Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering: Tagung Erlangen, 29. und 30. November 2006
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| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2006
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | VDI-Berichte
1950 |
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| adam_text | INHALT SEITE SITZUNG 1:NORMALE, KALIBRIERUNG, MESSUNSICHERHEIT P. H.
OSANNA, NANO-METROLOGIE ALS WISSENSCHAFTLICHE DISZIPLIN IN DER M. N.
DURAKBASA, PRAKTISCHEN ANWENDUNG UND IM BLICKPUNKT DER A. ALIEHI-SADAT
EUROPAEISCHEN INTERNATIONALEN STANDARDISIERUNG 3 M. RITTER, T. DZIOMBA,
M.XU, L. KOENDERS, A. KRANZMANN EINE NEUE 3D KALIBRIERSTRATEGIE FUER
MIKRO- UND NANOMESSVERFAHREN 15 E. GAERTNER, I FRUEHAUF SILIZIUM-NORMALE
FUER DIE TIEFEN-, LAENGEN UND RAUHEITSMESSTECHNIK 25 E. REITHMEIER, I
FRUEHAUF, M. RAH/VES, A. KRAFT, M. SEIFERT HEISSPRAEGEN MULTIFUNKTIONALER
KALIBRIERNORMALE FUER DIE OPTISCHE 3D MIKROSKOPIE BEURTEILUNG
GERAETESPEZIFISCHER EIGENSCHAFTEN 35 TH. WIEDENHOEFER, A. WECKENMANN
MODULARE MODELLBILDUNG BEI DER MESSUNSICHERHEITS ERMITTLUNG IN DER
MIKRO- UND NANOMESSTECHNIK 45 SITZUNG 2: NANOMESS- UNDPOSITIONIERTECHNIK
G.JAEGER, TAKTILE UND OPTISCHE SENSORSYSTEME FUER NANOMESS- UND E. MANSKE,
NANOPOSITIONIERMASCHINEN T. HAUSOFFE, R. MASTY/O, N. DOROZHOVETS, N.
HOFMANN 55 R. RHO/MANN, F ME/I, A. KUENG TAKTILE
MIKRO-KOORDINATENMESSTECHNIK AN DEN GRENZEN 67 M. DE CAMPOS PORATH,
UNTERSUCHUNGEN ZUM GENAUIGKEITSNACHWEIS AN EINEM K. SEITZ
KOORDINATENMESSGERAET FUER MIKROMECHANISCHE BAUTEILE 77 SEITE M. A. WEBER,
J VALENTIN PRAEZISE OPTISCHE 3D-MESSUNG VON MIKRO- UND NANOSTRUKTUREN
UNTERSUCHUNG DER PRAEZISION DES MPCMESSGERAETES ILSURF 87 SITZUNG 3:
SENSOREN FUERDIE PROEZISIONSMESSTECHNIK B. BODERMANN, SENSOREN DER MIKRO-
UND NANOMESSTECHNIK H. BOSSE, C. G. FRASE, L. KOENDERS, G. WILKENING 99
5. BUEFTGENBACH, U BRAND, 5. BUETEFISCH, EH. HERBST, T KRAH, A.
PHATARALAOHA, R. TUTSCH TAKTILE SENSOREN FUER DIE MIKROMESSTECHNIK 109 P
LEHMANN GEOMETRIEERFASSUNG AN MIKROBAUTEILEN MITTELS
WEISSLICHTINTERFEROMETRIE UND KONFOKALER MIKROSENSOREN MESSPRINZIPIEN,
ANWENDUNGEN, EINSCHRAENKUNGEN 119 TH. THURNER MESSTECHNIKEN MIT
OBJEKTIVEN LASER-SPECKLES 129 E. WESTKAEMPER, W OSTEN, J REGIN, T
WIESENDANGER MULTISKALIGE MESS- UND PRUEFSTRATEGIEN IN DER MIKRO- UND
NANOMESSTECHNIK 141 SITZUNG 4: MIKRO- UNDNANOMESSTECHNIK W SCHOFT,
INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN VON LASERINTERFEROMETRISCHEN W PAESCHE/,
NANOMESSSYSTEMEN D.DONTSOV 153 TH. FRIES MULTI SENSOR
OBERFLAECHENMESSTECHNIK FUER DIE NANO UND MIKROTECHNIK 163 W RAUH MESSEN
VON MIKROSTRUKTUREN MIT MULTISENSOR KOORD INATENMESSGERAETEN 173 SEITE
SITZUNG 5: MECHANISCHE, PHYSIKALISCHE UNDCHEMISCHE EIGENSCHAFTEN UND
WECHSELWIRKUNGEN UNDDEREN CHARAKRERISIERUNG TMACHLEIDT,* K.-H. FRANKE* W
UNGER, U. ORAN, M. SENONER, M. SCHMIDT A. DUOOTTE, S. SCHRAEDER, A.
TUENNERMANN M. KOSINSKIY, Y. LIU,* S.I.-U. AHMED,* M. SCHERGE,* ).A.
SCHOEFER* A. ALBERS, J. FLEISCHER, N. BURKARDT, S. HAUSER, I. BEHRENS
METHODEN ZUR REKONSTRUKTIONDER AFM-SPITZENFORM BESTIMMUNG DER
AFM-SPITZENFORM AUS DEN MESSDATEN CHEMISCHE CHARAKTERISIERUNG VON MIKRO-
UND NANOTECHNOLOGISCHEN BAUTEILEN: VERFAHRENSENTWICKLUNG UND
REFERENZMATERIALIEN 187 197 NANO-RAUHEITSANALYSE AN FUNKTIONALEN
OBERFLAECHEN 207 TRIBOLOGYOF NANOPOSITIONING CHARACTERIZATION OF
PRECISION LINEAR BEARINGS ON NANOMETRE SCALE 215 INTEGRATION VON
FUNKTIONSPRUEFUNG UND DIMENSIONELLER MESSTECHNIK ZU EINER OPTIMIERTEN
OS-STRATEGIE FUER MIKROVERZAHNUNGEN 225
|
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| topic | Nanotechnologie (DE-588)4327470-5 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Fertigungsmesstechnik (DE-588)4121259-9 gnd |
| topic_facet | Nanotechnologie Mikrosystemtechnik Fertigungsmesstechnik Konferenzschrift Erlangen <2006 |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=015056504&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000016148 |
Inhaltsverzeichnis
THWS Schweinfurt Zentralbibliothek Lesesaal
| Signatur: |
2000 ZQ 3950 M585 |
|---|---|
| Exemplar 1 | ausleihbar Verfügbar Bestellen |