Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine:
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart [u.a.]
Hirzel
2006
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| Schriftenreihe: | Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse
2,1 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 25 S. Ill., graph. Darst. |
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* TECHNIKWISSENSCHAFTLICHE KLASSE * BAND 2 * HEFT 1 WOLFRAM DOETZEL
MIKROSYSTEMTECHNIK - WACHSTUM INS KLEINE 2K IM **** VERLAG DER
SAECHSISCHEN AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN ZU LEIPZIG - IN KOMMISSION BEI
S. HIRZEL STUTTGART/LEIPZIG 16508292 INHALT 1. EINLEITUNG 5 1.1 WAS IST
EIN MIKROSYSTEM? 5 1.2 WARUM MIKROSYSTEME? 7 2. SKALIERUNG 9 3.
KONSTRUKTIONSWERKSTOFF SILIZIUM 12 4. MIKROMECHANISCHE KOMPONENTEN 15
4.1 DAS ELEKTROSTATISCHE WANDLERPRINZIP 15 4.2 ENTWURF 19 4.3 BEISPIELE
VON SENSOREN UND AKTOREN 22 4.3.1 MIKROMECHANISCHES
VIBRATIONSSENSORARRAY 22 4.3.2 MIKROMECHANISCHES SCHRITTWERK 24 5.
LITERATUR 26
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SITZUNGSBERICHTE DER SAECHSISCHEN AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN ZU LEIPZIG
* TECHNIKWISSENSCHAFTLICHE KLASSE * BAND 2 * HEFT 1 WOLFRAM DOETZEL
MIKROSYSTEMTECHNIK - WACHSTUM INS KLEINE 2K IM **** VERLAG DER
SAECHSISCHEN AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN ZU LEIPZIG - IN KOMMISSION BEI
S. HIRZEL STUTTGART/LEIPZIG 16508292 INHALT 1. EINLEITUNG 5 1.1 WAS IST
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