Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß: Diplomarbeit am FB-ET
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Buch |
Sprache: | Undetermined |
Veröffentlicht: |
1987
|
Beschreibung: | Landshut, FH, Dipl.-Arb., Ref.: Prof. Helmuth Gesch |
Beschreibung: | 49 S. Ill. ; graph. Darst. |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV022400065 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 00000000000000.0 | ||
007 | t | ||
008 | 070424s1987 ad|| |||| 00||| und d | ||
035 | |a (OCoLC)633468021 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV022400065 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
041 | |a und | ||
049 | |a DE-860 | ||
100 | 1 | |a Hobmeier, Martin |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß |b Diplomarbeit am FB-ET |c Martin Hobmeier |
264 | 1 | |c 1987 | |
300 | |a 49 S. |b Ill. ; graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
500 | |a Landshut, FH, Dipl.-Arb., Ref.: Prof. Helmuth Gesch | ||
700 | 1 | |a Gesch, Helmuth |e Sonstige |0 (DE-588)10935530X |4 oth | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015608744 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804136461423869952 |
---|---|
adam_txt | |
any_adam_object | |
any_adam_object_boolean | |
author | Hobmeier, Martin |
author_GND | (DE-588)10935530X |
author_facet | Hobmeier, Martin |
author_role | aut |
author_sort | Hobmeier, Martin |
author_variant | m h mh |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV022400065 |
ctrlnum | (OCoLC)633468021 (DE-599)BVBBV022400065 |
format | Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00846nam a2200265 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV022400065</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">070424s1987 ad|| |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)633468021</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV022400065</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-860</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hobmeier, Martin</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß</subfield><subfield code="b">Diplomarbeit am FB-ET</subfield><subfield code="c">Martin Hobmeier</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1987</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">49 S.</subfield><subfield code="b">Ill. ; graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Landshut, FH, Dipl.-Arb., Ref.: Prof. Helmuth Gesch</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Gesch, Helmuth</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)10935530X</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015608744</subfield></datafield></record></collection> |
id | DE-604.BV022400065 |
illustrated | Illustrated |
index_date | 2024-07-02T17:18:03Z |
indexdate | 2024-07-09T20:56:46Z |
institution | BVB |
language | Undetermined |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015608744 |
oclc_num | 633468021 |
open_access_boolean | |
owner | DE-860 |
owner_facet | DE-860 |
physical | 49 S. Ill. ; graph. Darst. |
publishDate | 1987 |
publishDateSearch | 1987 |
publishDateSort | 1987 |
record_format | marc |
spelling | Hobmeier, Martin Verfasser aut Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET Martin Hobmeier 1987 49 S. Ill. ; graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Landshut, FH, Dipl.-Arb., Ref.: Prof. Helmuth Gesch Gesch, Helmuth Sonstige (DE-588)10935530X oth |
spellingShingle | Hobmeier, Martin Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET |
title | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET |
title_auth | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET |
title_exact_search | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET |
title_exact_search_txtP | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET |
title_full | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET Martin Hobmeier |
title_fullStr | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET Martin Hobmeier |
title_full_unstemmed | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß Diplomarbeit am FB-ET Martin Hobmeier |
title_short | Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß |
title_sort | einfluß von substrat und maskierungsschichten auf den aluminiumtrockenatzprozeß diplomarbeit am fb et |
title_sub | Diplomarbeit am FB-ET |
work_keys_str_mv | AT hobmeiermartin einflußvonsubstratundmaskierungsschichtenaufdenaluminiumtrockenatzprozeßdiplomarbeitamfbet AT geschhelmuth einflußvonsubstratundmaskierungsschichtenaufdenaluminiumtrockenatzprozeßdiplomarbeitamfbet |