Schnattinger, T. (2007). Mesoscopic simulation of photoresist processing in optical lithography: = Mesoskopische Simulation der Photolackbearbeitung in der optischen Lithographie.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schnattinger, Thomas. Mesoscopic Simulation of Photoresist Processing in Optical Lithography: = Mesoskopische Simulation Der Photolackbearbeitung in Der Optischen Lithographie. 2007.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Schnattinger, Thomas. Mesoscopic Simulation of Photoresist Processing in Optical Lithography: = Mesoskopische Simulation Der Photolackbearbeitung in Der Optischen Lithographie. 2007.
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