(2008). Microelectronic applications of chemical mechanical planarization. Wiley.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization. Hoboken, N.J: Wiley, 2008.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization. Wiley, 2008.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.