Enabling technology for MEMS and nanodevices:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Baltes, Henry (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinheim [u.a.] Wiley-VCH 2005
Ausgabe:[Nachdr.]
Schriftenreihe:Advanced micro & nanosystems 1
Schlagworte:
Beschreibung:XII, 427 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:352730746X

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