Herstellung und Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten in der Plasma-Immersions-Ionenimplantation:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker-Verl.
2006
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
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| Beschreibung: | III, 114 S. graph. Darst. |
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