Einfluß von Substrat- und Maskierungsschichten auf den Aluminiumtrockenätzprozeß: Diplomarbeit am FB-ET
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hobmeier, Martin (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: 1987
Beschreibung:Landshut, FH, Dipl.-Arb., Ref.: Prof. Helmuth Gesch
Beschreibung:49 S. Ill. ; graph. Darst.

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