Hochortsaufgelöste spektroskopische Untersuchungen an Galliumnitrid:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Göttingen
Cuvillier
2006
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 128 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
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|---|---|
| adam_text | Inhaltsverzeichnis
Einleitung und Übersicht 1
I
1
1.1
1.2
1.3
2 Störungen
2.1 Vorspannungen............................ 15
2.1.1 Grundlagen der Elastizitätstheorie ............... 15
2.1.2 Uniaxiale und Inaxiale Vorspannung in GaN.......... 19
2.1.3 Auswirkmig von Verspannuugeii auf die Pliotohiiiiiiieszonz . . 20
2.1.4 Alternative Messniothodon zur Bestimmung der Vorspannung 25
2.2 Versetzungen ............................. 25
2.2.1 Grundlegende Eigenschaften................... 20
2.2.2 Versetzungen in Galliuinnitrid.................. 30
2.2.3 Übersieht über die Untersurlmngsmethodeu für Versetzungen . 33
3
3.1 Heteroepitaxie.............................
3.1.1 Epitaxieverfahreu......................... 3Ü
3.1.2 Substratmaterialien........................ 40
3.1.3 Gezielte Steuerung
3.2 Methoden zur Defektredvizierung .................. 43
3.2.1 ELOG............................... 43
3.2.2 SiN.r Zwisehensehieliteu...................... 45
3.3 Freitragende GaN Substrate...................... 4G
3.3.1 Mehrschritt
3.3.2 Gezielte Rissbildung im Substrat................ 47
3.3.3 Selbstablosende GaN - Sohiohten................. 47
3.3.4 Laser Lift Off........................... 48
Inhaltsverzeichnis____________________________________
II
1 Konfokale Mikroskopie............................ 50
1.1 Prinzip................................. 50
1.2 Theoretische Auflösuugsgrenzen................... 51
2
2.1 Messaufbau.............................. 53
3 Erreichbare Auflösung............................ 55
3.1 Räumliches Auflösungsvermögen................... 55
3.2 Spektrales Auflösungsvermögen................... 57
4 Benutzt« Software.............................. 58
III
1 Einzelne Versetzungen
1.1 Spektroskopie au Versetzungen.................... 60
1.2 Verspaimuugsfelder einzelner Versetzungen in /jPL......... 07
1.2.1 Räumliche Mittelung....................... 07
1.2.2 Einbeziehung von Oberfläelieiioffekten .............
1.2.3 Vorgleich mit anderen Messmethoden.............. 71
1.2.4 Schlussfolgenmgeii........................ 72
2 Ausrichtung der Burgersvektoreu von Stufenversetamgen am Kristallgitter 74
2.1 Kristallsynimetrie und Ausrichtung «1er Burgersvektoren...... 74
2.2 Experimentelle Bestimmung der Richtung der Vcrspanninigsdipol« 75
2.2.1 Faltuugsniethode zur Bestimmung der Dipolrichtuiig..... 7ü
2.2.2 Ergebnis der Richtungsauswertimg ............... 80
2.3 Ausrichtungen der Versetzungen im Experiment.......... 80
3
3.1 Versetzungsreilmugeu im Experiment................ 83
3.2 Berechnungen von Versetzuugsenseinbles.............. 83
3.2.1 Verspaimung von Versetzimgseusembles............. 84
3.2.2 Verspaunmigsiudnraerto Binduugsenergie zwischen Versetzun¬
gen ................................. 85
Zusammenfassung und Ausblick 91
Weitere Arbeiten 94
ii
Inhaltsverzeichnis
A
В
1 Verwendete Gerät«..............................100
1.1 Laser..................................100
1.2 Mikroskopobjektive..........................101
1.3 Probenhalter und Kiyostat......................103
1.4 Versehiebetisehe............................105
1.5
1.6 Beobaehtungs -Kamera........................107
2 Strahleiigänge ................................108
2.1 Anregung ...............................108
2.2 Detektion ...............................110
Probenverzeichnis 112
Abkürzungen und Sprachkonventionen 113
Abbildungsverzeichnis 114
Tabellenverzeichnis 116
Literaturverzeichnis 117
Publikationen 125
Danksagung 127
|
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Inhaltsverzeichnis
Einleitung und Übersicht 1
I
1
1.1
1.2
1.3
2 Störungen
2.1 Vorspannungen. 15
2.1.1 Grundlagen der Elastizitätstheorie . 15
2.1.2 Uniaxiale und Inaxiale Vorspannung in GaN. 19
2.1.3 Auswirkmig von Verspannuugeii auf die Pliotohiiiiiiieszonz . . 20
2.1.4 Alternative Messniothodon zur Bestimmung der Vorspannung 25
2.2 Versetzungen . 25
2.2.1 Grundlegende Eigenschaften. 20
2.2.2 Versetzungen in Galliuinnitrid. 30
2.2.3 Übersieht über die Untersurlmngsmethodeu für Versetzungen . 33
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3.1 Heteroepitaxie.
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II
1 Konfokale Mikroskopie. 50
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3 Erreichbare Auflösung. 55
3.1 Räumliches Auflösungsvermögen. 55
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III
1 Einzelne Versetzungen
1.1 Spektroskopie au Versetzungen. 60
1.2 Verspaimuugsfelder einzelner Versetzungen in /jPL. 07
1.2.1 Räumliche Mittelung. 07
1.2.2 Einbeziehung von Oberfläelieiioffekten .
1.2.3 Vorgleich mit anderen Messmethoden. 71
1.2.4 Schlussfolgenmgeii. 72
2 Ausrichtung der Burgersvektoreu von Stufenversetamgen am Kristallgitter 74
2.1 Kristallsynimetrie und Ausrichtung «1er Burgersvektoren. 74
2.2 Experimentelle Bestimmung der Richtung der Vcrspanninigsdipol« 75
2.2.1 Faltuugsniethode zur Bestimmung der Dipolrichtuiig. 7ü
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3.2.1 Verspaimung von Versetzimgseusembles. 84
3.2.2 Verspaunmigsiudnraerto Binduugsenergie zwischen Versetzun¬
gen . 85
Zusammenfassung und Ausblick 91
Weitere Arbeiten 94
ii
Inhaltsverzeichnis
A
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1 Verwendete Gerät«.100
1.1 Laser.100
1.2 Mikroskopobjektive.101
1.3 Probenhalter und Kiyostat.103
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Probenverzeichnis 112
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