Sieber, N. (1997). Ätzraten und chemische Zusammensetzung plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen ([Maschinenschrift].).
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Sieber, Norbert. Ätzraten Und Chemische Zusammensetzung Plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen. [Maschinenschrift]. 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Sieber, Norbert. Ätzraten Und Chemische Zusammensetzung Plasmageätzter 6H-SiC (00001)-Oberflächen. [Maschinenschrift]. 1997.
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