Westerwalbesloh, T. E. (2003). Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo/Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV- Reflektivität.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Westerwalbesloh, Thomas E. Optimierung Der Schichtstrukturen, Grenzflächen Und Pufferschichten Von Mo/Si-Multischichten in Hinsicht Auf Die EUV- Reflektivität. 2003.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Westerwalbesloh, Thomas E. Optimierung Der Schichtstrukturen, Grenzflächen Und Pufferschichten Von Mo/Si-Multischichten in Hinsicht Auf Die EUV- Reflektivität. 2003.
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