Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2005
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Werkstofftechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 109 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 183 gr. |
| ISBN: | 3832244298 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV020858729 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 051107s2005 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 05,A45,1315 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 97631679X |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3832244298 |c kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 |9 3-8322-4429-8 | ||
| 024 | 3 | |a 9783832244293 | |
| 035 | |a (OCoLC)76130452 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV020858729 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-NW | ||
| 049 | |a DE-91 | ||
| 082 | 0 | |a 670 | |
| 084 | |a 670 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Hüttermann, Beate |d 1963- |e Verfasser |0 (DE-588)130399906 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge |c vorgelegt von Beate Hüttermann |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2005 | |
| 300 | |a III, 109 S. |b Ill., graph. Darst. |c 21 cm, 183 gr. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Werkstofftechnik | |
| 502 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schneidkeramik |0 (DE-588)4179858-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Puls |g Technik |0 (DE-588)4283445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Verschleißschutz |0 (DE-588)4187964-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmatechnik |0 (DE-588)4140353-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Schneidkeramik |0 (DE-588)4179858-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Verschleißschutz |0 (DE-588)4187964-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Plasmatechnik |0 (DE-588)4140353-8 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Puls |g Technik |0 (DE-588)4283445-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HEBIS Datenaustausch Darmstadt |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014180321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-014180321 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804134576987045888 |
|---|---|
| adam_text | BERICHTE AUS DER WERKSTOFFTECHNIK BEATE HUTTERMANN ANWENDUNG DES
GEPULSTEN MAGNETRONSPUTTERNS ZUR BESCHICHTUNG KERAMISCHER
HOCHLEISTUNGSWERKZEUGE D 82 (DISS.RWTH AACHEN) SHAKER VERLAG AACHEN 2005
INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 STAND DER TECHNIK
3 2.1 EINSATZGEBIETE UND LEISTUNGSVERHALTEN VON DUNNSCHICHTEN 5 2.1.1
MATERIALIEN FUR VERSCHLEILJSCHUTZSCHICHTEN 5 2.1.2 LEISTUNGSVERHALTEN
BESCHICHTETER WERKZEUGE 7 2.1.3 AKTUELLE ENTWICKLUNGEN UND TRENDS 8 2.2
METHODEN ZUR ABSCHEIDUNG VON SCHICHTEN AUS DER GASPHASE 11 2.2.1
THERMISCHE METHODEN 12 2.2.2 PLASMAGESTUTZTES PVD 13 2.2.3
PLASMAGESTUTZTES CVD 16 2.2.4 GEPULSTE PLASMEN 17 2.3 KERAMISCHE
SCHNEIDSTOFFE 23 2.3.1 ALUMINIUMOXID-BASIERTE SCHNEIDKERAMIKEN 25 2.3.2
MISCHKERAMIKEN 26 2.3.3 SILIZIUMNITRID-BASIERTE SCHNEIDKERAMIKEN 28
2.3.4 HERSTELLVERFAHREN FUR KERAMISCHE SCHNEIDWERKZEUGE 31 2.3.5
VERSCHLEILI 32 2.4 STAND DER TECHNIK BEI DER BESCHICHTUNG KERAMISCHER
SCHNEIDSTOFFE 37 3 EXPERIMENTELLER AUFBAU 41 3.1 AUFBAU DER PVD-ANLAGE
41 3.1.1 PROZEBABLAUF 44 3.1.2 VERSUCHSPROBEN UND CHARGIERUNG 46 3.2
METHODEN ZUR CHARAKTERISIERUNG VON SCHICHTEN 47 3.2.1 HR-SEM ZUR
BESTIMMUNG DER MORPHOLOGIE 47 3.2.2 XRD ZUR STRUKTURBESTIMMUNG 48 3.2.3
KALOTTENSCHLIFF 49 3.2.4 MIKROHARTEMESSUNG (HV 0,05) 50 3.2.5
ROCKWELL-TEST 51 3.2.6 SCRATCHTEST 52 3.2.7 ZERSPANTEST 53 4
VERGLEICHENDE UNTERSUCHUNG BESCHICHTETER HARTMETALL-REFERENZEN 55 5
VERSUCHE ZUR BESCHICHTUNG KERAMISCHER SUBSTRATE 61 INHALTSVERZEICHNIS 6
ANALYSEN UND ERGEBNISSE 65 6.1 VERGLEICHENDE BEWERTUNG DER
SCHICHTSTRUKTUREN 65 6.2 RONTGENOGRAPHISCHE UNTERSUCHUNGEN 65 6.3
BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE 69 6.4 BESTIMMUNG DER MIKROHARTE 70 6.5
QUALITATIVE BEWERTUNG DES SCHICHT-SUBSTRATVERBUNDES 70 6.5.1 ERGEBNISSE
DES KALOTTENSCHLIFFES 70 6.5.2 ERGEBNISSE DES ROCKWELL-VERFAHRENS 73 6.6
QUANTITATIVE BEWERTUNG DES SCHICHT-SUBSTRAT-VERBUNDES MITTELS DES
SCRATCHTESTES 78 6.7 ZERSPANVERSUCHE 85 7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK
91 8 LITERATUR 93 ANHANG 109
|
| adam_txt |
BERICHTE AUS DER WERKSTOFFTECHNIK BEATE HUTTERMANN ANWENDUNG DES
GEPULSTEN MAGNETRONSPUTTERNS ZUR BESCHICHTUNG KERAMISCHER
HOCHLEISTUNGSWERKZEUGE D 82 (DISS.RWTH AACHEN) SHAKER VERLAG AACHEN 2005
INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 STAND DER TECHNIK
3 2.1 EINSATZGEBIETE UND LEISTUNGSVERHALTEN VON DUNNSCHICHTEN 5 2.1.1
MATERIALIEN FUR VERSCHLEILJSCHUTZSCHICHTEN 5 2.1.2 LEISTUNGSVERHALTEN
BESCHICHTETER WERKZEUGE 7 2.1.3 AKTUELLE ENTWICKLUNGEN UND TRENDS 8 2.2
METHODEN ZUR ABSCHEIDUNG VON SCHICHTEN AUS DER GASPHASE 11 2.2.1
THERMISCHE METHODEN 12 2.2.2 PLASMAGESTUTZTES PVD 13 2.2.3
PLASMAGESTUTZTES CVD 16 2.2.4 GEPULSTE PLASMEN 17 2.3 KERAMISCHE
SCHNEIDSTOFFE 23 2.3.1 ALUMINIUMOXID-BASIERTE SCHNEIDKERAMIKEN 25 2.3.2
MISCHKERAMIKEN 26 2.3.3 SILIZIUMNITRID-BASIERTE SCHNEIDKERAMIKEN 28
2.3.4 HERSTELLVERFAHREN FUR KERAMISCHE SCHNEIDWERKZEUGE 31 2.3.5
VERSCHLEILI 32 2.4 STAND DER TECHNIK BEI DER BESCHICHTUNG KERAMISCHER
SCHNEIDSTOFFE 37 3 EXPERIMENTELLER AUFBAU 41 3.1 AUFBAU DER PVD-ANLAGE
41 3.1.1 PROZEBABLAUF 44 3.1.2 VERSUCHSPROBEN UND CHARGIERUNG 46 3.2
METHODEN ZUR CHARAKTERISIERUNG VON SCHICHTEN 47 3.2.1 HR-SEM ZUR
BESTIMMUNG DER MORPHOLOGIE 47 3.2.2 XRD ZUR STRUKTURBESTIMMUNG 48 3.2.3
KALOTTENSCHLIFF 49 3.2.4 MIKROHARTEMESSUNG (HV 0,05) 50 3.2.5
ROCKWELL-TEST 51 3.2.6 SCRATCHTEST 52 3.2.7 ZERSPANTEST 53 4
VERGLEICHENDE UNTERSUCHUNG BESCHICHTETER HARTMETALL-REFERENZEN 55 5
VERSUCHE ZUR BESCHICHTUNG KERAMISCHER SUBSTRATE 61 INHALTSVERZEICHNIS 6
ANALYSEN UND ERGEBNISSE 65 6.1 VERGLEICHENDE BEWERTUNG DER
SCHICHTSTRUKTUREN 65 6.2 RONTGENOGRAPHISCHE UNTERSUCHUNGEN 65 6.3
BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE 69 6.4 BESTIMMUNG DER MIKROHARTE 70 6.5
QUALITATIVE BEWERTUNG DES SCHICHT-SUBSTRATVERBUNDES 70 6.5.1 ERGEBNISSE
DES KALOTTENSCHLIFFES 70 6.5.2 ERGEBNISSE DES ROCKWELL-VERFAHRENS 73 6.6
QUANTITATIVE BEWERTUNG DES SCHICHT-SUBSTRAT-VERBUNDES MITTELS DES
SCRATCHTESTES 78 6.7 ZERSPANVERSUCHE 85 7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK
91 8 LITERATUR 93 ANHANG 109 |
| any_adam_object | 1 |
| any_adam_object_boolean | 1 |
| author | Hüttermann, Beate 1963- |
| author_GND | (DE-588)130399906 |
| author_facet | Hüttermann, Beate 1963- |
| author_role | aut |
| author_sort | Hüttermann, Beate 1963- |
| author_variant | b h bh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV020858729 |
| ctrlnum | (OCoLC)76130452 (DE-599)BVBBV020858729 |
| dewey-full | 670 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 670 - Manufacturing |
| dewey-raw | 670 |
| dewey-search | 670 |
| dewey-sort | 3670 |
| dewey-tens | 670 - Manufacturing |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| discipline_str_mv | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02099nam a2200505 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV020858729</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">051107s2005 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">05,A45,1315</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">97631679X</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3832244298</subfield><subfield code="c">kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60</subfield><subfield code="9">3-8322-4429-8</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="3" ind2=" "><subfield code="a">9783832244293</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76130452</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV020858729</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-NW</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">670</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">670</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hüttermann, Beate</subfield><subfield code="d">1963-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)130399906</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Beate Hüttermann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2005</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 109 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="c">21 cm, 183 gr.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Werkstofftechnik</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schneidkeramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179858-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Puls</subfield><subfield code="g">Technik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4283445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Verschleißschutz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4187964-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmatechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140353-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Schneidkeramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179858-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Verschleißschutz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4187964-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Plasmatechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140353-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Puls</subfield><subfield code="g">Technik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4283445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HEBIS Datenaustausch Darmstadt</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014180321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-014180321</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV020858729 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T13:22:16Z |
| indexdate | 2024-07-09T20:26:49Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3832244298 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-014180321 |
| oclc_num | 76130452 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | III, 109 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 183 gr. |
| publishDate | 2005 |
| publishDateSearch | 2005 |
| publishDateSort | 2005 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Werkstofftechnik |
| spelling | Hüttermann, Beate 1963- Verfasser (DE-588)130399906 aut Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge vorgelegt von Beate Hüttermann Aachen Shaker 2005 III, 109 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 183 gr. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Werkstofftechnik Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Schneidkeramik (DE-588)4179858-2 gnd rswk-swf Puls Technik (DE-588)4283445-4 gnd rswk-swf Verschleißschutz (DE-588)4187964-8 gnd rswk-swf Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Schneidkeramik (DE-588)4179858-2 s Verschleißschutz (DE-588)4187964-8 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 s Puls Technik (DE-588)4283445-4 s DE-604 HEBIS Datenaustausch Darmstadt application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014180321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Hüttermann, Beate 1963- Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Schneidkeramik (DE-588)4179858-2 gnd Puls Technik (DE-588)4283445-4 gnd Verschleißschutz (DE-588)4187964-8 gnd Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4208514-7 (DE-588)4179858-2 (DE-588)4283445-4 (DE-588)4187964-8 (DE-588)4140353-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge |
| title_auth | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge |
| title_exact_search | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge |
| title_exact_search_txtP | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge |
| title_full | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge vorgelegt von Beate Hüttermann |
| title_fullStr | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge vorgelegt von Beate Hüttermann |
| title_full_unstemmed | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge vorgelegt von Beate Hüttermann |
| title_short | Anwendung des gepulsten Magnetronsputterns zur Beschichtung keramischer Hochleistungswerkzeuge |
| title_sort | anwendung des gepulsten magnetronsputterns zur beschichtung keramischer hochleistungswerkzeuge |
| topic | Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Schneidkeramik (DE-588)4179858-2 gnd Puls Technik (DE-588)4283445-4 gnd Verschleißschutz (DE-588)4187964-8 gnd Plasmatechnik (DE-588)4140353-8 gnd |
| topic_facet | Magnetronsputtern Schneidkeramik Puls Technik Verschleißschutz Plasmatechnik Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=014180321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT huttermannbeate anwendungdesgepulstenmagnetronsputternszurbeschichtungkeramischerhochleistungswerkzeuge |