The computer control of an epitaxial silicon production facility:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jackson, Don Merrill (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: 1974
Schlagworte:
Beschreibung:Tempe, Ariz., Univ., Diss., 1974. -Kopie, erschienen im Verl. Univ. Microfilms Internat., Ann Arbor, Mich.
Beschreibung:XV, 247 Bl. Ill., graph. Darst.

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