In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1991
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Neubiberg, Univ. d. Bundeswehr München, Habil.-Schr., 1991 |
| Beschreibung: | VI, 155 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000zc 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV021906396 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20230614 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 920824s1991 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)258024997 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV021906396 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-706 | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Koch, Alexander |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen |c von Alexander Koch |
| 264 | 1 | |c 1991 | |
| 300 | |a VI, 155 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Neubiberg, Univ. d. Bundeswehr München, Habil.-Schr., 1991 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichten |0 (DE-588)4005996-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmastrahlbearbeitung |0 (DE-588)4136199-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Beschichten |0 (DE-588)4005996-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Plasmastrahlbearbeitung |0 (DE-588)4136199-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015121573 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804135854585675776 |
|---|---|
| adam_txt | |
| any_adam_object | |
| any_adam_object_boolean | |
| author | Koch, Alexander |
| author_facet | Koch, Alexander |
| author_role | aut |
| author_sort | Koch, Alexander |
| author_variant | a k ak |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV021906396 |
| classification_rvk | ZM 7680 |
| ctrlnum | (OCoLC)258024997 (DE-599)BVBBV021906396 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| discipline_str_mv | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01614nam a2200445zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV021906396</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20230614 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">920824s1991 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258024997</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV021906396</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Koch, Alexander</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen</subfield><subfield code="c">von Alexander Koch</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1991</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 155 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Neubiberg, Univ. d. Bundeswehr München, Habil.-Schr., 1991</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmastrahlbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136199-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Plasmastrahlbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136199-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015121573</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV021906396 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T16:04:59Z |
| indexdate | 2024-07-09T20:47:07Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015121573 |
| oclc_num | 258024997 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-706 |
| owner_facet | DE-706 |
| physical | VI, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1991 |
| publishDateSearch | 1991 |
| publishDateSort | 1991 |
| record_format | marc |
| spelling | Koch, Alexander Verfasser aut In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen von Alexander Koch 1991 VI, 155 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Neubiberg, Univ. d. Bundeswehr München, Habil.-Schr., 1991 Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd rswk-swf Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Plasma (DE-588)4046249-3 gnd rswk-swf Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf Plasmastrahlbearbeitung (DE-588)4136199-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Plasma (DE-588)4046249-3 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s Beschichten (DE-588)4005996-0 s DE-604 Plasmastrahlbearbeitung (DE-588)4136199-4 s Beschichtung (DE-588)4144863-7 s |
| spellingShingle | Koch, Alexander In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Plasmastrahlbearbeitung (DE-588)4136199-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4005996-0 (DE-588)4144863-7 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4046249-3 (DE-588)4039207-7 (DE-588)4136199-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen |
| title_auth | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen |
| title_exact_search | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen |
| title_exact_search_txtP | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen |
| title_full | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen von Alexander Koch |
| title_fullStr | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen von Alexander Koch |
| title_full_unstemmed | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen von Alexander Koch |
| title_short | In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen |
| title_sort | in situ charakterisierung von plasmaunterstutzten beschichtungsprozessen |
| topic | Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Plasmastrahlbearbeitung (DE-588)4136199-4 gnd |
| topic_facet | Beschichten Beschichtung Dünne Schicht Plasma Mikroelektronik Plasmastrahlbearbeitung Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT kochalexander insitucharakterisierungvonplasmaunterstutztenbeschichtungsprozessen |