Entwicklung und Modellierung eines Silizium-Mikrofons mit integrierter Signalverarbeitung:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Logos-Verl.
2006
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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|---|---|
| adam_text | DIPL.-LNG. MICHAEL BRAUER ENTWICKLUNG UND MODELLIERUNG EINES
SILIZIUM-MIKROFONS MIT INTEGRIERTER SIGNALVERARBEITUNG
INHALTSVERZEICHNIS KURZFASSUNG 1 ABSTRACT 3 VORWORT 5 INHALTSVERZEICHNIS
7 1 EINLEITUNG 11 1.1 MOTIVATION 11 1.2 STAND DER TECHNIK 14 1.2.1
KAPAZITIVES WANDLERPRINZIP 16 1.2.2 PIEZORESISTIVES VERFAHREN 18 1.2.3
PIEZOELEKTRISCHES VERFAHREN 19 1.2.4 FET-MIKROFON 20 1.2.5 OPTISCHES
MIKROFON 21 1.2.6 MICROFLOWN 21 1.3 ZIELSETZUNG UND LOESUNGSWEGE 22 1.4
AUFBAU UND GLIEDERUNG DER VORLIEGENDEN ARBEIT 24 2 KONZEPTE ZUR
REALISIERUNG VON SILIZIUM-MIKROFONEN 27 2.1 MONOLITHISCHE INTEGRATION 27
2.2 HYBRIDE INTEGRATION 31 2.3 VERGLEICH ZWISCHEN MONOLITHISCHER UND
HYBRIDER INTEGRATION 32 2.4 INTEGRIERTER HOCHOHMIGER
POLYSILIZIUM-WIDERSTAND ALS LADEELEMENT 36 2.5 GEHAEUSEANFORDERUNGEN FUER
DAS SILIZIUM-MIKROFON 38 3 ANALYTISCHE BETRACHTUNGEN DER ELEKTRISCHEN
KOMPONENTEN DES MIKROFONSYSTEMS 41 3.1 BETRACHTUNG DES
SILIZIUM-MIKROFONS ALS KAPAZITIVER SCHALLWANDLER 41 3.1.1 BESTIMMUNG DER
HARMONISCHEN VERZERRUNG 46 3.2 HOCHOHMIGER LADEWIDERSTAND ZUR
INJIZIERUNG DER LADUNG AUF DIE MIKROFONKAPAZITAET 59 3.2.1 EXKURS: DIODEN
ALS ALTERNATIVES LADEKONZEPT 63 3.3 EINFLUSS DER PARASITAEREN KAPAZITAETEN
AUF DIE EMPFINDLICHKEIT UND DAS RAUSCHEN . 66 3.4 UEBERTRAGUNGSVERHALTEN
DER IMPEDANZWANDLERSCHALTUNG FUER EIN SILIZIUM- MIKROFON 69 3.4.1
SIGNALUEBERTRAGUNG 70 3.4.2 ANALYSE DER IM SYSTEM AUFTRETENDEN
RAUSCHQUELLEN 77 3.4.3 ANALYTISCHE BERECHNUNG UND SPICE-BASIERTE
SIMULATION IM VERGLEICH 81 7 3.4.4 VERGLEICH ZWISCHEN SPERRSCHICHT-FET
UND MOSFET 86 4 GENERIERUNG DES NETZWERKMODELLS UND SIMULATION DES
MIKROFONSYSTEMS AUF SPICE-BASIS 89 4.1 AKUSTISCHES ERSATZSCHALTBILD DES
SILIZIUM-MIKROFONS 90 4.2 MODELL UND UEBERTRAGUNGSFUNKTION DES
MECHANISCH-ELEKTRISCHEN WANDLERS 95 4.3 EINBINDUNG DER
IMPEDANZWANDLERSCHALTUNG IN DAS MODELL 97 4.4 EINBEZIEHUNG ALLER
RELEVANTEN PARASITAEREN KAPAZITAETEN IN DAS MODELL 98 4.5
SIMULATIONSERGEBNISSE DES GESAMTEN MIKROFON-NETZWERKMODELLS 99 5
MESSTECHNIK UND MESSUNGEN DER MIKROFONSYSTEME 109 5.1 MESSVERFAHREN ZUR
BESTIMMUNG DER EMPFINDLICHKEIT 109 5.1.1 VERWENDUNG EINER FREIFELDKAMMER
110 5.1.2 VERWENDUNG EINER SCHALLDRUCKKAMMER 111 5.1.3 VERGLEICH
ZWISCHEN FREIFELD- UND SCHALLDRUCKKAMMER 114 5.2 AUFBAU ZUR
RAUSCHMESSUNG 116 5.3 MESSUNGEN AN DEN MONOLITHISCH INTEGRIERTEN
MIKROFONSYSTEMEN 118 5.3.1 CHARAKTERISIERUNG DER INTEGRIERTEN
SPERRSCHICHT-FETS 119 5.3.2 PERFORMANCE DER MONOLITHISCH INTEGRIERTEN
MIKROFONSYSTEME 127 5.4 MESSUNGEN AN DEN HYBRID INTEGRIERTEN
MIKROFONSYSTEMEN 128 5.4.1 SCHICHTWIDERSTAND UND TEMPERATURKOEFFIZIENTEN
DES LADEWIDERSTANDES 128 5.4.2 EMPFINDLICHKEITSMESSUNGEN AN DEN
MIKROFONSYSTEMEN 137 5.4.3 RAUSCHMESSUNGEN AN DEN MIKROFONSYSTEMEN 138
5.4.4 BESTIMMUNG DES SIGNAL-RAUSCH-ABSTANDES 141 5.4.5 MESSUNG DER
HARMONISCHEN VERZERRUNG 143 5.4.6 TEMPERATURVERHALTEN DER
MIKROFONSYSTEME 144 6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 149 ANHANG 153 A - 1
DARSTELLUNG AKUSTISCHER GROESSEN 153 A - 2 DIE A-BEWERTUNG 155 A - 3
HERLEITUNG DER FOURIERKOEFFIZIENTEN ZUR BERECHNUNG DER HARMONISCHEN
VERZERRUNG 156 QUELLEN 163 ABBILDUNGSVERZEICHNIS 171 TABELLENVERZEICHNIS
179 VERWENDETE FORMELZEICHEN 181 VEROEFFENTLICHUNGEN 187 8
|
| adam_txt |
DIPL.-LNG. MICHAEL BRAUER ENTWICKLUNG UND MODELLIERUNG EINES
SILIZIUM-MIKROFONS MIT INTEGRIERTER SIGNALVERARBEITUNG
INHALTSVERZEICHNIS KURZFASSUNG 1 ABSTRACT 3 VORWORT 5 INHALTSVERZEICHNIS
7 1 EINLEITUNG 11 1.1 MOTIVATION 11 1.2 STAND DER TECHNIK 14 1.2.1
KAPAZITIVES WANDLERPRINZIP 16 1.2.2 PIEZORESISTIVES VERFAHREN 18 1.2.3
PIEZOELEKTRISCHES VERFAHREN 19 1.2.4 FET-MIKROFON 20 1.2.5 OPTISCHES
MIKROFON 21 1.2.6 MICROFLOWN 21 1.3 ZIELSETZUNG UND LOESUNGSWEGE 22 1.4
AUFBAU UND GLIEDERUNG DER VORLIEGENDEN ARBEIT 24 2 KONZEPTE ZUR
REALISIERUNG VON SILIZIUM-MIKROFONEN 27 2.1 MONOLITHISCHE INTEGRATION 27
2.2 HYBRIDE INTEGRATION 31 2.3 VERGLEICH ZWISCHEN MONOLITHISCHER UND
HYBRIDER INTEGRATION 32 2.4 INTEGRIERTER HOCHOHMIGER
POLYSILIZIUM-WIDERSTAND ALS LADEELEMENT 36 2.5 GEHAEUSEANFORDERUNGEN FUER
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KOMPONENTEN DES MIKROFONSYSTEMS 41 3.1 BETRACHTUNG DES
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HARMONISCHEN VERZERRUNG 46 3.2 HOCHOHMIGER LADEWIDERSTAND ZUR
INJIZIERUNG DER LADUNG AUF DIE MIKROFONKAPAZITAET 59 3.2.1 EXKURS: DIODEN
ALS ALTERNATIVES LADEKONZEPT 63 3.3 EINFLUSS DER PARASITAEREN KAPAZITAETEN
AUF DIE EMPFINDLICHKEIT UND DAS RAUSCHEN . 66 3.4 UEBERTRAGUNGSVERHALTEN
DER IMPEDANZWANDLERSCHALTUNG FUER EIN SILIZIUM- MIKROFON 69 3.4.1
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RAUSCHQUELLEN 77 3.4.3 ANALYTISCHE BERECHNUNG UND SPICE-BASIERTE
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MIKROFONSYSTEMS AUF SPICE-BASIS 89 4.1 AKUSTISCHES ERSATZSCHALTBILD DES
SILIZIUM-MIKROFONS 90 4.2 MODELL UND UEBERTRAGUNGSFUNKTION DES
MECHANISCH-ELEKTRISCHEN WANDLERS 95 4.3 EINBINDUNG DER
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RELEVANTEN PARASITAEREN KAPAZITAETEN IN DAS MODELL 98 4.5
SIMULATIONSERGEBNISSE DES GESAMTEN MIKROFON-NETZWERKMODELLS 99 5
MESSTECHNIK UND MESSUNGEN DER MIKROFONSYSTEME 109 5.1 MESSVERFAHREN ZUR
BESTIMMUNG DER EMPFINDLICHKEIT 109 5.1.1 VERWENDUNG EINER FREIFELDKAMMER
110 5.1.2 VERWENDUNG EINER SCHALLDRUCKKAMMER 111 5.1.3 VERGLEICH
ZWISCHEN FREIFELD- UND SCHALLDRUCKKAMMER 114 5.2 AUFBAU ZUR
RAUSCHMESSUNG 116 5.3 MESSUNGEN AN DEN MONOLITHISCH INTEGRIERTEN
MIKROFONSYSTEMEN 118 5.3.1 CHARAKTERISIERUNG DER INTEGRIERTEN
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MIKROFONSYSTEMEN 128 5.4.1 SCHICHTWIDERSTAND UND TEMPERATURKOEFFIZIENTEN
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5.4.4 BESTIMMUNG DES SIGNAL-RAUSCH-ABSTANDES 141 5.4.5 MESSUNG DER
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| spelling | Brauer, Michael Verfasser (DE-588)132699028 aut Entwicklung und Modellierung eines Silizium-Mikrofons mit integrierter Signalverarbeitung Michael Brauer Berlin Logos-Verl. 2006 188 S. Ill., graph. Darst. 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2005 Mikromechanik - Mikrophon - Siliciumbauelement - Kapazitiver Sensor - Schallmessung - Signal-Rausch-Abstand Signal-Rausch-Abstand (DE-588)4330145-9 gnd rswk-swf Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd rswk-swf Schallmessung (DE-588)4179367-5 gnd rswk-swf Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 gnd rswk-swf Mikrofon (DE-588)4139330-2 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Mikrofon (DE-588)4139330-2 s Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 s Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 s Schallmessung (DE-588)4179367-5 s Signal-Rausch-Abstand (DE-588)4330145-9 s DE-604 GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016088997&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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