Defect Engineering of Advanced Semiconductor Devices: proceedings of the E-MRS 2001 spring meeting Symposium B on Defect Engineering of Advanced Semiconductor Devices ; Strasbourg, France, 4 - 8 June 2001
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] North-Holland 2002
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben. - In: Nuclear instruments & methods in physics research / B ; 186 (2002)
Beschreibung:XII, 454 S. Ill., graph. Darst.

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