Ziebart, V. (1999). Mechanical properties of CMOS thin films ([Mikrofiche-Ausg.].).
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ziebart, Volker. Mechanical Properties of CMOS Thin Films. [Mikrofiche-Ausg.]. 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ziebart, Volker. Mechanical Properties of CMOS Thin Films. [Mikrofiche-Ausg.]. 1999.
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