Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Zonenschmelzrekristallisation dicker und dünner polykristalliner Silicimschichten auf amorphen isolierenden Substraten:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Egelsbach [u.a.]
Hänsel-Hohenhausen
1993
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| Schriftenreihe: | Deutsche Hochschulschriften
459 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1992 |
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