Laterales DUV-Shearing Interferometer mit reduzierter zeitlicher und räumlicher Kohärenz:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Harder, Irina 1975- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Erlangen Univ. Erlangen-Nürnberg Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung 2007
Schriftenreihe:Progress in modern optics 18
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2007
Beschreibung:VI, 120 S. Ill., graph. Darst. 210 mm x 150 mm
ISBN:9783932392771

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