Special issue on low temperature silicon epitaxy:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Warrendale, PA The Minerals, Metals & Materials Soc. 1990
Schlagworte:
Beschreibung:In: Journal of electronic materials. Vol. 19, Nr. 10, 1990
Beschreibung:S. 1007-1149 Ill., graph. Darst.

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