APA (7th ed.) Citation

Sieber, N. (1997). Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen ([Maschinenschrift].).

Chicago Style (17th ed.) Citation

Sieber, Norbert. Ätzraten Und Chemische Zusammensetzung Plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen. [Maschinenschrift]. 1997.

MLA (9th ed.) Citation

Sieber, Norbert. Ätzraten Und Chemische Zusammensetzung Plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen. [Maschinenschrift]. 1997.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.