Supercritical fluid cleaning: fundamentals, technology, and applications
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Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Westwood, NJ Noyes Publ. 1998
Schriftenreihe:Noyes publications in materials science, process technology and semiconductors
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Beschreibung:1 Online-Ressource (XVI, 290 S. graph. Darst.)
ISBN:9781591242710
9780815514169
9780815519164

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