Kontaminationen in der Mikrostrukturierung: mit 4 Tabellen
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München [u.a.]
Hanser
2005
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 166 S. Ill., graph. Darst. 23 cm |
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| adam_text | JAN ALBERS KONTAMINATIONEN IN DER MIKROSTRUKTURIERUNG MIT 98 BILDERN UND
4 TABELLEN HANSER INHALTSVERZEICHNIS 1 MIKROSYSTEME UND ICS 11 1.1
ENTWICKLUNG DER MIKROSYSTEMTECHNIK 11 1.2 STRUKTURGROESSE UND YIELD 14 2
MIKROSTRUKTURIERUNG IN SILIZIUM 20 2.1 MIKROSTRUKTURTECHNIKEN 20 2.2
SILIZIUMWAFER 22 2.2.1 HERSTELLUNG DES REINSTSILIZIUMS 22 2.2.2
HERSTELLUNG DES EINKRISTALLS 25 2.2.3 HERSTELLUNG DES WAFERS 27 2.3
HERSTELLUNG DUENNER SCHICHTEN 30 2.3.1 THERMISCHE OXIDATION 30 2.3.2
CVD-VERFAHREN 35 2.3.3 PVD-VERFAHREN 39 2.4 FOTOLITHOGRAPHIE 41 2.4.1
MASKENTECHNIK 41 2.4.2 GRUNDLAGEN ZUM FOTOLACK 42 2.4.3
BELICHTUNGSVERFAHREN 44 2.5.2 TROCKENE AETZPROZESSE 48 2.6 DOTIERUNG 50 3
KONTAMINATIONEN 55 3.1 MIKROSKOPISCHE VERUNREINIGUNGEN (PARTIKEL) 55
3.1.1 PARTIKEL IN DER UMGEBUNGSLUFT 55 3.1.2 PARTIKELQUELLEN IM REINRAUM
59 3.2 CHEMISCHE VERUNREINIGUNGEN 64 3.2.1 LUFTGETRAGENE MOLEKULARE
KONTAMINATIONEN 64 3.2.2 ATOMARE UND IONISCHE VERUNREINIGUNGEN 65 3.3
PHYSIKALISCHE EIGENSCHAFTEN DER VERUNREINIGUNGEN 66 3.3.1 PARTIKELGROESSE
66 3.3.2 LUFTSTROEMUNGEN UND STAUGLOCKE 68 3.3.3 DIFFUSION 69 3.3.4
PARTIKELZUWACHSRATEN UND DEPOSITIONSGESCHWINDIGKEIT 71 3.3.5
ADHAESIONSKRAFT 74 8 INHALTSVERZEICHNIS 3.4 SUBSTRATREINIGUNG 75 3.4.1
REINIGUNGSPROZESSE 75 3.4.2 SPUELEN UND TROCKNEN DERWAFER 79 3.4.3
REINIGUNGSANLAGEN 80 4 DEFEKTMECHANISMEN 83 4.1 DEFEKTE DURCH PARTIKEL
83 4.1.1 ABSCHATTUNGSEFFEKTE DURCH PARTIKEL 83 4.1.2 PROZESSAENDERUNGEN
DURCH PARTIKEL 85 4.2 DEFEKTE DURCH CHEMISCHE VERUNREINIGUNGEN 88 4.3
ELEKTROSTATISCHE ENTLADUNGEN (ESD) 91 4.3.1 DIE ENTSTEHUNG
ELEKTROSTATISCHER AUFLADUNGEN 92 4.3.2 AUSWIRKUNGEN ELEKTROSTATISCHER
ENTLADUNGEN 94 4.3.3 HUMAN-BODY-MODELL 95 4.3.4 SCHUTZMASSNAHMEN 96 5
MESS-UND ANALYSETECHNIKEN 101 5.1 PARTIKELZAEHLUNG IN LUFT UND IN
FLUESSIGKEITEN 101 5.2 PARTIKELZAEHLUNG AUF DER WAFEROBERFLAECHE 103 5.3
MIKROSKOPIE 105 5.3.1 AUFBAU EINES MIKROSKOPS 106 5.3.2
AUFLOESUNGSVERMOEGEN VON MIKROSKOPEN 107 5.3.3 DIE SCHAERFENTIEFE 110 5.3.4
DUNKELFELDMIKROSKOPIE 112 5.4 RASTERELEKTRONENMIKROSKOP 114 5.4.1 DIE
BILDENTSTEHUNG IM REM 114 5.4.2 BILDANALYSE UND EDX 116 5.4.3 AUFBAU,
VERGROESSERUNG UND AUFLOESEVERMOEGEN EINES REMS 118 5.5 MESSUNG MOBILER
LADUNGSTRAEGER 120 6 DER REINRAUM 121 6.1 ANFORDERUNGEN AN DEN REINRAUM
121 6.2 AUFBAU DES REINRAUMES 123 6.3 REINRAUMKLASSEN 127 6.4
HERSTELLUNG UND VERTEILUNG DER REINSTLUFT 128 6.4.1 REINSTLUFTFILTER 128
6.4.2 DIE LUFTVERSORGUNG IM REINRAUM 129 6.5 TURBULENTE DURCHMISCHUNG
UND LAMINAR FLOW 132 6.6 VERSORGUNG MIT REINSTWASSER UND GASEN 135 6.6.1
AUFBAU EINER REINSTWASSERANLAGE 135 6.6.2 GASVERSORGUNG 145
INHALTSVERZEICHNIS 9 7DER MENSCH IM REINRAUM 147 7.1 PARTIKELWOLKE UND
STROEMUNGSSCHLEPPE 147 7.2 REINRAUMKLEIDUNG 150 7.2.1 DER REINRAUMOVERALL
UND DIE UNTERKLEIDUNG 150 7.2.2 REINRAUMHANDSCHUHE 153 7.3
PROFESSIONELLES VERHALTEN IM REINRAUM 156 LITERATURVERZEICHNIS 158
SACHWORTVERZEICHNIS 162
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