(2005). Mikrosystemtechnik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik. Techn. Univ.
Chicago Style (17th ed.) CitationMikrosystemtechnik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik. Chemnitz: Techn. Univ, 2005.
MLA (9th ed.) CitationMikrosystemtechnik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik. Techn. Univ, 2005.
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