Proceedings of the 12th Symposium on Plasma Science for Materials ( SPSM-12 ): Tokyo, Japan, 16 - 17 June 1999
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Plasma Science for Materials Tokio (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier 2001
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben. - In: Thin solid films ; 386 (2001),2
Beschreibung:VII S., S. 133 - 316 Ill., graph. Darst.

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