Sherman, A. (1987). Chemical vapor deposition for microelectronics: Principles, technology, and applications (5. print.). Noyes.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Sherman, Arthur. Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology, and Applications. 5. print. Park Ridge, NJ: Noyes, 1987.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Sherman, Arthur. Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology, and Applications. 5. print. Noyes, 1987.
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