 95
8.5.4.1 MODELLVORSTELLUNG 95 8.5.4.2 MESSUNG DER SPURHOEHE MIT DEM
TEMPERATURSENSOR 97 8.5.4.3 MESSUNG DER SPURHOEHE MIT DEM
RUECKREFLEXSENSOR 98 8.5.5 MESSUNG DER SPURBREITE 100 8.5.5.1 GRUNDLAGEN
100 8.5.5.2 IDEALISIERUNG DER SITUATION DURCH EINEN KALIBRIEROFEN . . .
100 8.5.5.3 MESSUNGEN DER SPURBREITE MIT DEM TEMPERATURSENSOR . . . 102
8.5.6 UNTERSUCHUNGEN MIT ZWEI PYROMETERN 103 8.5.7 MESSUNGEN AUF DER
PLASMA-WELLENLAENGE 104 8.6 QUALITAETSKONTROLLE 106 9 PROZESSREGELUNG 107
9.1 GRUNDLAGEN DER REGELUNGSTECHNIK 107 92 REGELUNG DER TEMPERATUR 110
9.2.1 AUFBAU DES TEMPERATURREGLERS 110 9.22 AUSWIRKUNG DER
PID-REGELANTEILE 112 9.23 AUSWIRKUNG DER REGELUNG AUF DIE SPURANFAENGE
116 9.2.4 DAS ENDGUELTIGE REGELSCHEMA 117 9.2.5 TEMPERATURREGELUNG UEBER
DEN PLASMASENSOR 121 9.3 REGELUNG DER SPURHOEHE 121 93.1 VORUEBERLEGUNG
121 9.3.2 UMSETZUNG 122 9.4 DETEKTION UEBERFAHRENER SPUREN 124 10
ZUSAMMENFASSUNG 127 LITERATURVERZEICHNIS 131 DANKSAGUNG
|
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