Jank, M. (2007). Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen. Shaker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Jank, Michael. Entwicklung Und Charakterisierung Eines CMOS-Prozesses Mit Minimierter Anzahl an Lithographieebenen. Aachen: Shaker, 2007.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Jank, Michael. Entwicklung Und Charakterisierung Eines CMOS-Prozesses Mit Minimierter Anzahl an Lithographieebenen. Shaker, 2007.
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