Konstruktion eines Drittrotationsgetriebes für den Substratdrehantrieb von Plasmabschichtungsanlagen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: König, Ludwig 1979- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Ingolstadt 2001
Schlagworte:
Beschreibung:Fachhochschule Ingolstadt, Diplomarb., 2001
Beschreibung:II, 118 Bl. Ill., graph. Darst. Anhang

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