MEMS, design and fabrication:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton, Fla. Taylor & Francis 2006
Schriftenreihe:The MEMS handbook [2]
Schlagworte:
Beschreibung:getr. Zählung Ill.
ISBN:0849391385
9780849391385

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