Special section on ICMTS '96:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: ICMTS Trient (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York, NY Inst. of Electrical and Electronics Engineers 1997
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben. - In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing ; 10 (1997),2
Beschreibung:S. 193 - 321 Ill., graph. Darst.

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