Mikrosystemtechnik Chemnitz '07: 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007
Gespeichert in:
| Format: | Tagungsbericht Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Chemnitz
Techn. Univ.
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VI, 154 S. Ill., graph. Darst., Tab. |
| ISBN: | 9783000221682 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV023054121 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 071217s2007 ad|| |||| 10||| ger d | ||
| 020 | |a 9783000221682 |9 978-3-00-022168-2 | ||
| 035 | |a (OCoLC)315755567 | ||
| 035 | |a (DE-599)BSZ274380013 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 | ||
| 084 | |a ZN 3700 |0 (DE-625)157333: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 340f |2 stub | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 |b 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 |c Technische Universität Chemnitz. [Programmkomitee: W. Dötzel ...] |
| 246 | 1 | 3 | |a 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik |
| 246 | 1 | 3 | |a Achte Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik |
| 264 | 1 | |a Chemnitz |b Techn. Univ. |c 2007 | |
| 300 | |a VI, 154 S. |b Ill., graph. Darst., Tab. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)1071861417 |a Konferenzschrift |y 2007 |z Chemnitz |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Dötzel, Wolfram |d 1941-2023 |e Sonstige |0 (DE-588)108263193 |4 oth | |
| 711 | 2 | |a Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik |n 8 |d 2007 |c Chemnitz |j Sonstige |0 (DE-588)6069128-1 |4 oth | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016257441&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-016257441 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804137288345583616 |
|---|---|
| adam_text | * 1 JTK. M I M TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ MIKROMECHANIK &
MIKROELEKTRONIK 8. CHEMNITZER FACHTAGUNG MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK
14./15. NOVEMBER 2007 INHALTSVERZEICHNIS SEITE SL-1 FERTIGUNG EINES
MIKROFLUIDIK- BAUTEILS ZUR LEBENDZELLZAHLBESTIMMUNG 1 MITTELS MIKROFRAESE
BOEHME, A.; SCHMIDT, CH.; KOWOLIK, J.; LIETZAU, K.; WILDENAUER, F.;
FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK SL-2 UNTERSUCHUNG DER WIRKUNG VON
SUBSTANZEN AUF ZELLEN UND MIKROORGANISMEN 4 DURCH DIE NUTZUNG DER
MIKROSYSTEMTECHNIK METZE, J.; GRODRIAN, A.; LEMKE, K.; ROEMER, R.;
SCHUMACHER, J. T.; INSTITUT FUER BIOPROZESS- UND ANALYSENMESSTECHNIK E.
V., HEILIGENSTADT, ABT. BIOPROZESSTECHNIK SL-3 KONZEPTION, DESIGN UND
FERTIGUNG EINES MIKROFLUIDISCHEN ENZYMREAKTORS ZUR 8
KOHLENHYDRATANALYTIK WERNER, R.; EDEL, C. H.; WILDENAUER, F.; WEISSER,
K.; FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK SL-4 VON DER IDEE ZUM MIKROFLUIDSYSTEM
IRLINGER, F: GUENTHER, D.; SCHEUENPFLUG, M.; LUETH, T.; TECHNISCHE
UNIVERSITAET 11 MUENCHEN, LEHRSTUHL FUER MIKROTECHNIK UND
MEDIZINGERAETETECHNIK SL-5 TELEMETRIE UND ORTUNG - EIN SYSTEMENTWURF ZUR
PATIENTENUEBERWACHUNG 16 TOST, F.; FALTER, B.; BRANDENBURGISCHE
TECHNISCHE UNIVERSITAET COTTBUS, LEHRSTUHL MIKROELEKTRONIK S2-1
MIKROSPULEN UND RF-MEMS VARAKTOREN FUER DIE KERNMAGNETISCHE 21
RESONANZSPEKTROSKOPIE - APPLIKATION UND TECHNOLOGIE LEIDICH, S.; RIEMER,
T.; HOFMANN, L.; KURTH, S.; SCHUBERT, C.; KAUFMANN, C.L; GESSNER, T.;
TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, ZENTRUM FUER MIKROTECHNOLOGIEN;
UNIVERSITAET LEIPZIG, INTERDISZIPLINAERES ZENTRUM FUER KLINISCHE FORSCHUNG;
FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION, ABTEILUNG
MULTI DEVICE INTEGRATION, CHEMNITZ S2-2 IN DIE LEITERPLATTE INTEGRIERTE
ICS - VERFORMUNGSANALYSE MIT NUMERISCHEN UND 29 MESSTECHNISCHEN METHODEN
SOMMER, J.-P.; NOACK, E.; SEILER, B.; MICHEL, B.; FRAUNHOFER INSTITUT
FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION (IZM) BERLIN, MICRO MATERIALS
CENTER BERLIN/CHEMNITZ; CHEMNITZER WERKSTOFFMECHANIK GMBH (CWM) S2-3
ENTWURF VON POSITIONSSENSORSYSTEMEN AUF BASIS VON 3D-HALL-SENSOREN 33
WILDE, A.; FRAUNHOFER GESELLSCHAFT, IIS EAS DESDEN S2-4 HOCHREFLEKTIVER
MIKROMECHANISCHER SCANNER FUER MATERIALBEARBEITUNG UND 38 MEDIZINISCHE
ANWENDUNGEN BONITZ, J.; BUNDESMANN, C; NEUMANN, H; KAUFMANN, C;
GRIEBNER, U.; TONAK, P.; GESSNER, T.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ,
ZENTRUM FUER MIKROTECHNOLOGIEN; LEIBNIZ-INSTITUT FUER
OBERFLAECHENMODIFIZIERUNG E.V., LEIPZIG, MAX-BORN-INSTITUT FUER
NICHTLINEARE OPTIK UND KURZZEITSPEKTROSKOPIE BERLIN; IMM-GRUPPE
MITTWEIDA S2-5 EIN MEMS VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP 44
TENHOLTE, D.; KURTH, S.; HILLER, K; KAUFMANN, C; GESSNER, T.; DOETZEL, W.;
MEHNER, J.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK, FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND
MIKROINTEGRATION, ABTEILUNG MULTI DEVICE INTEGRATION, CHEMNITZ I S3-1
ELEKTRONISCHE SPECKLE PATTERN INTERFEROMETRIE FUER MIKROORGANISMEN 51
CHRZUMNICKA, E.; UHLIG, K.; GOEPFRICH, A.; PFUEGER, M.; INWERSEN, J.;
VOGT, T.; FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK; HSE HOCHSCHULE ESSLINGEN, FB
FAHRZEUGTECHNIK S3-2 DUENNE PIEZOELEKTRISCHE A1N MONOMORPH-MEMBRANEN 53
ALBRECHT, A.; POLSTER, T.; WEINBERGER, S.; HOFFMANN, M.; TU ILMENAU,
INSTITUT FUER MIKRO- UND NANOTECHNOLOGIEN, FG MIKROMECHANISCHE SYSTEME
S3-3 IN-SITU-UNTERSUCHUNGEN ZUR SCHADENSANALYSE AN BLEIFREIEN
LOETVERBINDUNGEN 59 FAUST, W.; POLLER, T.; DUDEK, R.; MICHEL, B.;
FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION, CHEMNITZ,
DEPARTMENT RELIABILITY OF MICRO- AND NANOMATERIALS S3-4 ROENTGENOPTIKEN
AUS MIKROSTRUKTURIERTEM SILIZIUM 63 ZSCHENDERLEIN, U; FRUEHAUF, J.;
STRAUBE, H.; GAERTNER, E.; KAEMPFE, B.; LUCZAK, F.; ZIMNY, F.; PETRICK,
H.; BOEHME, H.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, FACHGRUPPE WERKSTOFFE DER
ELEKTROTECHNIK/ELEKTRONIK; SIMETRICS GMBH, LIMBACH-OBERFROHNA;
FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION, BERLIN;
PETRICK GMBH, BAD BLANKENBURG; FPM HOLDING GMBH, FREIBERG S3-5 SPEKTRALE
VIBRATIONSMESSUNG MIT MIKROMECHANISCHEN KRAFTGEKOPPELTEN 67
SILIZIUM-SCHWINGERN FORKE, R.; SCHEIBNER, D.; HILLER, K.; GESSNER, T.;
DOETZEL, W.; MEHNER, J.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR FUER MIKROSYSTEM UND
GERAETETECHNIK; SIEMENS AUTOMATION AND DRIVES, ADVANCED TECHNOLOGIES AND
SYSTEMS; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, ZENTRUM FUER MIKROTECHNOLOGIEN
S4-1 HYBRIDE AUTOMATEN ZUM SYSTEMENTWURF VON MIKROSYSTEMEN 73 MARKERT,
E.; HERRMANN, G.; HEINKEL, U; TU CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK
UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR SCHALTKREIS- UND SYSTEMENTWURF S4-2
EIN MODULARER MODELLIERUNGSANSATZ FUER DIE ANALYSE THERMISCHER UND 79
ELEKTROMAGNETISCHER EFFEKTE BEI DER 3D-SYSTEMINTEGRATION SCHNEIDER,
PETER; REITZ, S.; WILDE, A.; STOLLE, J.; FRAUNHOFER GESELLSCHAFT, IIS
EAS DRESDEN S4-3 EIN KORREKTURVERFAHREN FUER DIE INERTIALNAVIGATION EINER
GEHMASCHINE 87 WANG, H.; MARKERT, E.; HERRMANN, G.; HEINKEL, U; TU
CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR
SCHALTKREIS- UND SYSTEMENTWURF S4-4 TESTSTRUKTUREN ZUR MESSUNG DER
MECHANISCHEN VERFORMUNG IN 91 SENSORVERPACKUNGEN AUF BASIS DES
PIEZORESISTIVEN EFFEKTS RANK, H.; HEITZ, M.; KRETSCHMANN, A.; MEHNER,
J.; GESSNER,T.; ROBERT BOSCH GMBH, AUTOMOTIVE ELECTRONICS, REUTLINGEN; TU
CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK S4-5
THERMOELEKTRISCHE GENERATOREN IN STANDARD SILIZIUM/ALUMINIUM TECHNOLOGIE
96 GLOSCH, H.; BILLAT, S.; AUBER, J.; ASHAUER, M.;
HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT, INSTITUT FUER MIKRO- UND
INFORMATIONSTECHNIK, THERMISCHE SENSOREN, VILLINGEN-SCHWENNINGEN II PI
VORAUSSETZUNGEN ZUR KOMPARTIMENTIERUNG VON ZELL- UND BEADSUSPENSIONEN IN
101 GESCHLOSSENEN MIKROSYSTEMEN METZE, J.; GRODRIAN, A.; LEMKE, K.;
ROEMER, R; SCHUMACHER, J. T.; INSTITUT FUER BIOPROZESS- UND
ANALYSENMESSTECHNIK E.V. HEILIGENSTADT, ABT. BIOPROZESSTECHNIK P2
PACKAGING-LOESUNG FUER EIN MIKROOPTISCHES BAUTEIL 102 KOEGLER, D.; HUSTER,
R; KRONAST, W.; MESCHEDER, U.; OSTERWINTER, H.; HOCHSCHULE ESSLINGEN,
INSTITUT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOEPPINGEN; HOCHSCHULE FURTWANGEN,
INSTITUT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG, FURTWANGEN P3 OPTIMIERUNG DER
PROZESSPARAMETER ZUR SPANNUNGSARMEN AUFBRINGUNG VON 106 SU-8-LACK AUF
SILIZIUM SOMMER, S.; MAYR, A.; STROBELT, T.; OSTERWINTER, H.; HOCHSCHULE
ESSLINGEN, INSTITUT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOEPPINGEN P4 HEISSPRAEGEN
MIT EINEM SILIKONKAUTSCHUKPRAEGESTEMPEL 110 MAYR, A.; SOMMER, S.;
OSTERWINTER, H.; STROBELT, T.; HOCHSCHULE ESSLINGEN, INSTITUT FUER
ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOEPPINGEN P5 UNIVERSELLES BELEUCHTUNGS-STEUERGERAET
FUER MIKROMECHANISCHE MONTAGESYSTEME 113 TOEPFER, H.; HORNBERG, A.;
HOCHSCHULE ESSLINGEN, GOEPPINGEN P6 MIKROPLATTEN AUS FREIEN ANODENOXIDEN
DES ALUMINIUMS FUER DIE 115 MIKROSYSTEMTECHNIKERZEUGNISSE IGNASCHEV, E.;
SCHULGOV, V.; ROMANTSCHUK, P.; BELORUSSISCHE STAATLICHE UNIVERSITAET FUER
INFORMATIK UND RADIOELEKTRONIK, LEHRSTUHL MIKRO- UND NANOELEKTRONIK,
MINSK P7 FE MODELING OF THE FOUR-TERMINAL SILICON PIEZORESISTIVE
STRUCTURES 117 GRIDCHIN, A. V.; KOLCHUZHIN, V. A.; GRIDCHIN, V. A.;
GERLACH, G.; NOVOSIBIRSK STATE TECHNICAL UNIVERSITY, NOVOSIBIRSK,
RUSSIA; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR MIKROSYSTEM- UND GERAETETECHNIK;
TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN, INSTITUT FUER FESTKOERPERELEKTRONIK P8
EINE GENERISCHE PLATTFORM ZUR SENSORSIGNALAUSWERTUNG 123 WOLF, P.;
MARKERT, E.; HERRMANN, G.; HEINKEL, U.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ,
FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR
SCHALTKREIS- UND SYSTEMENTWURF P9 CHIP-MESSSYSTEME FUER MEDIZINISCHE
APPLIKATIONEN 125 HERRMANN, S.; BERTHOLD, F.; GERLACH, F.; VONAU, W.;
MAYER, W.; BIEGER, W.; KLARE, P. P.; KURT-SCHWABE-INSTITUT FUER MESS- UND
SENSORTECHNIK E.V. MEINSBERG; ANT.OX GMBH & CO. KG MUENCHEN; IMM
INGHENIEURBUERO MITTWEIDA P10 FERTIGUNG EINES MIKROFLUIDIK- BAUTEILS ZUR
LEBENDZELLZAHLBESTIMMUNG 129 MITTELS REINRAUMTECHNIK KOWOLIK, J.;
LIETZAU, K.; BOEHME, A.; WILDENAUER, F.; FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE
FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK PLL
LOW-COST-FERTIGUNG EINES MIKROSTRUKTURIERTEN DRUCKSENSORDECKELS AUS 131
KUNSTSTOFF WERNER, R; EDEL, C. H.; FOITZIK, A. H.; BACH, U.; TFH
TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK;
PRIGNITZ MIKROSYSTEMTECHNIK GMBH III P12 MIKRO-FLOWMETER ZUR
TREIBSTOFFVERBRAUCHSMESSUNG EINER FERNERKUNDUNGS- 133 DROEHNE SCHULZE,
G.; EDEL, C.-H.; WERNER, R.; RUETHER-KINDEL, W.; FOITZIK, A .H.; TFH
TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK P13 LOW
COST REINRAUM FUER KMU 136 EDEL, C.H.; KOWOLIK, J.; BOEHME, A.; LIETZAU,
K.-H.; WERNER, R.; LINKE, S.; HELLMANN, M.; FOITZIK, A. H.; TFH
TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK P14
OPTISCHE FREIRAUMDATENUEBERTRAGUNG - VERHALTENSBESCHREIBUNG MITTELS 137
VHDL-AMS SCHOLZ, S.; BRANDENBURGISCHE TECHNISCHE UNIVERSITAET COTTBUS,
LEHRSTUHL MIKROELEKTRONIK P15 LASER TRIMMING OF MEMS 140 PETSCH, T.;
HAENEL, J.; KEIPER, B.; BLEUL, K.; BONITZ, J.; KAUFMANN, C; 3D-MICROMAC
AG, CHEMNITZ; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, ZENTRUM FUER
MIKROTECHNOLOGIEN P16 MIKROSPIEGEL-SPEKTROMETER FUER DEN NAHINFRAROTEN
SPEKTRALBEREICH - 144 APPLIKATIONEN & TRENDS OTTO, T.; SAUPE, R.; WEISS,
A.; STOCK, V.; GESSNER, T.; FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND
MIKROINTEGRATION, ABTEILUNG MULTI DEVICE INTEGRATION, CHEMNITZ; ZENTRUM
FUER MIKROTECHNOLOGIEN, TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ; COLOUR CONTROL
FARBMESSTECHNIK GMBH P17 FREQUENZANALYSE MIKROMECHANISCHER RESONATOREN
AUS SU-8 148 FLAEMIG, J.; FUELLE, A.; HAMMACHER, J.; SAUPE, J.; ZAHN, W.;
GRIMM, J.; WESTSAECHSISCHE HOCHSCHULE ZWICKAU - INSTITUT FUER
OBERFLAECHENTECHNOLOGIEN UND MIKROSYSTEME IFOM P18 MARKETING FUER
MIKROSYSTEMTECHNIK MITTELS LOW COST MESSESTAND 149 EDEL, C,; MUENCH, Y.;
BOEHME, A.; TAEPAL, J.;PETZNICK, G. SCHMIDT, C; LITZAU, K.;KOWOLIK, J.;
TAUSCHE, A.; WERNER, R.; TOELKE, R.; STEIN, F.; COLIN, R.; FOITZIK, A.
H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK
P19 PLATTFORM ZUR FORMALISIERTEN SPEZIFIKATIONSERFASSUNG 152 PROSS, U.;
RICHTER, A.; HEINKEL, U.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR SCHALTKREIS- UND
SYSTEMENTWURF P20 SMART SYSTEMS CAMPUS - EIN NEUER TECHNOLOGIEPARK IN
CHEMNITZ 154 GEISSLER, U; CHEMNITZER WIRTSCHAFTSFOERDERUNGS- UND
ENTWICKLUNGS- GESELLSCHAFT MBH (CWE), CHEMNITZ IV
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| adam_txt |
* 1 JTK. M I M TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ MIKROMECHANIK &
MIKROELEKTRONIK 8. CHEMNITZER FACHTAGUNG MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK
14./15. NOVEMBER 2007 INHALTSVERZEICHNIS SEITE SL-1 FERTIGUNG EINES
MIKROFLUIDIK- BAUTEILS ZUR LEBENDZELLZAHLBESTIMMUNG 1 MITTELS MIKROFRAESE
BOEHME, A.; SCHMIDT, CH.; KOWOLIK, J.; LIETZAU, K.; WILDENAUER, F.;
FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK SL-2 UNTERSUCHUNG DER WIRKUNG VON
SUBSTANZEN AUF ZELLEN UND MIKROORGANISMEN 4 DURCH DIE NUTZUNG DER
MIKROSYSTEMTECHNIK METZE, J.; GRODRIAN, A.; LEMKE, K.; ROEMER, R.;
SCHUMACHER, J. T.; INSTITUT FUER BIOPROZESS- UND ANALYSENMESSTECHNIK E.
V., HEILIGENSTADT, ABT. BIOPROZESSTECHNIK SL-3 KONZEPTION, DESIGN UND
FERTIGUNG EINES MIKROFLUIDISCHEN ENZYMREAKTORS ZUR 8
KOHLENHYDRATANALYTIK WERNER, R.; EDEL, C. H.; WILDENAUER, F.; WEISSER,
K.; FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK SL-4 VON DER IDEE ZUM MIKROFLUIDSYSTEM
IRLINGER, F: GUENTHER, D.; SCHEUENPFLUG, M.; LUETH, T.; TECHNISCHE
UNIVERSITAET 11 MUENCHEN, LEHRSTUHL FUER MIKROTECHNIK UND
MEDIZINGERAETETECHNIK SL-5 TELEMETRIE UND ORTUNG - EIN SYSTEMENTWURF ZUR
PATIENTENUEBERWACHUNG 16 TOST, F.; FALTER, B.; BRANDENBURGISCHE
TECHNISCHE UNIVERSITAET COTTBUS, LEHRSTUHL MIKROELEKTRONIK S2-1
MIKROSPULEN UND RF-MEMS VARAKTOREN FUER DIE KERNMAGNETISCHE 21
RESONANZSPEKTROSKOPIE - APPLIKATION UND TECHNOLOGIE LEIDICH, S.; RIEMER,
T.; HOFMANN, L.; KURTH, S.; SCHUBERT, C.; KAUFMANN, C.L; GESSNER, T.;
TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, ZENTRUM FUER MIKROTECHNOLOGIEN;
UNIVERSITAET LEIPZIG, INTERDISZIPLINAERES ZENTRUM FUER KLINISCHE FORSCHUNG;
FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION, ABTEILUNG
MULTI DEVICE INTEGRATION, CHEMNITZ S2-2 IN DIE LEITERPLATTE INTEGRIERTE
ICS - VERFORMUNGSANALYSE MIT NUMERISCHEN UND 29 MESSTECHNISCHEN METHODEN
SOMMER, J.-P.; NOACK, E.; SEILER, B.; MICHEL, B.; FRAUNHOFER INSTITUT
FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION (IZM) BERLIN, MICRO MATERIALS
CENTER BERLIN/CHEMNITZ; CHEMNITZER WERKSTOFFMECHANIK GMBH (CWM) S2-3
ENTWURF VON POSITIONSSENSORSYSTEMEN AUF BASIS VON 3D-HALL-SENSOREN 33
WILDE, A.; FRAUNHOFER GESELLSCHAFT, IIS EAS DESDEN S2-4 HOCHREFLEKTIVER
MIKROMECHANISCHER SCANNER FUER MATERIALBEARBEITUNG UND 38 MEDIZINISCHE
ANWENDUNGEN BONITZ, J.; BUNDESMANN, C; NEUMANN, H; KAUFMANN, C;
GRIEBNER, U.; TONAK, P.; GESSNER, T.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ,
ZENTRUM FUER MIKROTECHNOLOGIEN; LEIBNIZ-INSTITUT FUER
OBERFLAECHENMODIFIZIERUNG E.V., LEIPZIG, MAX-BORN-INSTITUT FUER
NICHTLINEARE OPTIK UND KURZZEITSPEKTROSKOPIE BERLIN; IMM-GRUPPE
MITTWEIDA S2-5 EIN MEMS VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP 44
TENHOLTE, D.; KURTH, S.; HILLER, K; KAUFMANN, C; GESSNER, T.; DOETZEL, W.;
MEHNER, J.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK, FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND
MIKROINTEGRATION, ABTEILUNG MULTI DEVICE INTEGRATION, CHEMNITZ I S3-1
ELEKTRONISCHE SPECKLE PATTERN INTERFEROMETRIE FUER MIKROORGANISMEN 51
CHRZUMNICKA, E.; UHLIG, K.; GOEPFRICH, A.; PFUEGER, M.; INWERSEN, J.;
VOGT, T.; FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK; HSE HOCHSCHULE ESSLINGEN, FB
FAHRZEUGTECHNIK S3-2 DUENNE PIEZOELEKTRISCHE A1N MONOMORPH-MEMBRANEN 53
ALBRECHT, A.; POLSTER, T.; WEINBERGER, S.; HOFFMANN, M.; TU ILMENAU,
INSTITUT FUER MIKRO- UND NANOTECHNOLOGIEN, FG MIKROMECHANISCHE SYSTEME
S3-3 IN-SITU-UNTERSUCHUNGEN ZUR SCHADENSANALYSE AN BLEIFREIEN
LOETVERBINDUNGEN 59 FAUST, W.; POLLER, T.; DUDEK, R.; MICHEL, B.;
FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION, CHEMNITZ,
DEPARTMENT RELIABILITY OF MICRO- AND NANOMATERIALS S3-4 ROENTGENOPTIKEN
AUS MIKROSTRUKTURIERTEM SILIZIUM 63 ZSCHENDERLEIN, U; FRUEHAUF, J.;
STRAUBE, H.; GAERTNER, E.; KAEMPFE, B.; LUCZAK, F.; ZIMNY, F.; PETRICK,
H.; BOEHME, H.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, FACHGRUPPE WERKSTOFFE DER
ELEKTROTECHNIK/ELEKTRONIK; SIMETRICS GMBH, LIMBACH-OBERFROHNA;
FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION, BERLIN;
PETRICK GMBH, BAD BLANKENBURG; FPM HOLDING GMBH, FREIBERG S3-5 SPEKTRALE
VIBRATIONSMESSUNG MIT MIKROMECHANISCHEN KRAFTGEKOPPELTEN 67
SILIZIUM-SCHWINGERN FORKE, R.; SCHEIBNER, D.; HILLER, K.; GESSNER, T.;
DOETZEL, W.; MEHNER, J.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR FUER MIKROSYSTEM UND
GERAETETECHNIK; SIEMENS AUTOMATION AND DRIVES, ADVANCED TECHNOLOGIES AND
SYSTEMS; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, ZENTRUM FUER MIKROTECHNOLOGIEN
S4-1 HYBRIDE AUTOMATEN ZUM SYSTEMENTWURF VON MIKROSYSTEMEN 73 MARKERT,
E.; HERRMANN, G.; HEINKEL, U; TU CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK
UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR SCHALTKREIS- UND SYSTEMENTWURF S4-2
EIN MODULARER MODELLIERUNGSANSATZ FUER DIE ANALYSE THERMISCHER UND 79
ELEKTROMAGNETISCHER EFFEKTE BEI DER 3D-SYSTEMINTEGRATION SCHNEIDER,
PETER; REITZ, S.; WILDE, A.; STOLLE, J.; FRAUNHOFER GESELLSCHAFT, IIS
EAS DRESDEN S4-3 EIN KORREKTURVERFAHREN FUER DIE INERTIALNAVIGATION EINER
GEHMASCHINE 87 WANG, H.; MARKERT, E.; HERRMANN, G.; HEINKEL, U; TU
CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR
SCHALTKREIS- UND SYSTEMENTWURF S4-4 TESTSTRUKTUREN ZUR MESSUNG DER
MECHANISCHEN VERFORMUNG IN 91 SENSORVERPACKUNGEN AUF BASIS DES
PIEZORESISTIVEN EFFEKTS RANK, H.; HEITZ, M.; KRETSCHMANN, A.; MEHNER,
J.; GESSNER,T.; ROBERT BOSCH GMBH, AUTOMOTIVE ELECTRONICS, REUTLINGEN; TU
CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK S4-5
THERMOELEKTRISCHE GENERATOREN IN STANDARD SILIZIUM/ALUMINIUM TECHNOLOGIE
96 GLOSCH, H.; BILLAT, S.; AUBER, J.; ASHAUER, M.;
HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT, INSTITUT FUER MIKRO- UND
INFORMATIONSTECHNIK, THERMISCHE SENSOREN, VILLINGEN-SCHWENNINGEN II PI
VORAUSSETZUNGEN ZUR KOMPARTIMENTIERUNG VON ZELL- UND BEADSUSPENSIONEN IN
101 GESCHLOSSENEN MIKROSYSTEMEN METZE, J.; GRODRIAN, A.; LEMKE, K.;
ROEMER, R; SCHUMACHER, J. T.; INSTITUT FUER BIOPROZESS- UND
ANALYSENMESSTECHNIK E.V. HEILIGENSTADT, ABT. BIOPROZESSTECHNIK P2
PACKAGING-LOESUNG FUER EIN MIKROOPTISCHES BAUTEIL 102 KOEGLER, D.; HUSTER,
R; KRONAST, W.; MESCHEDER, U.; OSTERWINTER, H.; HOCHSCHULE ESSLINGEN,
INSTITUT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOEPPINGEN; HOCHSCHULE FURTWANGEN,
INSTITUT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG, FURTWANGEN P3 OPTIMIERUNG DER
PROZESSPARAMETER ZUR SPANNUNGSARMEN AUFBRINGUNG VON 106 SU-8-LACK AUF
SILIZIUM SOMMER, S.; MAYR, A.; STROBELT, T.; OSTERWINTER, H.; HOCHSCHULE
ESSLINGEN, INSTITUT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOEPPINGEN P4 HEISSPRAEGEN
MIT EINEM SILIKONKAUTSCHUKPRAEGESTEMPEL 110 MAYR, A.; SOMMER, S.;
OSTERWINTER, H.; STROBELT, T.; HOCHSCHULE ESSLINGEN, INSTITUT FUER
ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOEPPINGEN P5 UNIVERSELLES BELEUCHTUNGS-STEUERGERAET
FUER MIKROMECHANISCHE MONTAGESYSTEME 113 TOEPFER, H.; HORNBERG, A.;
HOCHSCHULE ESSLINGEN, GOEPPINGEN P6 MIKROPLATTEN AUS FREIEN ANODENOXIDEN
DES ALUMINIUMS FUER DIE 115 MIKROSYSTEMTECHNIKERZEUGNISSE IGNASCHEV, E.;
SCHULGOV, V.; ROMANTSCHUK, P.; BELORUSSISCHE STAATLICHE UNIVERSITAET FUER
INFORMATIK UND RADIOELEKTRONIK, LEHRSTUHL MIKRO- UND NANOELEKTRONIK,
MINSK P7 FE MODELING OF THE FOUR-TERMINAL SILICON PIEZORESISTIVE
STRUCTURES 117 GRIDCHIN, A. V.; KOLCHUZHIN, V. A.; GRIDCHIN, V. A.;
GERLACH, G.; NOVOSIBIRSK STATE TECHNICAL UNIVERSITY, NOVOSIBIRSK,
RUSSIA; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR MIKROSYSTEM- UND GERAETETECHNIK;
TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN, INSTITUT FUER FESTKOERPERELEKTRONIK P8
EINE GENERISCHE PLATTFORM ZUR SENSORSIGNALAUSWERTUNG 123 WOLF, P.;
MARKERT, E.; HERRMANN, G.; HEINKEL, U.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ,
FAKULTAET FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR
SCHALTKREIS- UND SYSTEMENTWURF P9 CHIP-MESSSYSTEME FUER MEDIZINISCHE
APPLIKATIONEN 125 HERRMANN, S.; BERTHOLD, F.; GERLACH, F.; VONAU, W.;
MAYER, W.; BIEGER, W.; KLARE, P. P.; KURT-SCHWABE-INSTITUT FUER MESS- UND
SENSORTECHNIK E.V. MEINSBERG; ANT.OX GMBH & CO. KG MUENCHEN; IMM
INGHENIEURBUERO MITTWEIDA P10 FERTIGUNG EINES MIKROFLUIDIK- BAUTEILS ZUR
LEBENDZELLZAHLBESTIMMUNG 129 MITTELS REINRAUMTECHNIK KOWOLIK, J.;
LIETZAU, K.; BOEHME, A.; WILDENAUER, F.; FOITZIK, A. H.; TFH TECHNISCHE
FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK PLL
LOW-COST-FERTIGUNG EINES MIKROSTRUKTURIERTEN DRUCKSENSORDECKELS AUS 131
KUNSTSTOFF WERNER, R; EDEL, C. H.; FOITZIK, A. H.; BACH, U.; TFH
TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK;
PRIGNITZ MIKROSYSTEMTECHNIK GMBH III P12 MIKRO-FLOWMETER ZUR
TREIBSTOFFVERBRAUCHSMESSUNG EINER FERNERKUNDUNGS- 133 DROEHNE SCHULZE,
G.; EDEL, C.-H.; WERNER, R.; RUETHER-KINDEL, W.; FOITZIK, A .H.; TFH
TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK P13 LOW
COST REINRAUM FUER KMU 136 EDEL, C.H.; KOWOLIK, J.; BOEHME, A.; LIETZAU,
K.-H.; WERNER, R.; LINKE, S.; HELLMANN, M.; FOITZIK, A. H.; TFH
TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK P14
OPTISCHE FREIRAUMDATENUEBERTRAGUNG - VERHALTENSBESCHREIBUNG MITTELS 137
VHDL-AMS SCHOLZ, S.; BRANDENBURGISCHE TECHNISCHE UNIVERSITAET COTTBUS,
LEHRSTUHL MIKROELEKTRONIK P15 LASER TRIMMING OF MEMS 140 PETSCH, T.;
HAENEL, J.; KEIPER, B.; BLEUL, K.; BONITZ, J.; KAUFMANN, C; 3D-MICROMAC
AG, CHEMNITZ; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, ZENTRUM FUER
MIKROTECHNOLOGIEN P16 MIKROSPIEGEL-SPEKTROMETER FUER DEN NAHINFRAROTEN
SPEKTRALBEREICH - 144 APPLIKATIONEN & TRENDS OTTO, T.; SAUPE, R.; WEISS,
A.; STOCK, V.; GESSNER, T.; FRAUNHOFER INSTITUT FUER ZUVERLAESSIGKEIT UND
MIKROINTEGRATION, ABTEILUNG MULTI DEVICE INTEGRATION, CHEMNITZ; ZENTRUM
FUER MIKROTECHNOLOGIEN, TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ; COLOUR CONTROL
FARBMESSTECHNIK GMBH P17 FREQUENZANALYSE MIKROMECHANISCHER RESONATOREN
AUS SU-8 148 FLAEMIG, J.; FUELLE, A.; HAMMACHER, J.; SAUPE, J.; ZAHN, W.;
GRIMM, J.; WESTSAECHSISCHE HOCHSCHULE ZWICKAU - INSTITUT FUER
OBERFLAECHENTECHNOLOGIEN UND MIKROSYSTEME IFOM P18 MARKETING FUER
MIKROSYSTEMTECHNIK MITTELS LOW COST MESSESTAND 149 EDEL, C,; MUENCH, Y.;
BOEHME, A.; TAEPAL, J.;PETZNICK, G. SCHMIDT, C; LITZAU, K.;KOWOLIK, J.;
TAUSCHE, A.; WERNER, R.; TOELKE, R.; STEIN, F.; COLIN, R.; FOITZIK, A.
H.; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU, BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK
P19 PLATTFORM ZUR FORMALISIERTEN SPEZIFIKATIONSERFASSUNG 152 PROSS, U.;
RICHTER, A.; HEINKEL, U.; TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ, FAKULTAET FUER
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR SCHALTKREIS- UND
SYSTEMENTWURF P20 SMART SYSTEMS CAMPUS - EIN NEUER TECHNOLOGIEPARK IN
CHEMNITZ 154 GEISSLER, U; CHEMNITZER WIRTSCHAFTSFOERDERUNGS- UND
ENTWICKLUNGS- GESELLSCHAFT MBH (CWE), CHEMNITZ IV |
| any_adam_object | 1 |
| any_adam_object_boolean | 1 |
| author_GND | (DE-588)108263193 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV023054121 |
| classification_rvk | ZN 3700 |
| classification_tum | ELT 340f |
| ctrlnum | (OCoLC)315755567 (DE-599)BSZ274380013 |
| discipline | Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| discipline_str_mv | Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Conference Proceeding Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01698nam a2200373 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV023054121</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">071217s2007 ad|| |||| 10||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783000221682</subfield><subfield code="9">978-3-00-022168-2</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)315755567</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BSZ274380013</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3700</subfield><subfield code="0">(DE-625)157333:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 340f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik Chemnitz '07</subfield><subfield code="b">8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007</subfield><subfield code="c">Technische Universität Chemnitz. [Programmkomitee: W. Dötzel ...]</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Achte Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Chemnitz</subfield><subfield code="b">Techn. Univ.</subfield><subfield code="c">2007</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 154 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst., Tab.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="y">2007</subfield><subfield code="z">Chemnitz</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dötzel, Wolfram</subfield><subfield code="d">1941-2023</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)108263193</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="711" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik</subfield><subfield code="n">8</subfield><subfield code="d">2007</subfield><subfield code="c">Chemnitz</subfield><subfield code="j">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)6069128-1</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016257441&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-016257441</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 2007 Chemnitz gnd-content |
| genre_facet | Konferenzschrift 2007 Chemnitz |
| id | DE-604.BV023054121 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T19:25:54Z |
| indexdate | 2024-07-09T21:09:55Z |
| institution | BVB |
| institution_GND | (DE-588)6069128-1 |
| isbn | 9783000221682 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-016257441 |
| oclc_num | 315755567 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | VI, 154 S. Ill., graph. Darst., Tab. |
| publishDate | 2007 |
| publishDateSearch | 2007 |
| publishDateSort | 2007 |
| publisher | Techn. Univ. |
| record_format | marc |
| spelling | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 Technische Universität Chemnitz. [Programmkomitee: W. Dötzel ...] 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik Achte Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik Chemnitz Techn. Univ. 2007 VI, 154 S. Ill., graph. Darst., Tab. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 2007 Chemnitz gnd-content Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s DE-604 Dötzel, Wolfram 1941-2023 Sonstige (DE-588)108263193 oth Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 8 2007 Chemnitz Sonstige (DE-588)6069128-1 oth GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016257441&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4221617-5 (DE-588)1071861417 |
| title | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 |
| title_alt | 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik Achte Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik |
| title_auth | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 |
| title_exact_search | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 |
| title_exact_search_txtP | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 |
| title_full | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 Technische Universität Chemnitz. [Programmkomitee: W. Dötzel ...] |
| title_fullStr | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 Technische Universität Chemnitz. [Programmkomitee: W. Dötzel ...] |
| title_full_unstemmed | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 Technische Universität Chemnitz. [Programmkomitee: W. Dötzel ...] |
| title_short | Mikrosystemtechnik Chemnitz '07 |
| title_sort | mikrosystemtechnik chemnitz 07 8 chemnitzer fachtagung mikromechanik mikroelektronik 14 15 november 2007 |
| title_sub | 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007 |
| topic | Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| topic_facet | Mikrosystemtechnik Konferenzschrift 2007 Chemnitz |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016257441&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT dotzelwolfram mikrosystemtechnikchemnitz078chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronik1415november2007 AT chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronikchemnitz mikrosystemtechnikchemnitz078chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronik1415november2007 AT dotzelwolfram 8chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronik AT chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronikchemnitz 8chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronik AT dotzelwolfram achtechemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronik AT chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronikchemnitz achtechemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronik |