Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams: 33
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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: New York, NY American Inst. of Physics 1989
Beschreibung:In: Journal of vacuum science and technology / 2 / B. Vol. 7, Nr. 6, 1989
Beschreibung:S. 1321 - 2140 Ill., graph. Darst

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