The 16th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-16): Tokyo, Japan, 4 - 5 June 2003
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Plasma Science for Materials Tokio (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier 2004
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben. - In: Thin solid films ; 457 (2004),1
Beschreibung:240 S. Ill., graph. Darst.

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