Liu, C. (2006). Foundations of MEMS. Pearson Prentice Hall.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Liu, Chang. Foundations of MEMS. Upper Saddle River, NJ: Pearson Prentice Hall, 2006.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Liu, Chang. Foundations of MEMS. Pearson Prentice Hall, 2006.
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