Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1994
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss., 1994 |
| Beschreibung: | 140 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000zc 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV021921219 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20040301000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 941028s1994 d||| |||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)635238922 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV021921219 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-706 | ||
| 100 | 1 | |a Hopfmann, Christian |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie |c Christian Hopfmann |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a 140 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a München, Techn. Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Chemie |0 (DE-588)4009816-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Abscheider |0 (DE-588)4000217-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gasphase |0 (DE-588)4156038-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Strömungsmechanik |0 (DE-588)4077970-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Abscheider |0 (DE-588)4000217-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Chemie |0 (DE-588)4009816-3 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Strömungsmechanik |0 (DE-588)4077970-1 |D s |
| 689 | 3 | |5 DE-604 | |
| 689 | 4 | 0 | |a Gasphase |0 (DE-588)4156038-3 |D s |
| 689 | 4 | |5 DE-604 | |
| 689 | 5 | 0 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |D s |
| 689 | 5 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015136379 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804135874528542720 |
|---|---|
| adam_txt | |
| any_adam_object | |
| any_adam_object_boolean | |
| author | Hopfmann, Christian |
| author_facet | Hopfmann, Christian |
| author_role | aut |
| author_sort | Hopfmann, Christian |
| author_variant | c h ch |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV021921219 |
| ctrlnum | (OCoLC)635238922 (DE-599)BVBBV021921219 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01545nam a2200469zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV021921219</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20040301000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">941028s1994 d||| |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)635238922</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV021921219</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hopfmann, Christian</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="c">Christian Hopfmann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">140 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Chemie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009816-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Abscheider</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000217-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gasphase</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156038-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Strömungsmechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077970-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Abscheider</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000217-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Chemie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009816-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Strömungsmechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077970-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2="0"><subfield code="a">Gasphase</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156038-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="5" ind2="0"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="5" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015136379</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV021921219 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T16:05:45Z |
| indexdate | 2024-07-09T20:47:26Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015136379 |
| oclc_num | 635238922 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-706 |
| owner_facet | DE-706 |
| physical | 140 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Hopfmann, Christian Verfasser aut Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie Christian Hopfmann 1994 140 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Techn. Univ., Diss., 1994 Chemie (DE-588)4009816-3 gnd rswk-swf Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Abscheider (DE-588)4000217-2 gnd rswk-swf Gasphase (DE-588)4156038-3 gnd rswk-swf Strömungsmechanik (DE-588)4077970-1 gnd rswk-swf Abscheider (DE-588)4000217-2 s DE-604 Chemie (DE-588)4009816-3 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Strömungsmechanik (DE-588)4077970-1 s Gasphase (DE-588)4156038-3 s Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 s |
| spellingShingle | Hopfmann, Christian Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie Chemie (DE-588)4009816-3 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Abscheider (DE-588)4000217-2 gnd Gasphase (DE-588)4156038-3 gnd Strömungsmechanik (DE-588)4077970-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4009816-3 (DE-588)4158814-9 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4000217-2 (DE-588)4156038-3 (DE-588)4077970-1 |
| title | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie |
| title_auth | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie |
| title_exact_search | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie |
| title_exact_search_txtP | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie |
| title_full | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie Christian Hopfmann |
| title_fullStr | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie Christian Hopfmann |
| title_full_unstemmed | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie Christian Hopfmann |
| title_short | Simulation von chemischen Abscheideprozessen in der Halbleitertechnologie |
| title_sort | simulation von chemischen abscheideprozessen in der halbleitertechnologie |
| topic | Chemie (DE-588)4009816-3 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Abscheider (DE-588)4000217-2 gnd Gasphase (DE-588)4156038-3 gnd Strömungsmechanik (DE-588)4077970-1 gnd |
| topic_facet | Chemie Halbleitertechnologie Silicium Abscheider Gasphase Strömungsmechanik |
| work_keys_str_mv | AT hopfmannchristian simulationvonchemischenabscheideprozesseninderhalbleitertechnologie |