Proceedings of the 18th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-18): Tokyo, Japan, June 28 - 29, 2005
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Plasma Science for Materials Tokio (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Oda, T. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier 2007
Schriftenreihe:Thin solid films 515,9
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufnahme eines Zeitschr.-Heftes
Beschreibung:V S., S. 4094 - 4311 Ill., graph. Darst.

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