Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams: 1983 31 May - 3 June 1983
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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: New York, NY American Inst. of Physics 1983
Beschreibung:In: Journal of vacuum science & technology / 2 / B.Vol. 1, Nr. 4, 1983
Beschreibung:S. 958 - 1400
ISBN:0883184311

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