Verfügbarkeit: Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung

Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Scheiter, Thomas (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1996
Schlagworte:	CMOS-Schaltung Siliciumbauelement Mikromechanik BICMOS Sensor Kapazitiver Sensor Integrierter Sensor VLSI Halbleitertechnologie Hochschulschrift
Beschreibung:	München, Techn. Univ., Diss., 1996
Beschreibung:	VIII, 200 S. Ill., graph. Darst.

Internformat

MARC


LEADER	00000nam a2200000zc 4500
001	BV021935813
003	DE-604
005	20040302000000.0
007	t
008	970801s1996 ad\|\| m\|\|\| 00\|\|\| ger d
035			\|a (OCoLC)164820547
035			\|a (DE-599)BVBBV021935813
040			\|a DE-604 \|b ger
041	0		\|a ger
049			\|a DE-706
100	1		\|a Scheiter, Thomas \|e Verfasser \|4 aut
245	1	0	\|a Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung \|c Thomas Scheiter
264		1	\|c 1996
300			\|a VIII, 200 S. \|b Ill., graph. Darst.
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b n \|2 rdamedia
338			\|b nc \|2 rdacarrier
500			\|a München, Techn. Univ., Diss., 1996
650	0	7	\|a CMOS-Schaltung \|0 (DE-588)4148111-2 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Siliciumbauelement \|0 (DE-588)4181368-6 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Mikromechanik \|0 (DE-588)4205811-9 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a BICMOS \|0 (DE-588)4234781-6 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Sensor \|0 (DE-588)4038824-4 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Kapazitiver Sensor \|0 (DE-588)4209035-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Integrierter Sensor \|0 (DE-588)4235815-2 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a VLSI \|0 (DE-588)4117388-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Halbleitertechnologie \|0 (DE-588)4158814-9 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|0 (DE-588)4113937-9 \|a Hochschulschrift \|2 gnd-content
689	0	0	\|a Sensor \|0 (DE-588)4038824-4 \|D s
689	0		\|5 DE-604
689	1	0	\|a CMOS-Schaltung \|0 (DE-588)4148111-2 \|D s
689	1		\|5 DE-604
689	2	0	\|a Kapazitiver Sensor \|0 (DE-588)4209035-0 \|D s
689	2	1	\|a Integrierter Sensor \|0 (DE-588)4235815-2 \|D s
689	2	2	\|a BICMOS \|0 (DE-588)4234781-6 \|D s
689	2	3	\|a Mikromechanik \|0 (DE-588)4205811-9 \|D s
689	2	4	\|a Siliciumbauelement \|0 (DE-588)4181368-6 \|D s
689	2	5	\|a VLSI \|0 (DE-588)4117388-0 \|D s
689	2		\|8 1\p \|5 DE-604
689	3	0	\|a Mikromechanik \|0 (DE-588)4205811-9 \|D s
689	3	1	\|a Halbleitertechnologie \|0 (DE-588)4158814-9 \|D s
689	3		\|8 2\p \|5 DE-604
999			\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015150966
883	1		\|8 1\p \|a cgwrk \|d 20201028 \|q DE-101 \|u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk
883	1		\|8 2\p \|a cgwrk \|d 20201028 \|q DE-101 \|u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk

Datensatz im Suchindex

_version_	1804135894232334336
adam_txt
any_adam_object
any_adam_object_boolean
author	Scheiter, Thomas
author_facet	Scheiter, Thomas
author_role	aut
author_sort	Scheiter, Thomas
author_variant	t s ts
building	Verbundindex
bvnumber	BV021935813
ctrlnum	(OCoLC)164820547 (DE-599)BVBBV021935813
format	Book
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02174nam a2200565zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV021935813</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20040302000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970801s1996 ad\|\| m\|\|\| 00\|\|\| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)164820547</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV021935813</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Scheiter, Thomas</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung</subfield><subfield code="c">Thomas Scheiter</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VIII, 200 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CMOS-Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148111-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">BICMOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4234781-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038824-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kapazitiver Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4209035-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Integrierter Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4235815-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">VLSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4117388-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038824-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">CMOS-Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148111-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Kapazitiver Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4209035-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Integrierter Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4235815-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">BICMOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4234781-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="3"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="4"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="5"><subfield code="a">VLSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4117388-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="1"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015150966</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection>
genre	(DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content
genre_facet	Hochschulschrift
id	DE-604.BV021935813
illustrated	Illustrated
index_date	2024-07-02T16:06:36Z
indexdate	2024-07-09T20:47:45Z
institution	BVB
language	German
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015150966
oclc_num	164820547
open_access_boolean
owner	DE-706
owner_facet	DE-706
physical	VIII, 200 S. Ill., graph. Darst.
publishDate	1996
publishDateSearch	1996
publishDateSort	1996
record_format	marc
spelling	Scheiter, Thomas Verfasser aut Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung Thomas Scheiter 1996 VIII, 200 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Techn. Univ., Diss., 1996 CMOS-Schaltung (DE-588)4148111-2 gnd rswk-swf Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf BICMOS (DE-588)4234781-6 gnd rswk-swf Sensor (DE-588)4038824-4 gnd rswk-swf Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 gnd rswk-swf Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 gnd rswk-swf VLSI (DE-588)4117388-0 gnd rswk-swf Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Sensor (DE-588)4038824-4 s DE-604 CMOS-Schaltung (DE-588)4148111-2 s Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 s Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 s BICMOS (DE-588)4234781-6 s Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 s VLSI (DE-588)4117388-0 s 1\p DE-604 Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 s 2\p DE-604 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk
spellingShingle	Scheiter, Thomas Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung CMOS-Schaltung (DE-588)4148111-2 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd BICMOS (DE-588)4234781-6 gnd Sensor (DE-588)4038824-4 gnd Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 gnd Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 gnd VLSI (DE-588)4117388-0 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd
subject_GND	(DE-588)4148111-2 (DE-588)4181368-6 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4234781-6 (DE-588)4038824-4 (DE-588)4209035-0 (DE-588)4235815-2 (DE-588)4117388-0 (DE-588)4158814-9 (DE-588)4113937-9
title	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung
title_auth	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung
title_exact_search	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung
title_exact_search_txtP	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung
title_full	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung Thomas Scheiter
title_fullStr	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung Thomas Scheiter
title_full_unstemmed	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung Thomas Scheiter
title_short	Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS / BiCMOS-Prozeßumgebung
title_sort	integration mikromechanischer sensoren in einer cmos bicmos prozeßumgebung
topic	CMOS-Schaltung (DE-588)4148111-2 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd BICMOS (DE-588)4234781-6 gnd Sensor (DE-588)4038824-4 gnd Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 gnd Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 gnd VLSI (DE-588)4117388-0 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd
topic_facet	CMOS-Schaltung Siliciumbauelement Mikromechanik BICMOS Sensor Kapazitiver Sensor Integrierter Sensor VLSI Halbleitertechnologie Hochschulschrift
work_keys_str_mv	AT scheiterthomas integrationmikromechanischersensorenineinercmosbicmosprozeßumgebung

Verfügbarkeit

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand!

MARC

Datensatz im Suchindex

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Ähnliche Einträge