Gettering and defect engineering in semiconductor technology XI: proceedings of the11th international autumn meeting, Giens (close to Marseilles), France, September 25 - 30, 2005
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Uetikon-Zuerich [u.a.] Trans Tech Publ. 2005
Schriftenreihe:Diffusion and defect data Pt. B, Solid state phenomena ; 108/109
Schlagworte:
Beschreibung:XVI, 814 S. Ill., graph. Darst.

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