Züchtung und Dotierung von SiC-Einkristallen mit dem Modifizierten Gasphasen-Züchtungensverfahren:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Müller, Ralf (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2006
Schriftenreihe:Berichte aus der Halbleitertechnik
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2006
Beschreibung:II, 167 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3832253033

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