Mikrosystemtechnik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik
Gespeichert in:
| Format: | Tagungsbericht Buch |
|---|---|
| Sprache: | German English |
| Veröffentlicht: |
Chemnitz
Techn. Univ.
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Beitr. teilw. dt. und teilw. engl. |
| Beschreibung: | VII, 214 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3000168893 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV020870678 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 051115s2005 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3000168893 |9 3-00-016889-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)163408166 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV020870678 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger |a eng | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-634 | ||
| 084 | |a ZN 3700 |0 (DE-625)157333: |2 rvk | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 |b Mikromechanik & Mikroelektronik |c 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005. Technische Universität Chemnitz. [Organisationskomitee: W. Dötzel ...] |
| 264 | 1 | |a Chemnitz |b Techn. Univ. |c 2005 | |
| 300 | |a VII, 214 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Beitr. teilw. dt. und teilw. engl. | ||
| 546 | |a Beitr. teilw. dt., teilw. engl. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)1071861417 |a Konferenzschrift |y 2005 |z Chemnitz |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Dötzel, Wolfram |d 1941-2023 |e Sonstige |0 (DE-588)108263193 |4 oth | |
| 711 | 2 | |a Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik |n 7 |d 2005 |c Chemnitz |j Sonstige |0 (DE-588)10120492-9 |4 oth | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014192425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-014192425 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804134596635262976 |
|---|---|
| adam_text | TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ R. I O SYSTEM ****^*HHHFIF CHEMNITZ 05
| 1 H M O Z MIKROMECHANIK & MIKROOLCKTIONIK 7. CHEMNITZER FACHTAGUNG
MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK 26./27. OKTOBER 2005 TIB/UB HANNOVER 128
011 025 89 INHALTSVERZEICHNIS SEITE EROFFNUNGSSESSION - EINGELADENER
VORTRAG DRAHTLOSE SENSORNETZWERKE - EINE HERAUSFORDERUNG AN DIE
ENTWICKLUNG DER 1 MIKROSYSTEMTECHNIK PROF. DR. BERAD JUNGHANS, SILICON
SAXONY E. V. SESSION AL - APPLIKATION (TEIL 1) LEITUNG: H.-R. TRANKLER
AL-1 MIKROMECHANISCHE THERMISCHE SENSOREN 7 ASHAUER, M.;
HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT, INSTITUT FUR MIKRO- UND INFORMATIONS-
TECHNIK, VILLINGEN-SCHWENNINGEN A1-2 GENERATOR ZUR ERZEUGUNG
ELEKTRISCHER ENERGIE MITHILFE PIEZOELEKTRISCHER 11 BIMORPHWANDLER
POBERING, S.; SCHWESINGER, N.; TECHNISCHE UNIVERSITAT MIINCHEN,
FACHGEBIET MIKROSTRUKTURIERTE MECHATRONISCHE SYSTEME A1-3 ENERGIEAUTARKE
SENSORIK - MINIATURISIERTE THERMOGENERATOREN 16 PFEIFFER, U.;
THERM-O-TECH GMBH, TECHNOLOGIE ZENTRUM TZ, ST. GEORGEN SESSION E/C -
ENTWURF/CHARAKTERISIERUNG LEITUNG: C. DITTRICH E/C-L ZUVERLASSIGKEIT VON
KOMPONENTEN DER MIKROSYSTEMTECHNIK DURCH EINBEZIEHUNG 23 DER
NANOANALYTIK UND NANOMECHANIK MICHEL, B.; WUNDERLE, B.; BOMBACH, C;
KELLER, J; FHG IZM, MICRO MATERIALS CENTER BERLIN; BERLINER NANOTEST UND
DESIGN GMBH; AMIC ANGEWANDTE MIKROMESSTECHNIK GMBH BERLIN E/C-2
BESCHLEUNIGUNG VON BILDVERARBEITUNGSALGORITHMEN DURCH DYNAMISCH
PARTIELLE 26 REKONFIGURATION PROB, U.; BERGER, B.; ORGIS, M.; HEINKEL,
U.; MULLER, D.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR SCHALTKREIS- UND
SYSTEMENTWURF E/C-3 PRESS3X: A 3-IN-L ON-CHIP INTEGRATED HARDWARE
SOLUTION FOR COMPRESSION OF DATA 32 AND LOSSLESS IMAGE/VIDEO DE LA CRUZ,
A.; HAELZIG.T.; SCHEITHAUER, F.; GEMAC MBH, CHEMNITZ E/C-4 HIGH-LEVEL
MODELLING FUR ANALOGE MODULE MIT SYSTEMC 36 ULICNA, E.; IMMS GGMBH,
ILMENAU E/C-5 ESPI FUR LIFE SCIENCES 40 INGWERSEN, J.; ARHIPOV, S.;
VOGT, T.; FOITZIK, A. H.; FHTE FACHHOCHSCHULE ESSLINGEN, IAF INSTITUT
FUR ANGEWANDTE FORSCHUNG MECHATRONIK, GOPPINGEN; FHTE FACHHOCHSCHULE
ESSLINGEN, FB FAHRZEUGTECHNIK; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK E/C-6 EXTREMZAHNRADGETRIEBE MIT
ASYMMETRISCHEM PROFIL ALS KOMPONENTE VON 44 MIKROSYSTEMEN SIMEONOV, S.;
KARTUNOV, S.; TSVETANOV, G.; TECHNISCHE UNIVERSITAT GABROVO, LEHRSTUHL
MASCHINENBAU UND FEINGERATETECHNIK SESSION A2 - APPLIKATION (TEIL 2)
LEITUNG: D. MULLER A2-1 BEISPIELE FUR BEWEGUNGSSYSTEME, DIE IM VAKUUM
ARBEITEN 49 BUDIG, P.-K.; HANISCH, H.; HEUER, H.; EAAT GMBH CHEMNITZ
A2-2 NON-CONTACT DEFLECTION MEASUREMENTS OF PIEZOELECTRIC BEAM BENDING
60 ACTUATORS WITH AN INTEGRATED INDUCTIVE SENSOR IN COMBINATION WITH A
HIGH-ACCURACY ELECTRONIC CIRCUIT BALLAS, R. G.; GREINER, F.; SCHLAAK, H.
F.; TECHNISCHE UNIVERSITAT DARMSTADT, INSTITUT FIIR ELEKTROMECHANISCHE
KONSTRUKTIONEN A2-3 IMPLEMENTATION ISSUES ON MEMS - A STUDY ON SYSTEM
IDENTIFIKATION 64 WOLFRAM, H.; SPECHT, H.; SCHMIEDEL, R.; AURICH, T.;
DOTZEL, W.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK
UND INFORMATIONSTECHNIK; GEMAC MBH CHEMNITZ A2-4 APPLIKATION EINES HIGH
THROUGHPUT-SYSTEMS ZUR EINZELZELLKULTIVIERUNG 72 VON MIKROORGANISMEN
METZE, J.; SCHON, T.; LEMKE, K.; GRODRIAN, A.; HENKEL, T.; KOHLER,
J.-M.; MARTIN, K.; ROTH, M.; INSTITUT FUR BIOPROZESS- UND
ANALYSENMESSTECHNIK E.V., FACHBEREICH BIOPROZESSTECHNIK HEILIGENSTADT;
INSTITUT FUR PHYSIKALISCHE HOCH- TECHNOLOGIE E.V. JENA; TECHNISCHE
UNIVERSITAT ILMENAU, INSTITUT FUR PHYSIK; LEIBNIZ-INSTITUT FIIR
NATURSTOFF-FORSCHUNG UND INFEKTIONSBIOLOGIE JENA A2-5 EIN
MIKROMECHANISCHER VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP EINSETZBAR 77
BEI HOHEN TEMPERATUREN TENHOLTE, D.; KURTH, S.; BILLEP, D.; GEBNER, T.;
DOTZEL, W.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK
UND INFORMATIONSTECHNIK; FHG IZM, ABT. MDE, CHEMNITZ SESSION T -
TECHNOLOGIE LEITUNG: B. MICHEL T-1 SPRAYCOATEN - EINE
SCHLIISSEL-TECHNOLOGIE ZUR MEMS PRODUKTION 83 FISCHER, K.; SUSS MICROTEC
LITHOGRAPHY, GARCHING T-2 HERSTELLUNG METALLISCHER MIKROBAUTEILE DURCH
MIKROZERSPANUNG UND THERMAL 84 SPRAY MOULDING WILDCN, J.; BERGMANN, J.
P.; LUHN, T.; TU ILMENAU, FG FERTIGUNGSTECHNIK T-3 VERFAHREN ZUM BONDEN
VON SI MIT GLAS WAFERN 88 GABRIEL, M.; CETIN, V.; WIEMER, M.; LUDEWIG,
T.; SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY, GARCHING; FHG IZM CHEMNITZ T-4 BLEIFREIES
LOTEN MIT KONVENTIONELLEN REFLOW-LOTANLAGCN 91 INGWERSEN, J.; MAYR, A.;
TOEPFER, H.; FOITZIK, A. H.; FHT ESSLINGEN, IAF GOPPINGEN; TFH WILDAU
T-5 LATEST DEVELOPMENTS IN DRIE FOR INTEGRATION OF PASSIVE COMPONENTS
AND 95 WAFER-LEVEL PACKAGING PUECH, M.; ANDRIEU, B.; POPIN, L.; LAUNAY,
N.; ARNAL, N.; GODINAT, P.; GRUFFAT, J. M.; ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY,
FRANCE T-6 TECHNOLOGISCHE GRUNDLAGENUNTERSUCHUNGEN ZUR ENTWICKLUNG
NEUARTIGER 101 SI-ANZIINDER FIIR AIRBAG- UND GURTSTRAFFERSYSTEME
BARTUCH, H.; VOLLMEKE, S.; LAUCHT, H.; KOVALEV, D.; CIS INSTITUT FUR
MIKROSENSORIK GGMBH, ERFURT; TRW AIRBAG SYSTEMS GMBH, ASCHAU AM INN; TU
MIINCHEN, PHYSIK DEPARTMENT EL6, GARCHING SESSION A3 - APPLIKATION (TEIL
3) LEITUNG: P. SCHWARZ A3-1 MIKRO-PID MIKROTECHNISCHER
PHOTOIONISATIONSDETEKTOR 105 FOITZIK, A. H.; HERRMANN, P.; TOPFER, H.;
WORATZ, M.; KAESE, W.; SCHAFER, M.; TFH WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK; ACI ANALYTICAL CONTROL INSTRUMENTS GMBH,
BERLIN-ADLERSHOF; FHTE FACHHOCHSCHULE ESSLINGEN, IAF INSTITUT FUR
ANGEWANDTE FORSCHUNG MECHATRONIK A3-2 DER THERMISCH DETEKTIERTE
TAUPUNKTSENSOR. EIN NEUES VERFAHREN ZUR 108 BESTIMMUNG VON TAUPUNKT UND
FEUCHTE KUNZE, M.; GLOSCH, H.; BILLAT, S.; ASHAUER, M.;
HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT. INSTITUT FIIR MIKRO- UND
INFORMATIONSTECHNIK, VILLINGEN-SCHWENNINGEN A3-3 ENTWICKLUNG EINES
MINIATURISIERTEN DRUCKREGLERS FIIR GASE 112 STROBELT, T.; OSTERWINTER,
H.; FOITZIK, A. H.; STUMM, F.; COLIN, R.; STORZ, M.; ASHAUER, M.;
FACHHOCHSCHULE ESSLINGEN, GOPPINGEN; FACHHOCHSCHULE WILDAU; INSTITUT FUR
ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOPPINGEN; HSG-IMIT VILLINGEN-SCHWENNINGEN A3-4
ERGEBNISSE VON DEM FORSCHUNGSPROJEKT ,,RECHNERUNTERSTIITZTES SYSTEM 116
,,MIKROSYS FUER DIE PROJEKTIERUNG DER MIKROMECHANISCHEN KOMPONENTEN UND
AUSWAHL VON DER TECHNOLOGISCHEN VORGANGE VON DER MIKROTECHNIK KARTUNOV,
S.; SIMEONOV, S.; MARKOVA, V.; LEHRSTUHL MASCHINENBAU UND
FEINGERATETECHNIK, TECHNISCHE UNIVERSITAT GABROVO A3-5
HYBRID-EMPFANGSMODUL FUR DIE OPTISCHE FREIRAUMKOMMUNIKATION 120 SCHOLZ,
S.; FALTER, B.; BRANDENBURGISCHE TECHNISCHE UNIVERSITAT COTTBUS, IHP/BTU
JOINT LAB; LEHRSTUHL MIKROELEKTRONIK A3-6 KONVERGENZ SENSORIK &
MOBILKOMMUNIKATION 126 SINN, W.; INSTITUT FUR MIKROELEKTRONIK UND
MECHATRONIK SYSTEME GGMBH, ILMENAU SESSION SFB - KOLLOQUIUM DES
SONDERFORSCHUNGSBEREICHS 379 (TEIL 1) LEITUNG: T. GEGNER SFB DER SFB 379
- UBERBLICK ZU DEN FORSCHUNGSARBEITEN GEBNER, T.; TECHNISCHE UNIVERSITAT
CHEMNITZ, SPRECHER DES SFB 379 SFB,A1 KOMPONENTENENTWURF DIENEL, M.;
SHAPORIN, A.; RICHTER, G.; KOLCHUZIN, V.; BILLEP, D.; DOTZEL, W.; 129
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK SFB,A2 SYSTEMC-AMS-MODELL EINES RUCKGEKOPPELTEN
BESCHLEUNIGUNGSSENSORS ALS 137 TEIL EINES INERTIALNAVIGATIONSSYSTEMS
MARKERT, E.; HERRMANN, G.; MULLER, D.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ,
FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK SFB,A4
MIKROMECHANISCHES GEKOPPELTES SCHWINGSYSTEM FIIR FREQUENZSELEKTIVE 143
VIBRATIONSMESSUNGEN FORKE, R.; MEHNER, J.; DOTZEL, W.; GEBNER, T.;
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN; FHG IZM, ABT. MDE
SFB,B2 CHARAKTERISIERUNGSMETHODE FUR MIKROMECHANISCHE
FEDER-MASSE-DAMPFER- 149 SYSTEME HANF, M.; SHAPORIN, A.; DOTZEL, W.;
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK SESSION SFB - KOLLOQUIUM DES
SONDERFORSCHUNGSBEREICHS 379 (TEIL 2) LEITUNG: W. DOTZEL SFB,B5
EIGENSCHAFTEN MIKROTECHNISCH GEFERTIGTER TRANSMISSIONSGITTER 155
FLASPOHLER, M.; BONITZ, J.; KAUFMANN, C; HAHN, R.; BILLEP, D.; HIIBLER,
A.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR MASCHINENBAU,
INSTITUT FUR PRINT- UND MEDIENTECHNIK; FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONS- TECHNIK, ZENTRUM FIIR MIKROTECHNOLOGIEN SFB,B6
KRAFTSENSOR-ARRAYS ZUR MESSUNG ELEKTRONISCHER OBERFLACHENEIGENSCHAFTEN
160 MULLER, F.; MULLER, A.-D.; KAPPEL, A.; KOWERKO, D.; HIETSCHOLD, M.;
GEBNER, T.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR
NATURWISSENSCHAFTEN; ANFATEC INSTRUMENTS AG, OELSNITZ; FAKULTAT FUR
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FIIR MIKROTECHNOLOGIEN
SFB.C2 VALIDIERUNG DER AIM-TECHNOLOGIE: DARSTELLUNG DER
LEISTUNGSFAHIGKEIT ANHAND 166 HERGESTELLTER SENSOR- UND AKTORSTRUKTUREN
LOHMANN, C; BERTZ, A.; REUTER, D.; KIICHLER, M.; GEBNER, T.; TECHNISCHE
UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN; FHG IZM, ABT. MDE
SFB,C4 NIEDERTEMPERATURBONDEN FUR REKONFIGURIERBARE RESONATORARRAYS 172
SEIFERT, M.; SHAPORIN, A.; HILLER, K.; FRIIHAUF, J.; POHL, R.;
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN IV POSTERBEITRAGE PI
MIKROREAKTORIK ZUR HOCHDURCHSATZ-EINZELZELLKULTIVIERUNG VON
MIKROORGANISMEN 181 METZE, J.; SCHON, T.; LEMKE, K.; GRODRIAN, A.;
HENKEL, T.; KOHLER, J. M.; MARTIN, K.; ROTH, M.; INSTITUT FIIR
BIOPROZESS- UND ANALYSENMESSTECHNIK E. V.. ABT. BIOPROZESSTECHNIK,
HEILIGENSTADT; INSTITUT FUR PHYSIKALISCHE HOCHTECHNO- LOGIE E. V. JENA;
TECHNISCHE UNIVERSITAT ILMENAU, INSTITUT FUR PHYSIK; LEIBNITZ- INSTITUT
FIIR NATURSTOFF-FORSCHUNG UND INFEKTIONSBIOLOGIE JENA P2 BESTIMMUNG
MECHANISCHER EIGENSCHAFTEN VON KOMPONENTEN DER MIKROSYSTEM- 183 TECHNIK
MIT HILFE STANDARDISIERTER UND NICHT-STANDARDISIERTER TESTMETHODEN
FAUST, W.; BOMBACH, C; WALTER, H; MICHEL, B.; FHG IZM, BETRIEBSSTATTE
CHEMNITZ; BERLINER NANOTEST UND DESIGN GMBH; AMIC GMBH, BERLIN P3
GEOMETRICALLY PARAMETERIZED FINITE ELEMENT MODEL OF THE SILICON STRAIN
GAUGE 190 KOLCHUZHIN, V.; MEHNER, J.; DOTZEL, W.; TECHNISCHE UNIVERSITAT
CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK; FHG IZM,
ABT. MDE, CHEMNITZ P4 UNTERSUCHUNGEN ZUR RISSKINETIK IN SPRODEN
WERKSTOFFEN 196 DIETZ, M.; GIELAND, U.; GRIMM, J.; SAUPE, J.;
WESTSACHSISCHE HOCHSCHULE ZWICKAU P5 ENTWICKLUNG EINES UNIVERSELLEN
BEWEGUNGSANALYSESYSTEMS AUF BASIS INERTIALER 199 MESSWERTE MARKERT, E.;
DIENEL, M.; ZEUN, H.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK P6 NON-TUNABLE
WAVELENGTH-SELECTING ARRAY FOR MICRO-SPECTROMETERS 201 MAYER, U.;
SUCHANECK, A.; SUCHANECK, G.; GERLACH, G.; TU DRESDEN, INSTITUT FIIR
FESTKORPERELEKTRONIK P7 MEHREBENENVERBINDUNGSLEITUNGEN AUF DER GRUNDLAGE
DES ANODIERTEN 206 ALUMINIUMS FUR DIE MIKROSYSTEMTECHNIKERZEUGNISSE
SOKOL, V.; SCHULGOV, V.; BELORUSSISCHE STAATLICHE UNIVERSITAT FIIR
INFORMATIK UND RADIOELEKTRONIK, LEHRSTUHL MIKRO- UND NANOELEKTRONIK,
MINSK P8 SELECTIVE LASER PROCESSING OF FLEXIBLE CUINSE2-SOLAR
CELLS-LAYER USING ULTRA 21 1 SHORT PULSE DURATIONS AND DIFFERENT
WAVELENGTHS - THE RESULTS AS WELL AS A MACHINE CONCEPT HANEL, J.;
PICHLER, L.; ALBERT, S.; PETSCH, T.; 3D-MICROMAC AG, CHEMNITZ V
|
| adam_txt |
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ R. I O SYSTEM ****^*HHHFIF CHEMNITZ '05
| 1 H M O Z MIKROMECHANIK & MIKROOLCKTIONIK 7. CHEMNITZER FACHTAGUNG
MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK 26./27. OKTOBER 2005 TIB/UB HANNOVER 128
011 025 89 INHALTSVERZEICHNIS SEITE EROFFNUNGSSESSION - EINGELADENER
VORTRAG DRAHTLOSE SENSORNETZWERKE - EINE HERAUSFORDERUNG AN DIE
ENTWICKLUNG DER 1 MIKROSYSTEMTECHNIK PROF. DR. BERAD JUNGHANS, SILICON
SAXONY E. V. SESSION AL - APPLIKATION (TEIL 1) LEITUNG: H.-R. TRANKLER
AL-1 MIKROMECHANISCHE THERMISCHE SENSOREN 7 ASHAUER, M.;
HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT, INSTITUT FUR MIKRO- UND INFORMATIONS-
TECHNIK, VILLINGEN-SCHWENNINGEN A1-2 GENERATOR ZUR ERZEUGUNG
ELEKTRISCHER ENERGIE MITHILFE PIEZOELEKTRISCHER 11 BIMORPHWANDLER
POBERING, S.; SCHWESINGER, N.; TECHNISCHE UNIVERSITAT MIINCHEN,
FACHGEBIET MIKROSTRUKTURIERTE MECHATRONISCHE SYSTEME A1-3 ENERGIEAUTARKE
SENSORIK - MINIATURISIERTE THERMOGENERATOREN 16 PFEIFFER, U.;
THERM-O-TECH GMBH, TECHNOLOGIE ZENTRUM TZ, ST. GEORGEN SESSION E/C -
ENTWURF/CHARAKTERISIERUNG LEITUNG: C. DITTRICH E/C-L ZUVERLASSIGKEIT VON
KOMPONENTEN DER MIKROSYSTEMTECHNIK DURCH EINBEZIEHUNG 23 DER
NANOANALYTIK UND NANOMECHANIK MICHEL, B.; WUNDERLE, B.; BOMBACH, C;
KELLER, J; FHG IZM, MICRO MATERIALS CENTER BERLIN; BERLINER NANOTEST UND
DESIGN GMBH; AMIC ANGEWANDTE MIKROMESSTECHNIK GMBH BERLIN E/C-2
BESCHLEUNIGUNG VON BILDVERARBEITUNGSALGORITHMEN DURCH DYNAMISCH
PARTIELLE 26 REKONFIGURATION PROB, U.; BERGER, B.; ORGIS, M.; HEINKEL,
U.; MULLER, D.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, PROFESSUR SCHALTKREIS- UND
SYSTEMENTWURF E/C-3 PRESS3X: A 3-IN-L ON-CHIP INTEGRATED HARDWARE
SOLUTION FOR COMPRESSION OF DATA 32 AND LOSSLESS IMAGE/VIDEO DE LA CRUZ,
A.; HAELZIG.T.; SCHEITHAUER, F.; GEMAC MBH, CHEMNITZ E/C-4 HIGH-LEVEL
MODELLING FUR ANALOGE MODULE MIT SYSTEMC 36 ULICNA, E.; IMMS GGMBH,
ILMENAU E/C-5 ESPI FUR LIFE SCIENCES 40 INGWERSEN, J.; ARHIPOV, S.;
VOGT, T.; FOITZIK, A. H.; FHTE FACHHOCHSCHULE ESSLINGEN, IAF INSTITUT
FUR ANGEWANDTE FORSCHUNG MECHATRONIK, GOPPINGEN; FHTE FACHHOCHSCHULE
ESSLINGEN, FB FAHRZEUGTECHNIK; TFH TECHNISCHE FACHHOCHSCHULE WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK E/C-6 EXTREMZAHNRADGETRIEBE MIT
ASYMMETRISCHEM PROFIL ALS KOMPONENTE VON 44 MIKROSYSTEMEN SIMEONOV, S.;
KARTUNOV, S.; TSVETANOV, G.; TECHNISCHE UNIVERSITAT GABROVO, LEHRSTUHL
MASCHINENBAU UND FEINGERATETECHNIK SESSION A2 - APPLIKATION (TEIL 2)
LEITUNG: D. MULLER A2-1 BEISPIELE FUR BEWEGUNGSSYSTEME, DIE IM VAKUUM
ARBEITEN 49 BUDIG, P.-K.; HANISCH, H.; HEUER, H.; EAAT GMBH CHEMNITZ
A2-2 NON-CONTACT DEFLECTION MEASUREMENTS OF PIEZOELECTRIC BEAM BENDING
60 ACTUATORS WITH AN INTEGRATED INDUCTIVE SENSOR IN COMBINATION WITH A
HIGH-ACCURACY ELECTRONIC CIRCUIT BALLAS, R. G.; GREINER, F.; SCHLAAK, H.
F.; TECHNISCHE UNIVERSITAT DARMSTADT, INSTITUT FIIR ELEKTROMECHANISCHE
KONSTRUKTIONEN A2-3 IMPLEMENTATION ISSUES ON MEMS - A STUDY ON SYSTEM
IDENTIFIKATION 64 WOLFRAM, H.; SPECHT, H.; SCHMIEDEL, R.; AURICH, T.;
DOTZEL, W.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK
UND INFORMATIONSTECHNIK; GEMAC MBH CHEMNITZ A2-4 APPLIKATION EINES HIGH
THROUGHPUT-SYSTEMS ZUR EINZELZELLKULTIVIERUNG 72 VON MIKROORGANISMEN
METZE, J.; SCHON, T.; LEMKE, K.; GRODRIAN, A.; HENKEL, T.; KOHLER,
J.-M.; MARTIN, K.; ROTH, M.; INSTITUT FUR BIOPROZESS- UND
ANALYSENMESSTECHNIK E.V., FACHBEREICH BIOPROZESSTECHNIK HEILIGENSTADT;
INSTITUT FUR PHYSIKALISCHE HOCH- TECHNOLOGIE E.V. JENA; TECHNISCHE
UNIVERSITAT ILMENAU, INSTITUT FUR PHYSIK; LEIBNIZ-INSTITUT FIIR
NATURSTOFF-FORSCHUNG UND INFEKTIONSBIOLOGIE JENA A2-5 EIN
MIKROMECHANISCHER VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP EINSETZBAR 77
BEI HOHEN TEMPERATUREN TENHOLTE, D.; KURTH, S.; BILLEP, D.; GEBNER, T.;
DOTZEL, W.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK
UND INFORMATIONSTECHNIK; FHG IZM, ABT. MDE, CHEMNITZ SESSION T -
TECHNOLOGIE LEITUNG: B. MICHEL T-1 SPRAYCOATEN - EINE
SCHLIISSEL-TECHNOLOGIE ZUR MEMS PRODUKTION 83 FISCHER, K.; SUSS MICROTEC
LITHOGRAPHY, GARCHING T-2 HERSTELLUNG METALLISCHER MIKROBAUTEILE DURCH
MIKROZERSPANUNG UND THERMAL 84 SPRAY MOULDING WILDCN, J.; BERGMANN, J.
P.; LUHN, T.; TU ILMENAU, FG FERTIGUNGSTECHNIK T-3 VERFAHREN ZUM BONDEN
VON SI MIT GLAS WAFERN 88 GABRIEL, M.; CETIN, V.; WIEMER, M.; LUDEWIG,
T.; SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY, GARCHING; FHG IZM CHEMNITZ T-4 BLEIFREIES
LOTEN MIT KONVENTIONELLEN REFLOW-LOTANLAGCN 91 INGWERSEN, J.; MAYR, A.;
TOEPFER, H.; FOITZIK, A. H.; FHT ESSLINGEN, IAF GOPPINGEN; TFH WILDAU
T-5 LATEST DEVELOPMENTS IN DRIE FOR INTEGRATION OF PASSIVE COMPONENTS
AND 95 WAFER-LEVEL PACKAGING PUECH, M.; ANDRIEU, B.; POPIN, L.; LAUNAY,
N.; ARNAL, N.; GODINAT, P.; GRUFFAT, J. M.; ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY,
FRANCE T-6 TECHNOLOGISCHE GRUNDLAGENUNTERSUCHUNGEN ZUR ENTWICKLUNG
NEUARTIGER 101 SI-ANZIINDER FIIR AIRBAG- UND GURTSTRAFFERSYSTEME
BARTUCH, H.; VOLLMEKE, S.; LAUCHT, H.; KOVALEV, D.; CIS INSTITUT FUR
MIKROSENSORIK GGMBH, ERFURT; TRW AIRBAG SYSTEMS GMBH, ASCHAU AM INN; TU
MIINCHEN, PHYSIK DEPARTMENT EL6, GARCHING SESSION A3 - APPLIKATION (TEIL
3) LEITUNG: P. SCHWARZ A3-1 MIKRO-PID MIKROTECHNISCHER
PHOTOIONISATIONSDETEKTOR 105 FOITZIK, A. H.; HERRMANN, P.; TOPFER, H.;
WORATZ, M.; KAESE, W.; SCHAFER, M.; TFH WILDAU,
BIOSYSTEMTECHNIK/BIOINFORMATIK; ACI ANALYTICAL CONTROL INSTRUMENTS GMBH,
BERLIN-ADLERSHOF; FHTE FACHHOCHSCHULE ESSLINGEN, IAF INSTITUT FUR
ANGEWANDTE FORSCHUNG MECHATRONIK A3-2 DER THERMISCH DETEKTIERTE
TAUPUNKTSENSOR. EIN NEUES VERFAHREN ZUR 108 BESTIMMUNG VON TAUPUNKT UND
FEUCHTE KUNZE, M.; GLOSCH, H.; BILLAT, S.; ASHAUER, M.;
HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT. INSTITUT FIIR MIKRO- UND
INFORMATIONSTECHNIK, VILLINGEN-SCHWENNINGEN A3-3 ENTWICKLUNG EINES
MINIATURISIERTEN DRUCKREGLERS FIIR GASE 112 STROBELT, T.; OSTERWINTER,
H.; FOITZIK, A. H.; STUMM, F.; COLIN, R.; STORZ, M.; ASHAUER, M.;
FACHHOCHSCHULE ESSLINGEN, GOPPINGEN; FACHHOCHSCHULE WILDAU; INSTITUT FUR
ANGEWANDTE FORSCHUNG, GOPPINGEN; HSG-IMIT VILLINGEN-SCHWENNINGEN A3-4
ERGEBNISSE VON DEM FORSCHUNGSPROJEKT ,,RECHNERUNTERSTIITZTES SYSTEM 116
,,MIKROSYS" FUER DIE PROJEKTIERUNG DER MIKROMECHANISCHEN KOMPONENTEN UND
AUSWAHL VON DER TECHNOLOGISCHEN VORGANGE VON DER MIKROTECHNIK" KARTUNOV,
S.; SIMEONOV, S.; MARKOVA, V.; LEHRSTUHL MASCHINENBAU UND
FEINGERATETECHNIK, TECHNISCHE UNIVERSITAT GABROVO A3-5
HYBRID-EMPFANGSMODUL FUR DIE OPTISCHE FREIRAUMKOMMUNIKATION 120 SCHOLZ,
S.; FALTER, B.; BRANDENBURGISCHE TECHNISCHE UNIVERSITAT COTTBUS, IHP/BTU
JOINT LAB; LEHRSTUHL MIKROELEKTRONIK A3-6 KONVERGENZ SENSORIK &
MOBILKOMMUNIKATION 126 SINN, W.; INSTITUT FUR MIKROELEKTRONIK UND
MECHATRONIK SYSTEME GGMBH, ILMENAU SESSION SFB - KOLLOQUIUM DES
SONDERFORSCHUNGSBEREICHS 379 (TEIL 1) LEITUNG: T. GEGNER SFB DER SFB 379
- UBERBLICK ZU DEN FORSCHUNGSARBEITEN GEBNER, T.; TECHNISCHE UNIVERSITAT
CHEMNITZ, SPRECHER DES SFB 379 SFB,A1 KOMPONENTENENTWURF DIENEL, M.;
SHAPORIN, A.; RICHTER, G.; KOLCHUZIN, V.; BILLEP, D.; DOTZEL, W.; 129
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK SFB,A2 SYSTEMC-AMS-MODELL EINES RUCKGEKOPPELTEN
BESCHLEUNIGUNGSSENSORS ALS 137 TEIL EINES INERTIALNAVIGATIONSSYSTEMS
MARKERT, E.; HERRMANN, G.; MULLER, D.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ,
FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK SFB,A4
MIKROMECHANISCHES GEKOPPELTES SCHWINGSYSTEM FIIR FREQUENZSELEKTIVE 143
VIBRATIONSMESSUNGEN FORKE, R.; MEHNER, J.; DOTZEL, W.; GEBNER, T.;
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN; FHG IZM, ABT. MDE
SFB,B2 CHARAKTERISIERUNGSMETHODE FUR MIKROMECHANISCHE
FEDER-MASSE-DAMPFER- 149 SYSTEME HANF, M.; SHAPORIN, A.; DOTZEL, W.;
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK SESSION SFB - KOLLOQUIUM DES
SONDERFORSCHUNGSBEREICHS 379 (TEIL 2) LEITUNG: W. DOTZEL SFB,B5
EIGENSCHAFTEN MIKROTECHNISCH GEFERTIGTER TRANSMISSIONSGITTER 155
FLASPOHLER, M.; BONITZ, J.; KAUFMANN, C; HAHN, R.; BILLEP, D.; HIIBLER,
A.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR MASCHINENBAU,
INSTITUT FUR PRINT- UND MEDIENTECHNIK; FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONS- TECHNIK, ZENTRUM FIIR MIKROTECHNOLOGIEN SFB,B6
KRAFTSENSOR-ARRAYS ZUR MESSUNG ELEKTRONISCHER OBERFLACHENEIGENSCHAFTEN
160 MULLER, F.; MULLER, A.-D.; KAPPEL, A.; KOWERKO, D.; HIETSCHOLD, M.;
GEBNER, T.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR
NATURWISSENSCHAFTEN; ANFATEC INSTRUMENTS AG, OELSNITZ; FAKULTAT FUR
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FIIR MIKROTECHNOLOGIEN
SFB.C2 VALIDIERUNG DER AIM-TECHNOLOGIE: DARSTELLUNG DER
LEISTUNGSFAHIGKEIT ANHAND 166 HERGESTELLTER SENSOR- UND AKTORSTRUKTUREN
LOHMANN, C; BERTZ, A.; REUTER, D.; KIICHLER, M.; GEBNER, T.; TECHNISCHE
UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN; FHG IZM, ABT. MDE
SFB,C4 NIEDERTEMPERATURBONDEN FUR REKONFIGURIERBARE RESONATORARRAYS 172
SEIFERT, M.; SHAPORIN, A.; HILLER, K.; FRIIHAUF, J.; POHL, R.;
TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN IV POSTERBEITRAGE PI
MIKROREAKTORIK ZUR HOCHDURCHSATZ-EINZELZELLKULTIVIERUNG VON
MIKROORGANISMEN 181 METZE, J.; SCHON, T.; LEMKE, K.; GRODRIAN, A.;
HENKEL, T.; KOHLER, J. M.; MARTIN, K.; ROTH, M.; INSTITUT FIIR
BIOPROZESS- UND ANALYSENMESSTECHNIK E. V. ABT. BIOPROZESSTECHNIK,
HEILIGENSTADT; INSTITUT FUR PHYSIKALISCHE HOCHTECHNO- LOGIE E. V. JENA;
TECHNISCHE UNIVERSITAT ILMENAU, INSTITUT FUR PHYSIK; LEIBNITZ- INSTITUT
FIIR NATURSTOFF-FORSCHUNG UND INFEKTIONSBIOLOGIE JENA P2 BESTIMMUNG
MECHANISCHER EIGENSCHAFTEN VON KOMPONENTEN DER MIKROSYSTEM- 183 TECHNIK
MIT HILFE STANDARDISIERTER UND NICHT-STANDARDISIERTER TESTMETHODEN
FAUST, W.; BOMBACH, C; WALTER, H; MICHEL, B.; FHG IZM, BETRIEBSSTATTE
CHEMNITZ; BERLINER NANOTEST UND DESIGN GMBH; AMIC GMBH, BERLIN P3
GEOMETRICALLY PARAMETERIZED FINITE ELEMENT MODEL OF THE SILICON STRAIN
GAUGE 190 KOLCHUZHIN, V.; MEHNER, J.; DOTZEL, W.; TECHNISCHE UNIVERSITAT
CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK; FHG IZM,
ABT. MDE, CHEMNITZ P4 UNTERSUCHUNGEN ZUR RISSKINETIK IN SPRODEN
WERKSTOFFEN 196 DIETZ, M.; GIELAND, U.; GRIMM, J.; SAUPE, J.;
WESTSACHSISCHE HOCHSCHULE ZWICKAU P5 ENTWICKLUNG EINES UNIVERSELLEN
BEWEGUNGSANALYSESYSTEMS AUF BASIS INERTIALER 199 MESSWERTE MARKERT, E.;
DIENEL, M.; ZEUN, H.; TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ, FAKULTAT FUR
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK P6 NON-TUNABLE
WAVELENGTH-SELECTING ARRAY FOR MICRO-SPECTROMETERS 201 MAYER, U.;
SUCHANECK, A.; SUCHANECK, G.; GERLACH, G.; TU DRESDEN, INSTITUT FIIR
FESTKORPERELEKTRONIK P7 MEHREBENENVERBINDUNGSLEITUNGEN AUF DER GRUNDLAGE
DES ANODIERTEN 206 ALUMINIUMS FUR DIE MIKROSYSTEMTECHNIKERZEUGNISSE
SOKOL, V.; SCHULGOV, V.; BELORUSSISCHE STAATLICHE UNIVERSITAT FIIR
INFORMATIK UND RADIOELEKTRONIK, LEHRSTUHL MIKRO- UND NANOELEKTRONIK,
MINSK P8 SELECTIVE LASER PROCESSING OF FLEXIBLE CUINSE2-SOLAR
CELLS-LAYER USING ULTRA 21 1 SHORT PULSE DURATIONS AND DIFFERENT
WAVELENGTHS - THE RESULTS AS WELL AS A MACHINE CONCEPT HANEL, J.;
PICHLER, L.; ALBERT, S.; PETSCH, T.; 3D-MICROMAC AG, CHEMNITZ V |
| any_adam_object | 1 |
| any_adam_object_boolean | 1 |
| author_GND | (DE-588)108263193 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV020870678 |
| classification_rvk | ZN 3700 |
| ctrlnum | (OCoLC)163408166 (DE-599)BVBBV020870678 |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| discipline_str_mv | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Conference Proceeding Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01785nam a2200385 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV020870678</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">051115s2005 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3000168893</subfield><subfield code="9">3-00-016889-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)163408166</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV020870678</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield><subfield code="a">eng</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3700</subfield><subfield code="0">(DE-625)157333:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik Chemnitz '05</subfield><subfield code="b">Mikromechanik & Mikroelektronik</subfield><subfield code="c">7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005. Technische Universität Chemnitz. [Organisationskomitee: W. Dötzel ...]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Chemnitz</subfield><subfield code="b">Techn. Univ.</subfield><subfield code="c">2005</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VII, 214 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Beitr. teilw. dt. und teilw. engl.</subfield></datafield><datafield tag="546" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Beitr. teilw. dt., teilw. engl.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="y">2005</subfield><subfield code="z">Chemnitz</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dötzel, Wolfram</subfield><subfield code="d">1941-2023</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)108263193</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="711" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik</subfield><subfield code="n">7</subfield><subfield code="d">2005</subfield><subfield code="c">Chemnitz</subfield><subfield code="j">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)10120492-9</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014192425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-014192425</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 2005 Chemnitz gnd-content |
| genre_facet | Konferenzschrift 2005 Chemnitz |
| id | DE-604.BV020870678 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T13:25:59Z |
| indexdate | 2024-07-09T20:27:08Z |
| institution | BVB |
| institution_GND | (DE-588)10120492-9 |
| isbn | 3000168893 |
| language | German English |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-014192425 |
| oclc_num | 163408166 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-634 |
| owner_facet | DE-12 DE-634 |
| physical | VII, 214 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2005 |
| publishDateSearch | 2005 |
| publishDateSort | 2005 |
| publisher | Techn. Univ. |
| record_format | marc |
| spelling | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005. Technische Universität Chemnitz. [Organisationskomitee: W. Dötzel ...] Chemnitz Techn. Univ. 2005 VII, 214 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Beitr. teilw. dt. und teilw. engl. Beitr. teilw. dt., teilw. engl. Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 2005 Chemnitz gnd-content Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s DE-604 Dötzel, Wolfram 1941-2023 Sonstige (DE-588)108263193 oth Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 7 2005 Chemnitz Sonstige (DE-588)10120492-9 oth GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014192425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4039207-7 (DE-588)4221617-5 (DE-588)1071861417 |
| title | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik |
| title_auth | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik |
| title_exact_search | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik |
| title_exact_search_txtP | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik |
| title_full | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005. Technische Universität Chemnitz. [Organisationskomitee: W. Dötzel ...] |
| title_fullStr | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005. Technische Universität Chemnitz. [Organisationskomitee: W. Dötzel ...] |
| title_full_unstemmed | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005. Technische Universität Chemnitz. [Organisationskomitee: W. Dötzel ...] |
| title_short | Mikrosystemtechnik Chemnitz '05 |
| title_sort | mikrosystemtechnik chemnitz 05 mikromechanik mikroelektronik |
| title_sub | Mikromechanik & Mikroelektronik |
| topic | Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| topic_facet | Mikroelektronik Mikrosystemtechnik Konferenzschrift 2005 Chemnitz |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014192425&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT dotzelwolfram mikrosystemtechnikchemnitz05mikromechanikmikroelektronik AT chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronikchemnitz mikrosystemtechnikchemnitz05mikromechanikmikroelektronik |