Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Ausgabe: | [Maschinenschrift] |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Erlangen, Univ., Diplomarbeit, 1997 |
| Beschreibung: | 113 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV022436255 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20130430 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 070523s1997 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)844010118 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV022436255 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29T | ||
| 100 | 1 | |a Sieber, Norbert |d 1972- |e Verfasser |0 (DE-588)123969182 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| 250 | |a [Maschinenschrift] | ||
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a 113 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Erlangen, Univ., Diplomarbeit, 1997 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015644370 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804136510889394176 |
|---|---|
| adam_txt | |
| any_adam_object | |
| any_adam_object_boolean | |
| author | Sieber, Norbert 1972- |
| author_GND | (DE-588)123969182 |
| author_facet | Sieber, Norbert 1972- |
| author_role | aut |
| author_sort | Sieber, Norbert 1972- |
| author_variant | n s ns |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV022436255 |
| ctrlnum | (OCoLC)844010118 (DE-599)BVBBV022436255 |
| edition | [Maschinenschrift] |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00850nam a2200277 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV022436255</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20130430 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">070523s1997 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)844010118</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV022436255</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Sieber, Norbert</subfield><subfield code="d">1972-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)123969182</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[Maschinenschrift]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">113 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen, Univ., Diplomarbeit, 1997</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015644370</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV022436255 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T17:31:02Z |
| indexdate | 2024-07-09T20:57:33Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015644370 |
| oclc_num | 844010118 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T |
| owner_facet | DE-29T |
| physical | 113 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Sieber, Norbert 1972- Verfasser (DE-588)123969182 aut Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen [Maschinenschrift] 1997 113 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen, Univ., Diplomarbeit, 1997 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| spellingShingle | Sieber, Norbert 1972- Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_auth | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_exact_search | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_exact_search_txtP | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_full | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_fullStr | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_full_unstemmed | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_short | Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen |
| title_sort | atzraten und chemische zusammensetzung plasmageatzter 6h sic 00001 oberflachen |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT siebernorbert atzratenundchemischezusammensetzungplasmageatzter6hsic00001oberflachen |