Verfügbarkeit: The physics of microfabrication

The physics of microfabrication:

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Brodie, Ivor (VerfasserIn), Muray, Julius J. (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	New York [u.a.] Plenum Pr. 1983
Ausgabe:	2.print.
Schlagworte:	Technik Integrierte Schaltung Lithografie > Halbleitertechnologie Technologie Dünne Schicht Dünnschichttechnik Physik Mikroelektronik Mikrosystemtechnik Teilchenstrahl
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ISBN:	0306408635

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