Hilleringmann, U. (2006). Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; mit 13 Tabellen (1. Aufl.). Teubner.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; Mit 13 Tabellen. 1. Aufl. Wiesbaden: Teubner, 2006.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; Mit 13 Tabellen. 1. Aufl. Teubner, 2006.
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