ESD-Schutz: Normen, Konzepte und Messtechnik in der Praxis ; mit 55 Tabellen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Renningen
expert-Verl.
2006
|
| Schriftenreihe: | Kontakt & Studium
675 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 264 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3816925111 |
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MARC
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| adam_text | ESD-SCHUTZ NORMEN, KONZEPTE UND MESSTECHNIK IN DER PRAXIS DIPL.-ING.
HARTMUT BERNDT MIT 188 BILDERN UND 55 TABELLEN KONTAKT & STUDIUM BAND
675 HERAUSGEBER: PROF. DR.-ING. DR.H.C. WILFRIED J. BARTZ DIPL.-ING.
ELMAR WIPPLER EXPERTLQIL VERTAG^ INHALT 1. EINLEITUNG 7 1.1. ENTSTEHUNG
ELEKTROSTATISCHER LADUNGEN UND WIRKUNGEN AUF ELEKTROSTATISCHE
BAUELEMENTE UND BAUGRUPPEN 9 1.2. KLASSISCHE ENTSTEHUNGSMECHANISMEN 12
1.2.1. TRIBOELEKTRIZITAET - REIBUNGSELEKTRIZITAET 12 1.2.2.
LADUNGSENTSTEHUNG DURCH INFLUENZ - EINFLUSS VON EINEM ELEKTRISCHEN FELD
14 1.2.3. BERECHNUNG DER ELEKTROSTATISCHEN AUFLADUNG 14 1.2.4.
MECHANISMEN, DIE DIE ELEKTROSTATISCHE AUFLADUNG BEEINFLUSSEN 19 1.2.4.1.
MATERIALEIGENSCHAFTEN 19 1.2.4.2. REIBUNGSELEKTRIZITAET UND
KONTAKTSPANNUNG 20 1.3. ALLGEMEINE ENTLADEMECHANISMEN 22 1.4.
FEHLERMODELLE 24 1.4.1. HUMAN BODY MODEL (HBM) - KOERPERENTLADUNGSMODELL
24 1.4.2. MACHINE MODEL (MM) - MASCHINENMODELL 27 1.4.3. CHARGED DEVICE
MODEL (CDM) - MODELL VOM GELADENEN OBJEKT 29 1.4.4. FIELD INDUCED
MODEL (FIM) - FELDBEZOGENE ENTSTEHUNG UND ENTLADUNG VON
ELEKTROSTATISCHEN LADUNGEN 34 1.5. ALLGEMEINE FEHLERMODELLE VON
ELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN 34 1.5.1. THERMISCHER DURCHBRUCH 35 1.5.2.
DIELEKTRISCHER DURCHBRUCH 36 1.5.3. AUFSCHMELZEN DER METALLISIERUNG 37
1.5.4. UNTERSCHIEDE BEI DEN VERSCHIEDENEN BEUELEMENTETECHNOLOGIEN 37
1.6. WIRKUNGEN VON ESD AUF MOS - STRUKTUREN 38 1.6.1. AUFBAU UND
WIRKUNGSWEISE EINES MOS- TRANSISTORS 38 1.6.2. ENTLADUNG AN EINEM MOS-
TRANSISTOR 39 1.6.3. LEISTUNGS - MOS-TRANSISTOREN 40 1.6.4. MEHRFACHE
ESD-FEHLER - UEBERLAGERUNG VON FEHLERN - LATENTE FEHLER UND DEGRADATION
41 1.6.5. WIRKUNGEN VON ESD AUF BIPOLARE BAUELEMENTE 43 1.6.5.1. DAS
WUNSCH-BEIL MODELL ZUR BESTIMMUNG VON FEHLERPEGELN 44 1.6.5.2.
BERECHNUNG DER ESD SPANNUNGSSCHWELLE VON PN-UEBERGAENGEN 45 2. ESD NORMEN
(DIN EN 61340-5-1 UND DIN EN 61340-5-2, ANSI ESD S20.20) 49 2.1.
UEBERSICHT UEBER DIE ENTWICKLUNG DER NORMENFAMILIE IEC 61340 49 2.2.
GRUNDSPEZIFIKATION - ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN FUER DEN SCHUTZ
ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE UND BAUGRUPPEN VOR ELEKTROSTATISCHEN
ENTLADUNGEN 53 2.3. DEFINITIONEN 54 2.3.1. ALLGEMEINE DEFINITIONEN 54
2.3.2. WIDERSTANDSDEFINITIONEN 56 2.3.3. MATERIALEIGENSCHAFTEN 58 2.4.
DIE NORMEN DIN EN 61340-5-1 ED. 1 UND DIN EN 61340-5-2 ED. 1 59 2.5.
VERGLEICH DIN EN 61340-5-1 UND ANSI/ESD S20.20 60 2.6. NEUE ESD - NORM
DIN EN 61340-5-1 ED. 2 61 2.7. KENNZEICHNUNG VON ESDS UND ESD
ARBEITSPLAETZEN BZW. - BEREICHEN 63 2.8. BESTANDTEILE EINER ESD
SCHUTZZONE (EPA) 65 3. ESD CONTROL PLAN 67 3.1. *ESD CONTROL PLAN -
EINFUEHRUNG WARUM? 67 3.2. ESD KONTROLLMASSNAHMEN 67 3.2.1. INTERNE
SCHUTZSCHALTUNGEN DES HALBLEITERHERSTELLERS AUF EINEM CHIP 68 3.2.1.1.
WIDERSTANDSNETZWERK 68 3.2.1.2. DIODENKOMBINATION 69 3.2.1.3.
WIDERSTANDS-DIODEN-KOMBINATION 69 3.2.1.4. FELDPLATTENELEKTRODE 70
3.2.1.5. PUNCH-THROUGH - TRANSISTOR MIT DUENNEM GATEOXID 71 3.2.1.6.
PUNCH-THROUGH - TRANSISTOR MIT DICKEM GATEOXID 72 3.2.1.7. PRAKTISCHE
SCHUTZSCHALTUNGSANORDNUNGEN 72 3.2.2. TECHNOLOGISCHE MALINAHMEN DES
HALBLEITERHERSTELLERS BEI DER HERSTELLUNG 74 3.3. *ESD CONTROL PLAN - 5
STUFEN PLAN 75 3.3.1.1. STUFE - ANALYSE 76 3.3.2. 2. STUFE - AUFSTELLUNG
DES ESD KONTROLLPROGRAMMS 76 3.3.3. 3. STUFE - SCHULUNG DER MITARBEITER
77 3.3.4.4. STUFE - EINFUEHRUNG DER ESD KONTROLLMASSNAHMEN 77 3.3.5. 5.
STUFE - UEBERPRUEFUNG DER ESD MASSNAHMEN UND INBETRIEBNAHME 77 3.4.
ZUSAMMENFASSUNG 78 3.5. ANFORDERUNGEN AN DIE EINZELNEN AUSRUESTUNGEN UND
STUFEN 78 3.5.1. ANFORDERUNGEN AN DIE PERSON 78 3.5.2. ANFORDERUNGEN AN
DEN ESD ARBEITSPLATZ 79 3.5.3. ANFORDERUNGEN AN DEN ESD FUSSBODEN 80
3.5.4. ANFORDERUNGEN AN DIE EPA 81 3.5.5. ANFORDERUNGEN AN MASCHINEN UND
AUSRUESTUNGEN 82 3.5.6. ANFORDERUNGEN AN VERPACKUNGSMATERIALIEN 83 3.5.7.
TESTMETHODEN FUER DIE MASSNAHMEN DES ESD CONTROL SYSTEMS 83 4.
ANFORDERUNGEN AN ESD CONTROL MASSNAHMEN UND AUSFUEHRUNGEN 87 4.1.
ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN 89 4.2. GESTALTUNG DER ARBEITSPLAETZE,
ARBEITSRAEUME 91 4.2.1. GRUNDSAETZLICHE AUSRUESTUNGEN 94 4.2.1.1. ESD
ARBEITSPLATZAUSRUESTUNG 94 4.2.1.2. ESD ARBEITSBEREICH 94 4.2.2.
ANFORDERUNGEN AN DIE KENNZEICHNUNG 94 4.2.3. ANFORDERUNGEN AN PCB,
BAUGRUPPEN 95 4.2.4. EPA, EINZEL - KOMPLETT EPA, REINRAUMBEREICHE,
HOCHSPANNUNGSPRUEFPLAETZE, SERVICE -ARBEITSPLAETZE 96 4.3. ANFORDERUNGEN AN
DIE ESD KONTROLLMASSNAHMEN EINER EPA 97 4.3.1. ARBEITSPLATZOBERFLAECHE,
WAGEN 97 4.3.2. FUSSBODEN 99 4.3.2.1. AUSFUEHRUNGEN 101 4.3.2.2.
ABLEITFAEHIGER FUSSBODENBELAG 101 4.3.2.3. ABLEITFAEHIGES
BESCHICHTUNGSSYSTEM AUS EPOXIDHARZ (DICKSCHICHT) 103 4.3.2.4.
ABLEITFAEHIGE SYSTEME AUF DER BASIS VON LEITFAEHIGEN EPOXIDHARZ - ODER PU
- LACKEN (DUENNSCHICHT) 105 4.3.2.5. ANDERE FUSSBODENSYSTEME UND
VERSIEGELUNGEN VON BODENBELAEGEN UND BESCHICHTUNGEN 105 4.3.3.
PERSONENAUSRUESTUNGEN 106 4.3.3.1. BEKLEIDUNG, HANDSCHUHE, ARBEITSKITTEL
106 4.3.3.2. HANDGELENKBAENDER 111 4.3.4. TISCHE, STUEHLE, MOEBEL, WAENDE
112 4.3.5. ERDUNGSMASSNAHMEN 114 4.3.5.2. ERDUNGSANSCHLUESSE 114 4.3.5.1.
ERDUNG DER ARBEITSOBERFLAECHE 114 4.3.5.3. EPA ERDUNGSKABEL 115 4.3.5.4.
EPA ERDUNGSANSCHLUSSPUNKTE (EBP) 115 4.3.5.5. PERSONENSCHUTZ IN EINER
EPA 116 4.3.5.6. ABLEITWIDERSTAENDE ZUR STROMBEGRENZUNG,
ABLEITWIDERSTAENDE 116 4.3.6. NICHTSTATIONAERE UND SERVICE - ARBEITSPLAETZE
116 4.3.7. ANFORDERUNGEN AN MASCHINEN UND AUSRUESTUNGEN,
TRANSPORTEINRICHTUNGEN, WERKZEUGE , 119 4.3.7.1. WERKZEUGE 119 4.3.7.2.
MASCHINEN UND AUSRUESTUNGEN, AUTOMATISCHE TRANSPORTEINRICHTUNGEN 120
4.3.7.3. LOETKOLBEN, LOETANLAGEN 121 4.3.8. ELEKTROSTATISCHE FELDER IN
EINER EPA 122 4.3.9. UMGEBUNGSBEDINGUNGEN, LUFTFEUCHTIGKEIT UND
TEMPERATUR 122 4.4. ANFORDERUNGEN AN ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 123
4.4.1. NORMGERECHTE ANFORDERUNGEN 123 4.4.2. PRAKTISCHE AUSFUEHRUNGEN 124
4.4.2.1. LEITFAEHIGE UND (ANTISTATISCHE) VERPACKUNGEN 124 4.4.2.2.
EIGENSCHAFTEN UND ANFORDERUNGEN AN FOLIE 126 4.4.3. LAGERZEIT VON
VERPACKUNGEN 131 4.4.4. KENNZEICHNUNG VON ESD VERPACKUNGEN 132 4.4.5.
ANFORDERUNGEN AN VERPACKUNGEN NACH DER ZUKUENFTIGEN NORM ANSI/ESD S541-
2003 134 4.4.5.1. ANFORDERUNGEN AN VERPACKUNGEN NACH ANSIIESD S541-2003
135 4.4.5.2. KLASSIFIKATION VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN NACH ANSIIESD
S541-2003136 4.5. VERANTWORTUNG IM ESD - BEREICH - AUFGABEN EINES ESD
KOORDINATORS 139 4.5.1. BETRIEBSLEITUNG, MANAGEMENT 139 4.5.2.
VERANTWORTUNG DER MITARBEITER 139 4.5.3. ESD BEAUFTRAGTER, ESD
KOORDINATOR, ESD MANAGER 139 4.6. ESD SCHULUNGEN 140 4.7. OBERPRUEFUNG
DER ESD KONTROLLMASSNAHMEN 141 4.8. IONISATION 144 4.8.1. INDUKTION 145
4.8.2. IONISATION DURCH RADIOAKTIVES MATERIAL 145 4.8.3. ELEKTRISCHE
IONISATION - STATISCHE LONISATBN 145 4.8.4. REALISIERUNG DER IONISATION
AM ESD ARBEITSPLATZ 147 4.9. MUSTERARBEITSANWEISUNG, PRUEF- UND
KONTROLLPLAN 149 5. MESSTECHNIK, GRUNDLAGEN UND PRAKTISCHE ERFAHRUNGEN
159 5.1. BEZIEHUNGEN ZWISCHEN ELEKTROSTATISCHER LADUNG UND
ELEKTROSTATISCHEM FELD... 160 5.2. MESSUNG ELEKTROSTATISCHER LADUNGEN
167 5.3. MESSUNG DER ELEKTRISCHEN FELDSTAERKE IN EINEM ELEKTROSTATISCHEN
FELD 172 5.4. MESSUNG VON WIDERSTAENDEN - OBERFLAECH- UND
ABLEITWIDERSTAENDEN 178 5.4.1. WIDERSTANDSDEFINITIONEN 178 5.4.2.
HINWEISE FUER DEN EINSATZ DER BESCHRIEBENEN MESSVERFAHREN UND
MESSPRINZIPIEN 181 5.4.3. MESSUNG VON OBERFLAECHENWIDERSTAENDEN 183
5.4.3.1. OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN EN 61340-4-1 ED.2 183 5.4.3.2.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN EN 1081 186 5.4.3.3.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN EN 61340-2-3 188 5.4.3.4.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN IEC 60093 189 5.4.3.5.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH ANSIIESD S7.1 191 5.4.3.6.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH ANSIIESD STM11.11-2001 192 5.4.3.7.
OBERFLAECHENWIDERSTAND MIT DER MIKRO - RINGELEKTRODE NACH ESD STM11.11-
2001 192 5.4.3.8. OBERFLAECHENWIDERSTAND MIT DER MIKRO -
ZWEIPUNKTELEKTRODE NACH ASTMIESD STM 11.13-2004 193 5.4.3.9.
ZUSAMMENFASSUNG - MESSUNG DES OBERFLAECHENWIDERSTANDES RO 193 5.4.4.
MESSUNG VON ABLEITWIDERSTAENDEN 194 5.4.4.1. ABLEITWIDERSTAND NACH DIN EN
61340-4-1 ED.2 194 5.4.4.2. ABLEITWIDERSTAND NACH DIN EN 1081 195
5.4.4.3. ABLEITWIDERSTAND NACH DIN EN 61340-2-3 196 5.4.4.4.
ABLEITWIDERSTAND NACH DIN IEC 60093 197 5.4.4.5. ABLEITWIDERSTAND NACH
ANSIIESD S7.1-2005 197 5.4.4.6. ZUSAMMENFASSUNG - MESSUNG DES
ABLEITWIDERSTANDES NACH R A 198 5.4.5. MESSUNG VON DURCHGANGS- UND
VOLUMENWIDERSTAENDEN 198 5.4.5.1. DURCHGANGSWIDERSTAND NACH DIN EN
61340-4-1 ED.2 199 5.4.5.2. DURCHGANGSWIDERSTANC NACH DIN EN 61340-2-3
200 5.4.5.3. DURCHGANGSWIDERSTAND NACH DIN IEC 60093 201 5.4.6. WEITERE
WIDERSTANDSMESSVERFAHREN 202 5.5. PRAKTISCHE MESSUNGEN UND
MESSVORSCHRIFTEN FUER WIDERSTAENDE UND WEITERER PARAMETER (ENTLADEZEIT,
PERSONENAUFLADUNG) ZUR ERMITTLUNG DER WIRKSAMKEIT DER ESD
KONTROLLMASSNAHMEN 206 5.5.1. ESD ARBEITSOBERFLAECHEN, REGALE 206 5.5.1.1.
ABLEITWIDERSTAND VON ESD ARBEITSOBERFLAECHEN 206 5.5. 1.2.
OBERFLAECHENWIDERSTAND VON ESD ARBEITSOBERFLAECHEN UND MATERIALIEN FUER ESD
ARBEITSOBERFLAECHEN 208 5.5.1.3. PRAKTISCHE MESSERGEBNISSE FUER
WIDERSTANDSMESSUNGEN AN ESD MATERIALIEN FUER ARBEITSOBERFLAECHEN 209
5.5.1.4. AUFLADBARKEITJUND ENTLADEZEITMESSUNG VON ESD ARBEITSOBERFLAECHEN
210 5.5.1.5. REGALOBERFLAECHEN 212 5.5.2. ESD FUSSBOEDEN 212 5.5.2.1.
ABLEITWIDERSTAND VON ESD FUSSBOEDEN 212 5.5.2.2. OBERFLAECHEN-, DURCHGANGS-
UND VOLUMENWIDERSTAND VON VERIEGTEN ESD FUSSBOEDEN UND VON MATERIALIEN 214
5.5.2.3. PRAKTISCHE MESSERGEBNISSE FUER WIDERSTANDSMESSUNGEN AN
MATERIALIEN FUER ESD FUSSBOEDEN 275 5.5.2.4. SYSTEMWIDERSTAND UND
PERSONENAUFLADUNG 218 5.5.3. PRUEFUNG VON ESD TRANSPORTWAGEN 223 5.5.4.
PRUEFUNG VON ESD STUEHLEN 225 5.5.5. PRUEFUNG VON ESD BEKLEIDUNG UND ESD
SCHUHEN 226 5.5.5.1. ESD SCHUHE 226 5.5.5.2. ESD BEKLEIDUNG 228 5.5.5.3.
HANDSCHUHE UND FINGERIINGE 233 5.5.6. PRUEFUNG VON ESD WERKZEUGEN 235
5.5.7. MESSVERFAHREN FUER ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 236 5.5.7. 1.
OBERFLAECHENWIDERSTAND VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 237 5.5.7.2.
VOLUMENWIDERSTAND VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 238 5.5.7.3. ERMITTLUNG
DES ABSCHIRMVERHALTENS VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 239 5.5.7.4.
MESSVERFAHREN FUER DIE ABLEITZEIT ODER STATIC DECAY TIME 241 5.5.7.5.
PRAKTISCHE MESSUNGEN AN ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 243 5.6. UEBERPRUEFUNG
VON IONISATOREN 250 5.7. EINFLUSS DER LUFTFEUCHTIGKEIT UND DER
TEMPERATUR 252 LITERATURVERZEICHNIS STICHWORTVERZEICHNIS
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| adam_txt |
ESD-SCHUTZ NORMEN, KONZEPTE UND MESSTECHNIK IN DER PRAXIS DIPL.-ING.
HARTMUT BERNDT MIT 188 BILDERN UND 55 TABELLEN KONTAKT & STUDIUM BAND
675 HERAUSGEBER: PROF. DR.-ING. DR.H.C. WILFRIED J. BARTZ DIPL.-ING.
ELMAR WIPPLER EXPERTLQIL VERTAG^ INHALT 1. EINLEITUNG 7 1.1. ENTSTEHUNG
ELEKTROSTATISCHER LADUNGEN UND WIRKUNGEN AUF ELEKTROSTATISCHE
BAUELEMENTE UND BAUGRUPPEN 9 1.2. KLASSISCHE ENTSTEHUNGSMECHANISMEN 12
1.2.1. TRIBOELEKTRIZITAET - REIBUNGSELEKTRIZITAET 12 1.2.2.
LADUNGSENTSTEHUNG DURCH INFLUENZ - EINFLUSS VON EINEM ELEKTRISCHEN FELD
14 1.2.3. BERECHNUNG DER ELEKTROSTATISCHEN AUFLADUNG 14 1.2.4.
MECHANISMEN, DIE DIE ELEKTROSTATISCHE AUFLADUNG BEEINFLUSSEN 19 1.2.4.1.
MATERIALEIGENSCHAFTEN 19 1.2.4.2. REIBUNGSELEKTRIZITAET UND
KONTAKTSPANNUNG 20 1.3. ALLGEMEINE ENTLADEMECHANISMEN 22 1.4.
FEHLERMODELLE 24 1.4.1. HUMAN BODY MODEL (HBM) - KOERPERENTLADUNGSMODELL
24 1.4.2. MACHINE MODEL (MM) - MASCHINENMODELL 27 1.4.3. CHARGED DEVICE
MODEL (CDM) - MODELL VOM GELADENEN OBJEKT 29 " 1.4.4. FIELD INDUCED
MODEL (FIM) - FELDBEZOGENE ENTSTEHUNG UND ENTLADUNG VON
ELEKTROSTATISCHEN LADUNGEN 34 1.5. ALLGEMEINE FEHLERMODELLE VON
ELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN 34 1.5.1. THERMISCHER DURCHBRUCH 35 1.5.2.
DIELEKTRISCHER DURCHBRUCH 36 1.5.3. AUFSCHMELZEN DER METALLISIERUNG 37
1.5.4. UNTERSCHIEDE BEI DEN VERSCHIEDENEN BEUELEMENTETECHNOLOGIEN 37
1.6. WIRKUNGEN VON ESD AUF MOS - STRUKTUREN 38 1.6.1. AUFBAU UND
WIRKUNGSWEISE EINES MOS- TRANSISTORS 38 1.6.2. ENTLADUNG AN EINEM MOS-
TRANSISTOR 39 1.6.3. LEISTUNGS - MOS-TRANSISTOREN 40 1.6.4. MEHRFACHE
ESD-FEHLER - UEBERLAGERUNG VON FEHLERN - LATENTE FEHLER UND DEGRADATION
41 1.6.5. WIRKUNGEN VON ESD AUF BIPOLARE BAUELEMENTE 43 1.6.5.1. DAS
WUNSCH-BEIL MODELL ZUR BESTIMMUNG VON FEHLERPEGELN 44 1.6.5.2.
BERECHNUNG DER ESD SPANNUNGSSCHWELLE VON PN-UEBERGAENGEN 45 2. ESD NORMEN
(DIN EN 61340-5-1 UND DIN EN 61340-5-2, ANSI ESD S20.20) 49 2.1.
UEBERSICHT UEBER DIE ENTWICKLUNG DER NORMENFAMILIE IEC 61340 49 2.2.
GRUNDSPEZIFIKATION - ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN FUER DEN SCHUTZ
ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE UND BAUGRUPPEN VOR ELEKTROSTATISCHEN
ENTLADUNGEN 53 2.3. DEFINITIONEN 54 2.3.1. ALLGEMEINE DEFINITIONEN 54
2.3.2. WIDERSTANDSDEFINITIONEN 56 2.3.3. MATERIALEIGENSCHAFTEN 58 2.4.
DIE NORMEN DIN EN 61340-5-1 ED. 1 UND DIN EN 61340-5-2 ED. 1 59 2.5.
VERGLEICH DIN EN 61340-5-1 UND ANSI/ESD S20.20 60 2.6. NEUE ESD - NORM
DIN EN 61340-5-1 ED. 2 61 2.7. KENNZEICHNUNG VON ESDS UND ESD
ARBEITSPLAETZEN BZW. - BEREICHEN 63 2.8. BESTANDTEILE EINER ESD
SCHUTZZONE (EPA) 65 3. ESD CONTROL PLAN 67 3.1. *ESD CONTROL PLAN" -
EINFUEHRUNG WARUM? 67 3.2. ESD KONTROLLMASSNAHMEN 67 3.2.1. INTERNE
SCHUTZSCHALTUNGEN DES HALBLEITERHERSTELLERS AUF EINEM CHIP 68 3.2.1.1.
WIDERSTANDSNETZWERK 68 3.2.1.2. DIODENKOMBINATION 69 3.2.1.3.
WIDERSTANDS-DIODEN-KOMBINATION 69 3.2.1.4. FELDPLATTENELEKTRODE 70
3.2.1.5. PUNCH-THROUGH - TRANSISTOR MIT DUENNEM GATEOXID 71 3.2.1.6.
PUNCH-THROUGH - TRANSISTOR MIT DICKEM GATEOXID 72 3.2.1.7. PRAKTISCHE
SCHUTZSCHALTUNGSANORDNUNGEN 72 3.2.2. TECHNOLOGISCHE MALINAHMEN DES
HALBLEITERHERSTELLERS BEI DER HERSTELLUNG 74 3.3. *ESD CONTROL PLAN" - 5
STUFEN PLAN 75 3.3.1.1. STUFE - ANALYSE 76 3.3.2. 2. STUFE - AUFSTELLUNG
DES ESD KONTROLLPROGRAMMS 76 3.3.3. 3. STUFE - SCHULUNG DER MITARBEITER
77 3.3.4.4. STUFE - EINFUEHRUNG DER ESD KONTROLLMASSNAHMEN 77 3.3.5. 5.
STUFE - UEBERPRUEFUNG DER ESD MASSNAHMEN UND INBETRIEBNAHME 77 3.4.
ZUSAMMENFASSUNG 78 3.5. ANFORDERUNGEN AN DIE EINZELNEN AUSRUESTUNGEN UND
STUFEN 78 3.5.1. ANFORDERUNGEN AN DIE PERSON 78 3.5.2. ANFORDERUNGEN AN
DEN ESD ARBEITSPLATZ 79 3.5.3. ANFORDERUNGEN AN DEN ESD FUSSBODEN 80
3.5.4. ANFORDERUNGEN AN DIE EPA 81 3.5.5. ANFORDERUNGEN AN MASCHINEN UND
AUSRUESTUNGEN 82 3.5.6. ANFORDERUNGEN AN VERPACKUNGSMATERIALIEN 83 3.5.7.
TESTMETHODEN FUER DIE MASSNAHMEN DES ESD CONTROL SYSTEMS 83 4.
ANFORDERUNGEN AN "ESD CONTROL" MASSNAHMEN UND AUSFUEHRUNGEN 87 4.1.
ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN 89 4.2. GESTALTUNG DER ARBEITSPLAETZE,
ARBEITSRAEUME 91 4.2.1. GRUNDSAETZLICHE AUSRUESTUNGEN 94 4.2.1.1. ESD
ARBEITSPLATZAUSRUESTUNG 94 4.2.1.2. ESD ARBEITSBEREICH 94 4.2.2.
ANFORDERUNGEN AN DIE KENNZEICHNUNG 94 4.2.3. ANFORDERUNGEN AN PCB,
BAUGRUPPEN 95 4.2.4. EPA, EINZEL - KOMPLETT EPA, REINRAUMBEREICHE,
HOCHSPANNUNGSPRUEFPLAETZE, SERVICE -ARBEITSPLAETZE 96 4.3. ANFORDERUNGEN AN
DIE ESD KONTROLLMASSNAHMEN EINER EPA 97 4.3.1. ARBEITSPLATZOBERFLAECHE,
WAGEN 97 4.3.2. FUSSBODEN 99 4.3.2.1. AUSFUEHRUNGEN 101 4.3.2.2.
ABLEITFAEHIGER FUSSBODENBELAG 101 4.3.2.3. ABLEITFAEHIGES
BESCHICHTUNGSSYSTEM AUS EPOXIDHARZ (DICKSCHICHT) 103 4.3.2.4.
ABLEITFAEHIGE SYSTEME AUF DER BASIS VON LEITFAEHIGEN EPOXIDHARZ - ODER PU
- LACKEN (DUENNSCHICHT) 105 4.3.2.5. ANDERE FUSSBODENSYSTEME UND
VERSIEGELUNGEN VON BODENBELAEGEN UND BESCHICHTUNGEN 105 4.3.3.
PERSONENAUSRUESTUNGEN 106 4.3.3.1. BEKLEIDUNG, HANDSCHUHE, ARBEITSKITTEL
106 4.3.3.2. HANDGELENKBAENDER 111 4.3.4. TISCHE, STUEHLE, MOEBEL, WAENDE
112 4.3.5. ERDUNGSMASSNAHMEN 114 4.3.5.2. ERDUNGSANSCHLUESSE 114 4.3.5.1.
ERDUNG DER ARBEITSOBERFLAECHE 114 4.3.5.3. EPA ERDUNGSKABEL 115 4.3.5.4.
EPA ERDUNGSANSCHLUSSPUNKTE (EBP) 115 4.3.5.5. PERSONENSCHUTZ IN EINER
EPA 116 4.3.5.6. ABLEITWIDERSTAENDE ZUR STROMBEGRENZUNG,
ABLEITWIDERSTAENDE 116 4.3.6. NICHTSTATIONAERE UND SERVICE - ARBEITSPLAETZE
116 4.3.7. ANFORDERUNGEN AN MASCHINEN UND AUSRUESTUNGEN,
TRANSPORTEINRICHTUNGEN, WERKZEUGE ,' 119 4.3.7.1. WERKZEUGE 119 4.3.7.2.
MASCHINEN UND AUSRUESTUNGEN, AUTOMATISCHE TRANSPORTEINRICHTUNGEN 120
4.3.7.3. LOETKOLBEN, LOETANLAGEN 121 4.3.8. ELEKTROSTATISCHE FELDER IN
EINER EPA 122 4.3.9. UMGEBUNGSBEDINGUNGEN, LUFTFEUCHTIGKEIT UND
TEMPERATUR 122 4.4. ANFORDERUNGEN AN ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 123
4.4.1. NORMGERECHTE ANFORDERUNGEN 123 4.4.2. PRAKTISCHE AUSFUEHRUNGEN 124
4.4.2.1. LEITFAEHIGE UND (ANTISTATISCHE) VERPACKUNGEN 124 4.4.2.2.
EIGENSCHAFTEN UND ANFORDERUNGEN AN FOLIE 126 4.4.3. LAGERZEIT VON
VERPACKUNGEN 131 4.4.4. KENNZEICHNUNG VON ESD VERPACKUNGEN 132 4.4.5.
ANFORDERUNGEN AN VERPACKUNGEN NACH DER ZUKUENFTIGEN NORM "ANSI/ESD S541-
2003 134 4.4.5.1. ANFORDERUNGEN AN VERPACKUNGEN NACH ANSIIESD S541-2003
135 4.4.5.2. KLASSIFIKATION VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN NACH ANSIIESD
S541-2003136 4.5. VERANTWORTUNG IM ESD - BEREICH - AUFGABEN EINES ESD
KOORDINATORS 139 4.5.1. BETRIEBSLEITUNG, MANAGEMENT 139 4.5.2.
VERANTWORTUNG DER MITARBEITER 139 4.5.3. ESD BEAUFTRAGTER, ESD
KOORDINATOR, ESD MANAGER 139 4.6. ESD SCHULUNGEN 140 4.7. OBERPRUEFUNG
DER ESD KONTROLLMASSNAHMEN 141 4.8. IONISATION 144 4.8.1. INDUKTION 145
4.8.2. IONISATION DURCH RADIOAKTIVES MATERIAL 145 4.8.3. ELEKTRISCHE
IONISATION - STATISCHE LONISATBN 145 4.8.4. REALISIERUNG DER IONISATION
AM ESD ARBEITSPLATZ 147 4.9. MUSTERARBEITSANWEISUNG, PRUEF- UND
KONTROLLPLAN 149 5. MESSTECHNIK, GRUNDLAGEN UND PRAKTISCHE ERFAHRUNGEN
159 5.1. BEZIEHUNGEN ZWISCHEN ELEKTROSTATISCHER LADUNG UND
ELEKTROSTATISCHEM FELD. 160 5.2. MESSUNG ELEKTROSTATISCHER LADUNGEN
167 5.3. MESSUNG DER ELEKTRISCHEN FELDSTAERKE IN EINEM ELEKTROSTATISCHEN
FELD 172 5.4. MESSUNG VON WIDERSTAENDEN - OBERFLAECH- UND
ABLEITWIDERSTAENDEN 178 5.4.1. WIDERSTANDSDEFINITIONEN 178 5.4.2.
HINWEISE FUER DEN EINSATZ DER BESCHRIEBENEN MESSVERFAHREN UND
MESSPRINZIPIEN 181 5.4.3. MESSUNG VON OBERFLAECHENWIDERSTAENDEN 183
5.4.3.1. OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN EN 61340-4-1 ED.2 183 5.4.3.2.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN EN 1081 186 5.4.3.3.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN EN 61340-2-3 188 5.4.3.4.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH DIN IEC 60093 189 5.4.3.5.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH ANSIIESD S7.1 191 5.4.3.6.
OBERFLAECHENWIDERSTAND NACH ANSIIESD STM11.11-2001 192 5.4.3.7.
OBERFLAECHENWIDERSTAND MIT DER MIKRO - RINGELEKTRODE NACH ESD STM11.11-
2001 192 5.4.3.8. OBERFLAECHENWIDERSTAND MIT DER MIKRO -
ZWEIPUNKTELEKTRODE NACH ASTMIESD STM 11.13-2004 193 5.4.3.9.
ZUSAMMENFASSUNG - MESSUNG DES OBERFLAECHENWIDERSTANDES RO 193 5.4.4.
MESSUNG VON ABLEITWIDERSTAENDEN 194 5.4.4.1. ABLEITWIDERSTAND NACH DIN EN
61340-4-1 ED.2 194 5.4.4.2. ABLEITWIDERSTAND NACH DIN EN 1081 195
5.4.4.3. ABLEITWIDERSTAND NACH DIN EN 61340-2-3 196 5.4.4.4.
ABLEITWIDERSTAND NACH DIN IEC 60093 197 5.4.4.5. ABLEITWIDERSTAND NACH
ANSIIESD S7.1-2005 197 5.4.4.6. ZUSAMMENFASSUNG - MESSUNG DES
ABLEITWIDERSTANDES NACH R A 198 5.4.5. MESSUNG VON DURCHGANGS- UND
VOLUMENWIDERSTAENDEN 198 5.4.5.1. DURCHGANGSWIDERSTAND NACH DIN EN
61340-4-1 ED.2 199 5.4.5.2. DURCHGANGSWIDERSTANC NACH DIN EN 61340-2-3
200 5.4.5.3. DURCHGANGSWIDERSTAND NACH DIN IEC 60093 201 5.4.6. WEITERE
WIDERSTANDSMESSVERFAHREN 202 5.5. PRAKTISCHE MESSUNGEN UND
MESSVORSCHRIFTEN FUER WIDERSTAENDE UND WEITERER PARAMETER (ENTLADEZEIT,
PERSONENAUFLADUNG) ZUR ERMITTLUNG DER WIRKSAMKEIT DER ESD
KONTROLLMASSNAHMEN 206 5.5.1. ESD ARBEITSOBERFLAECHEN, REGALE 206 5.5.1.1.
ABLEITWIDERSTAND VON ESD ARBEITSOBERFLAECHEN 206 5.5. 1.2.
OBERFLAECHENWIDERSTAND VON ESD ARBEITSOBERFLAECHEN UND MATERIALIEN FUER ESD
ARBEITSOBERFLAECHEN 208 5.5.1.3. PRAKTISCHE MESSERGEBNISSE FUER
WIDERSTANDSMESSUNGEN AN ESD MATERIALIEN FUER ARBEITSOBERFLAECHEN 209
5.5.1.4. AUFLADBARKEITJUND ENTLADEZEITMESSUNG VON ESD ARBEITSOBERFLAECHEN
210 5.5.1.5. REGALOBERFLAECHEN 212 5.5.2. ESD FUSSBOEDEN 212 5.5.2.1.
ABLEITWIDERSTAND VON ESD FUSSBOEDEN 212 5.5.2.2. OBERFLAECHEN-, DURCHGANGS-
UND VOLUMENWIDERSTAND VON VERIEGTEN ESD FUSSBOEDEN UND VON MATERIALIEN 214
5.5.2.3. PRAKTISCHE MESSERGEBNISSE FUER WIDERSTANDSMESSUNGEN AN
MATERIALIEN FUER ESD FUSSBOEDEN 275 5.5.2.4. SYSTEMWIDERSTAND UND
PERSONENAUFLADUNG 218 5.5.3. PRUEFUNG VON ESD TRANSPORTWAGEN 223 5.5.4.
PRUEFUNG VON ESD STUEHLEN 225 5.5.5. PRUEFUNG VON ESD BEKLEIDUNG UND ESD
SCHUHEN 226 5.5.5.1. ESD SCHUHE 226 5.5.5.2. ESD BEKLEIDUNG 228 5.5.5.3.
HANDSCHUHE UND FINGERIINGE 233 5.5.6. PRUEFUNG VON ESD WERKZEUGEN 235
5.5.7. MESSVERFAHREN FUER ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 236 5.5.7. 1.
OBERFLAECHENWIDERSTAND VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 237 5.5.7.2.
VOLUMENWIDERSTAND VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 238 5.5.7.3. ERMITTLUNG
DES ABSCHIRMVERHALTENS VON ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 239 5.5.7.4.
MESSVERFAHREN FUER DIE ABLEITZEIT ODER STATIC DECAY TIME 241 5.5.7.5.
PRAKTISCHE MESSUNGEN AN ESD VERPACKUNGSMATERIALIEN 243 5.6. UEBERPRUEFUNG
VON IONISATOREN 250 5.7. EINFLUSS DER LUFTFEUCHTIGKEIT UND DER
TEMPERATUR 252 LITERATURVERZEICHNIS STICHWORTVERZEICHNIS |
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