Zum Einsatz räumlicher Lichtmodulatoren in der interferometrischen Wellenfrontmesstechnik:
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Stuttgart
2007
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55 |
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adam_text | ZUM EINSATZ RAEUMLICHER LICHTMODULATOREN IN DER INTERFEROMETRISCHEN
WELLENFRONTMESSTECHMK VON DER FAKULTAET FUER MASCHINENBAU DER UNIVERSITAET
STUTTGART ZUR ERLANGUNG DER WUERDE EINES DOKTOR-INGENIEURS (DR.-ING.)
GENEHMIGTE ABHANDLUNG VORGELEGT VON DIPL.-PHYS. JAN LIESENER GEBOREN IN
WAIBLINGEN HAUPTBERICHTER: PROF. DR. WOLFGANG OSTEN MITBERICHTER: PROF.
DR. HABIL. THOMAS GRAF TAG DER EINREICHUNG: 24.05.2006 TAG DER
MUENDLICHEN PRUEFUNG: 24.11.2006 INSTITUT FUER TECHNISCHE OPTIK DER
UNIVERSITAET STUTTGART 2007 ISBN 978-3-923560-54-7 INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG X ABSTRACT XV 1 EINFUEHRUNG UND INHALT DER ARBEIT 1 2
LICHTMODULATOREN 4 2.1 RAEUMLICHE LICHTMODULATOREN (SLM) 4 2.1.1 SLM
TECHNOLOGIEN 5 2.2 EIGNUNG PIXELIERTER SLM ZUR WELLENFRONTFORMUNG 11
2.2.1 BEUGUNGSEFFIZIENZ-BETRACHTUNGEN 13 2.2.2
WELLENFRONTFEHLER-BETRACHTUNGEN 21 2.3 WEITERE LICHTMODULATOREN 26 3
ASPHAERENMESSUNG MIT MODULIERBAREN INTERFEROMETERN 30 3.1
ASPHAERENTHEMATIK 30 3.2 INTERFEROMETER MIT VERKIPPTER REFERENZWELLE 33
3.2.1 PHASENSCHIEBENDES PUNKTLICHTQUELLEN-RASTER (PPR) 36 3.2.2
KALIBRIERUNG DER REFERENZWELLENVERKIPPUNGEN . 38 3.2.3
MESSZONEN-ERKENNUNG 41 3.2.4 ZUSAMMENFUEGEN DER EINZELMESSUNGEN 43 3.2.5
BERECHNUNG DER PRUEFLINGSFORM 44 3.2.6 VERSUCHSAUFBAU UND EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE 44 3.3 INTERFEROMETER MIT VERKIPPTER OBJEKTWELLE 49 3.3.1
AUFBAU DES INTERFEROMETERS MIT VERKIPPTER OBJEKTWELLE 50 3.3.2
VOLLSTAENDIGE INTERFEROMETER-CHARAKTERISIERUNG 52 3.3.3 MESSUNG UND
REKONSTRUKTION DER PRUEFLINGSOBERFLAECHE 60 3.3.4 ENTWICKLUNGSSTAND DES
INTERFEROMETERS MIT VERKIPPTER OBJEKTWELLE . 62 3.4 BEWERTUNG UND
VERGLEICH DER MODULIERBAREN INTERFEROMETER 67 UI INHALTSVERZEICHNIS 4
SYSTEMOPTIMIERUNG MIT SLM 72 4.1 DAS ERWEITERTE YOUNG-EXPERIMENT 74
4.1.1 GRUNDPRINZIP 74 4.1.2 STREIFENBILDUNG UND INFORMATIONSGEHALT DER
STREIFEN 75 4.1.3 DIMENSIONIERUNG DER SUBAPERTUREN 79 4.1.4
RASTERSEQUENZ 80 4.1.5 REKONSTRUKTION DER PHASENKORREKTURFUNKTION 81
4.1.6 GLAETTUNG DER PHASEKORREKTURFIMKTION 82 4.1.7 EXPERIMENTELLE DATEN
UND THEORETISCHE GRENZEN 83 4.1.8 ANWENDUNGSBEISPIELE: OPTIMIERTE
HOLOGRAMMREKONSTRUKTION .... 87 4.2 DIREKTER PHASENSUCH-ALGORITHMUS 90
4.2.1 GRUNDPRINZIP 90 4.2.2 ZONALE PHASENOPTIMIERUNG AM SLM 91 4.2.3
SCAN DES SLMS 92 4.2.4 THEORETISCHE EINSCHRAENKUNGEN 94 4.2.5
ANWENDUNGSBEISPIEL: MAXIMIERUNG DER FASEREINKOPPLUNG 95 4.2.6
GENETISCHER ALGORITHMUS 100 4.3 VERGLEICH DER ZWEI OPTIMIERMETHODEN 102
5 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 104 A ABSCHAETZUNGEN 107 A.L ANZAHL
NOETIGER MESSUNGEN BEIM INTERFEROMETER MIT VERKIPPTER REFERENZWELLE 107
LITERATURVERZEICHNIS 108 IV
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ZUM EINSATZ RAEUMLICHER LICHTMODULATOREN IN DER INTERFEROMETRISCHEN
WELLENFRONTMESSTECHMK VON DER FAKULTAET FUER MASCHINENBAU DER UNIVERSITAET
STUTTGART ZUR ERLANGUNG DER WUERDE EINES DOKTOR-INGENIEURS (DR.-ING.)
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UNIVERSITAET STUTTGART 2007 ISBN 978-3-923560-54-7 INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG X ABSTRACT XV 1 EINFUEHRUNG UND INHALT DER ARBEIT 1 2
LICHTMODULATOREN 4 2.1 RAEUMLICHE LICHTMODULATOREN (SLM) 4 2.1.1 SLM
TECHNOLOGIEN 5 2.2 EIGNUNG PIXELIERTER SLM ZUR WELLENFRONTFORMUNG 11
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