CFD based assessment of CVD growth processes for novel precursor systems:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mešić, Emir 1975- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Clausthal-Zellerfeld Papierflieger 2005
Ausgabe:1. Aufl.
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Clausthal-Zellerfeld,Techn. Univ., Diss., 2005
Beschreibung:XIV, 153 S. Ill., graph. Darst. 210 mm x 150 mm
ISBN:3897208229

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